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X射線(xiàn)Schmidt物鏡及基于X射線(xiàn)Schmidt物鏡的光學(xué)系統(tǒng)的制作方法_2

文檔序號(hào):9912753閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
的一橫軸,O2O/為子午面上的一縱軸,且軸O1O/與軸O2OV相互正交位于同一面上,軸O1O/與軸O2O/的交點(diǎn)與第一物鏡組1、第二物鏡組2及第三物鏡組3的中心位于垂直于軸O1O/與軸O2O/所在平面的同一軸線(xiàn)上。第一物鏡組1、第二物鏡組2及第三物鏡組3均固定在同一塊固定底板9上。前端是指X射線(xiàn)Schmidt物鏡使用時(shí)靠近像平面6的一端,后端是指X射線(xiàn)Schmidt物鏡使用時(shí)靠近物平面4的一端。第一物鏡組1、第二物鏡組2及第三物鏡組3內(nèi)的鏡片12均為D263超光滑玻璃鏡片12,表面粗糙度達(dá)到?0.3nm。
[0038]如圖1所示,X射線(xiàn)Schmidt物鏡,物鏡中心到物平面4的距離定義為物距,物鏡中心到像平面6的距離定義為像距,在物平面4上的物體,經(jīng)X射線(xiàn)Schmidt物鏡成像,在像平面6上形成縮小的、正立的像,像的大小與物的比值為物鏡的放大率。物面單元格5為物鏡在物面上能夠分辨的最小分辨單元,像面單元格7為物鏡在像面上能夠分辨的最小分辨單元,二者的比值為物鏡的放大率,像平面成像有效區(qū)域8為像平面能夠成像的有效區(qū)域。
[0039]如圖3、4所示,每個(gè)物鏡組均包括兩個(gè)平行間隔設(shè)置的半框形卡槽13,每個(gè)物鏡組內(nèi)的鏡片12分別安裝在2半框形卡槽13之間。半框形卡槽13相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)側(cè)面上等間距設(shè)置有用于放置鏡片12的狹槽131,且半框形卡槽13相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)側(cè)面上的狹槽131相對(duì)稱(chēng)。半框形卡槽13的材質(zhì)為鋁合金,狹槽131是采用線(xiàn)切割的方式切割而成的。第一物鏡組I與第三物鏡組3內(nèi)的兩個(gè)半框形卡槽13的上下兩端分別與頂板15及底板14固定連接,第二物鏡組2內(nèi)的兩個(gè)半框形卡槽13的兩側(cè)面分別與頂板15及底板14連接,底板14平面度達(dá)到0.005mmo
[0040]鏡片12的4個(gè)邊角,分別嵌入4個(gè)狹槽131內(nèi),且鏡片下端面緊貼狹槽131下端面,在半框形卡槽13上的狹槽131內(nèi)放置鏡片12后注入環(huán)氧樹(shù)脂填補(bǔ)鏡片12與狹槽131間的間隙,經(jīng)過(guò)固化后,鏡片12與半框形卡槽13完全粘合。
[0041]如圖5、圖6所示,半框形卡槽13上的狹槽131,其下端面的高度均以半框形卡槽13的底面為基準(zhǔn),半框形卡槽13上的狹槽131寬度等于對(duì)應(yīng)鏡片12的厚度與鏡片12傾斜帶來(lái)的增量之和;相鄰兩個(gè)鏡片12之間的夾角由半框形卡槽13上的狹槽131下端面的空間位置決定。
[0042]如圖7所示,在第一物鏡組I的入瞳處設(shè)置有入瞳處光闌10,入瞳處光闌10內(nèi)貼鉛板,入瞳處光闌10上具有與第一物鏡組I入瞳口徑相同的方形通光口 ;在第三物鏡組3出瞳處設(shè)置有出瞳處光闌11,出瞳處光闌11內(nèi)貼鉛板,出瞳處光闌11上具有與第三物鏡組3出瞳口徑相同的方形通光口。
[0043]所述X射線(xiàn)Schmidt物鏡的子午與弧矢方向的視場(chǎng)角相等;通過(guò)增加鏡片12的數(shù)量以及減小排布鏡片12的圓柱面的半徑,能夠增加該物鏡的視場(chǎng),子午與弧矢方向的視場(chǎng)相互獨(dú)立。
[0044]參考圖1,一種基于X射線(xiàn)Schmidt物鏡的光學(xué)系統(tǒng),是將X射線(xiàn)Schmidt物鏡放置在物平面4與像平面6之間。
[0045]上述的對(duì)實(shí)施例的描述是為便于該技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能理解和使用發(fā)明。熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可以容易地對(duì)這些實(shí)施例做出各種修改,并把在此說(shuō)明的一般原理應(yīng)用到其他實(shí)施例中而不必經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)。因此,本發(fā)明不限于上述實(shí)施例,本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的揭示,不脫離本發(fā)明范疇所做出的改進(jìn)和修改都應(yīng)該在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,包括彼此分離且正交的第一物鏡組、第二物鏡組及第三物鏡組,第二物鏡組位于第一物鏡組與第三物鏡組之間; 第一物鏡組與第三物鏡組內(nèi)的鏡片均橫向設(shè)置,第三物鏡組與第一物鏡組的鏡片數(shù)相同,且對(duì)應(yīng)鏡片共面;第二物鏡組內(nèi)的鏡片縱向設(shè)置,第一物鏡組與第三物鏡組內(nèi)的鏡片長(zhǎng)度相等,均為第二物鏡組內(nèi)鏡片長(zhǎng)度的一半; 第一物鏡組的鏡片前后端分別均勻的分布在以O(shè)1O/為軸的兩個(gè)圓柱面上;第二物鏡組的鏡片前后端分別均勻的分布在以O(shè)2O/為軸的兩個(gè)圓柱面上; 其中O1O/為弧矢面上的一橫軸,O2O/為子午面上的一縱軸,且軸O1O/與軸O2O/相互正交位于同一面上,軸O1O/與軸O2O/的交點(diǎn)與第一物鏡組、第二物鏡組及第三物鏡組的中心位于垂直于軸O1O/與軸O2O/所在平面的同一軸線(xiàn)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,第一物鏡組、第二物鏡組及第三物鏡組內(nèi)的鏡片均為D263超光滑玻璃鏡片,表面粗糙度達(dá)到?0.3nm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,每個(gè)物鏡組均包括兩個(gè)平行間隔設(shè)置的半框形卡槽,每個(gè)物鏡組內(nèi)的鏡片分別安裝在2半框形卡槽之間。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,所述的半框形卡槽相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)側(cè)面上等間距設(shè)置有用于放置鏡片的狹槽,且半框形卡槽相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)側(cè)面上的狹槽相對(duì)稱(chēng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,半框形卡槽上的狹槽,其下端面的高度均以半框形卡槽的底面為基準(zhǔn),半框形卡槽上的狹槽寬度等于對(duì)應(yīng)鏡片的厚度與鏡片傾斜帶來(lái)的增量之和;相鄰兩個(gè)鏡片之間的夾角由半框形卡槽上的狹槽下端面的空間位置決定。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,在半框形卡槽上的狹槽內(nèi)放置鏡片后注入環(huán)氧樹(shù)脂填補(bǔ)鏡片與狹槽間的間隙,經(jīng)過(guò)固化后,鏡片與半框形卡槽完全粘合。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,第一物鏡組與第三物鏡組內(nèi)的兩個(gè)半框形卡槽的上下兩端分別與頂板及底板固定連接,第二物鏡組內(nèi)的兩個(gè)半框形卡槽的兩側(cè)面分別與頂板及底板連接,所述的底板平面度達(dá)到0.005mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,在第一物鏡組的入瞳處設(shè)置有入瞳處光闌,所述的入瞳處光闌內(nèi)貼鉛板,所述的入瞳處光闌上具有與第一物鏡組入瞳口徑相同的方形通光口 ;在第三物鏡組出瞳處設(shè)置有出瞳處光闌,所述的出瞳處光闌內(nèi)貼鉛板,所述的出瞳處光闌上具有與第三物鏡組出瞳口徑相同的方形通光口。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,其特征在于,所述X射線(xiàn)Schmidt物鏡的子午與弧矢方向的視場(chǎng)角相等;通過(guò)增加鏡片的數(shù)量以及減小排布鏡片的圓柱面的半徑,能夠增加該物鏡的視場(chǎng),子午與弧矢方向的視場(chǎng)相互獨(dú)立。10.—種基于如權(quán)利要求1?9中任一項(xiàng)所述的X射線(xiàn)Schmidt物鏡的光學(xué)系統(tǒng),其特征在于,將所述的X射線(xiàn)Schmidt物鏡放置在物平面與像平面之間。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種X射線(xiàn)Schmidt物鏡,包括彼此分離且正交的第一物鏡組、第二物鏡組及第三物鏡組,第二物鏡組位于第一物鏡組與第三物鏡組之間;第一物鏡組與第三物鏡組內(nèi)的鏡片均橫向設(shè)置,同時(shí)鏡片數(shù)相同,且對(duì)應(yīng)鏡片共面;第二物鏡組內(nèi)的鏡片縱向設(shè)置,第一物鏡組與第三物鏡組內(nèi)的鏡片長(zhǎng)度相等,均為第二物鏡組內(nèi)鏡片長(zhǎng)度的一半;第一物鏡組的鏡片前后端分別均勻的分布在以O(shè)1O1′為軸的兩個(gè)圓柱面上;第二物鏡組的鏡片前后端分別均勻的分布在以O(shè)2O2′為軸的兩個(gè)圓柱面上;軸O1O1′與軸O2O2′相互正交。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明通過(guò)將一組鏡片組分離,形成三物鏡的結(jié)構(gòu),克服了傳統(tǒng)Schmidt物鏡子午、弧矢方向成像分辨率存在差異的問(wèn)題,能有效改善成像質(zhì)量。
【IPC分類(lèi)】G21K1/06
【公開(kāi)號(hào)】CN105679392
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610031258
【發(fā)明人】徐捷, 王新, 穆寶忠, 展琦
【申請(qǐng)人】同濟(jì)大學(xué)
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年1月18日
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