光檢測器、x射線檢測裝置和x射線成像設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光檢測器、X射線檢測裝置和X射線成像設備。
【背景技術】
[0002]X射線成像設備(例如，計算機化斷層掃描(CT)設備)通常包括X射線產生裝置和X射線檢測裝置。X射線產生裝置產生X射線并將產生的X射線提供到待成像的目標對象(例如，待診斷的患者)。X射線檢測裝置接收穿過目標對象的X射線并將接收的X射線轉換成電信號。此外，X射線成像設備還包括對由X射線檢測裝置轉換的電信號進行處理以得到目標對象的圖像的圖像處理裝置、以及顯示得到的圖像的顯示裝置。
[0003]X射線檢測裝置通常包括堆疊設置的將X射線轉換成可見光的閃爍體層、將可見光轉換為電信號的光電二極管層、以及從光電二極管層接收電信號的基板(例如，印刷電路板(PCB))。X射線檢測裝置可以因光電二極管層的結構的不同而分為前光型(front-lit)和背光型(back-lit)兩種。在前光型X射線檢測裝置中，光電二極管層的連接端設置在光入射所經過的前表面上，并通過鍵合引線的方式安裝在基板上。在背光型X射線檢測裝置中，光電二極管層的連接端設置在與光入射所經過的前表面相對的后表面上。
[0004]光電二極管層的光電轉換區(qū)可以被設置成二維分布的像素從而形成多排(例如，16、32、64、128、256)的CT探測器。每個像素接收第二光以將第二光轉換為電信號，并通過在光電轉換區(qū)域和延伸區(qū)域的布線把每個像素的電信號連接到延伸區(qū)域的連接端焊盤。再經引線連接到基板上。
[0005]隨著檢測器的排數(shù)的增加，用于將光電二極管層電連接到基板的引線數(shù)增加，并因此需要光電二極管層上設置更多的用于引線鍵合的焊盤。然而，問題在于，焊盤需要具有一定的尺寸以保證正常地執(zhí)行引線鍵合工藝。因此，焊盤的這樣的尺寸要求限制了光電二極管層的排數(shù)的增加。

【發(fā)明內容】

[0006]本發(fā)明的示例性實施例的目的在于克服現(xiàn)有技術中的上述的和/或其他的問題。因此，本發(fā)明的示例性實施例提供了一種可以為轉換單元和基板提供具有足夠尺寸的電連接區(qū)域的光檢測器和X射線檢測裝置以及包括該X射線檢測裝置的X射線成像設備。
[0007]根據示例性實施例，一種光檢測器包括:基板；第一轉換單元，被構造為將入射到第一轉換單元的第一光轉換為第二光；第二轉換單元，被構造為將入射到第二轉換單元的第二光轉換為電信號，其中，第二轉換單元包括接收第二光以將第二光轉換為電信號的光電轉換區(qū)域和從光電轉換區(qū)域沿第一方向延伸的延伸區(qū)域，轉換的電信號通過延伸區(qū)域從光電轉換區(qū)域被發(fā)送到基板。
[0008]根據另一示例性實施例，一種X射線檢測裝置包括:如上所述的光檢測器，所述光檢測器接收作為第一光的X射線并將接收的X射線轉換為電信號。
[0009]根據另一示例性實施例，一種X射線成像設備包括-X射線產生裝置，被構造為產生X射線并將產生的X射線提供到待成像的目標對象；如上所述的X射線檢測裝置，所述X射線檢測裝置接收穿過目標對象的X射線并將接收的X射線轉換成電信號。
[0010]通過下面的詳細描述、附圖以及權利要求，其他特征和方面會變得清楚。
【附圖說明】
[0011]通過結合附圖對于本發(fā)明的示例性實施例進行描述，可以更好地理解本發(fā)明，在附圖中:
[0012]圖1是示意性示出根據示例性實施例的光檢測器的剖視圖；
[0013]圖2是示意性示出根據示例性實施例的光檢測器的俯視圖；
[0014]圖3是示意性示出根據另一示例性實施例的光檢測器的俯視圖；
[0015]圖4是示意性示出根據另一示例性實施例的光檢測器的俯視圖。
【具體實施方式】
[0016]以下將描述本發(fā)明的【具體實施方式】，需要指出的是，在這些實施方式的具體描述過程中，為了進行簡明扼要的描述，本說明書不可能對實際的實施方式的所有特征均作詳盡的描述。應當可以理解的是，在任意一種實施方式的實際實施過程中，正如在任意一個工程項目或者設計項目的過程中，為了實現(xiàn)開發(fā)者的具體目標，為了滿足系統(tǒng)相關的或者商業(yè)相關的限制，常常會做出各種各樣的具體決策，而這也會從一種實施方式到另一種實施方式之間發(fā)生改變。此外，還可以理解的是，雖然這種開發(fā)過程中所作出的努力可能是復雜并且冗長的，然而對于與本發(fā)明公開的內容相關的本領域的普通技術人員而言，在本公開揭露的技術內容的基礎上進行的一些設計，制造或者生產等變更只是常規(guī)的技術手段，不應當理解為本公開的內容不充分。
[0017]除非另作定義，權利要求書和說明書中使用的技術術語或者科學術語應當為本發(fā)明所屬技術領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本發(fā)明專利申請說明書以及權利要求書中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分?！耙粋€”或者“一”等類似詞語并不表示數(shù)量限制，而是表示存在至少一個?！鞍ā被蛘摺鞍钡阮愃频脑~語意指出現(xiàn)在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在“包括”或者“包含”后面列舉的元件或者物件及其等同元件，并不排除其他元件或者物件。“連接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，也不限于是直接的還是間接的連接。
[0018]圖1是示意性示出根據示例性實施例的光檢測器的剖視圖，圖2是示意性示出根據示例性實施例的光檢測器的俯視圖。
[0019]如圖1和圖2中所示，光檢測器可以包括第一轉換單元100、第二轉換單元300和基板500。
[0020]第一轉換單元100可以將入射到第一轉換單元100的第一光轉換為第二光。在一個示例性實施例中，第一光可以是X射線。例如，第一光可以是由計算機化斷層掃描(CT)設備的X射線產生器產生的X射線。在該示例性實施例中，第一轉換單元100可以包括可以將入射的X射線轉換為作為第二光的可見光的閃爍體。
[0021]第二轉換單元300可以將入射到第二轉換單元300的第二光轉換為電信號。如圖I和圖2中所示，第二轉換單元300可以包括接收第二光以將第二光轉換為電信號的光電轉換區(qū)域310、以及從光電轉換區(qū)域310沿第一方向延伸的延伸區(qū)域330。轉換的電信號可以通過延伸區(qū)域330從光電轉換區(qū)域310被發(fā)送到基板500。
[0022]具體地講，光電轉換區(qū)域310可以與第一轉換單元100對應，從而接收由第一轉換單元100轉換的第二光。例如，光電轉換區(qū)域310可以與第一轉換單元100疊置。延伸區(qū)域330可以從光電轉換區(qū)域310延伸，從而不與第一轉換單元100疊置。光電轉換區(qū)域310和延伸區(qū)域330可以一體化形成。例如，光電轉換區(qū)域310和延伸區(qū)域330可以分別為一個半導體基底(例如，硅基底)的中心區(qū)域和外圍區(qū)域。例如，可以通過對一個半導體基底進行蝕刻或切割以形成包括光電轉換區(qū)域從光電轉換區(qū)域延伸的延伸區(qū)域。
[0023]雖然在圖中將延伸區(qū)域示出為從光電轉換區(qū)域的兩側延伸，但是示例性實施例不限于此，例如，可以僅設置從光電轉換區(qū)域的一側延伸的延伸區(qū)域。
[0024]在一個示例性實施例中，第二轉換單元300可以包括設置在光電轉換區(qū)域310中的光電轉換元件(未示出)、設置在延伸區(qū)域330中并被電連接到基板500的第一連接端331、以及電連接在光電轉換元件和第一連接端331之間的布線333。光電轉換元件可以包括光電二極管、電荷耦合器件和/或互補金屬氧化物半導體器件?？梢栽诎雽w制造工藝中在作為半導體基底的光電轉換區(qū)域310和延伸區(qū)域330中形成光電轉換元件、第一連接端331和布線333。例如，可以一體化地形成第一連接端331和布線333。第一連接端331可以被形成為焊盤。雖然在圖1中僅示出了延伸區(qū)域330中的布線333，但是示例性實施例不限于此，布線333可以從光電轉換區(qū)域310延伸到延伸區(qū)域330，從而電連接光電轉換元件和連