粘合片以及使用該粘合片的電子元件的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種粘合片及使用該粘合片的電子元件的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 通常，對(duì)于半導(dǎo)體晶圓，在形成電路后貼合粘合片，并將其切割（dicing)成元 件小片，之后進(jìn)行清洗、干燥、粘合片的延展（expanding)、自粘合片的元件小片的拾取 (pickup)、安裝（mounting)等各個(gè)工序。作為在運(yùn)些工序中所使用的切割用及/或搬運(yùn)用 的粘合片，專利文獻(xiàn)1中記載了在基材上使用聚氯乙締的技術(shù)。
[0003]另外，作為粘著劑組成物，專利文獻(xiàn)2中記載了使用（甲基）丙締酸共聚物的組成 物。
[0004] 專利文獻(xiàn) 陽(yáng)0化]專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2006-049509號(hào)公報(bào)
[0006] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2007-246633號(hào)公報(bào)
[0007] 然而，現(xiàn)有作為基材使用了聚氯乙締的粘合片，隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)會(huì)出現(xiàn)可塑劑從基 材轉(zhuǎn)移至粘著劑層的現(xiàn)象，導(dǎo)致拾取工序的忍片拾取性發(fā)生問(wèn)題。
[0008] 此外，將粘合片使用于晶圓或封裝基板等被粘體的切割時(shí)，有兩種情形，一是將粘 合片貼合到被粘體上并加溫至75Γ左右后再進(jìn)行切割的情形，二是不加熱而直接切割的情 形。加溫是在被粘體與粘合片之間的粘著性不佳時(shí)，為了提高被粘體與粘合片之間的粘著 性W防止忍片飛散所進(jìn)行的，但是，進(jìn)行加溫后，切割后的忍片的拾取性可能會(huì)劣化。
[0009] 另外，若將粘著劑的組成調(diào)整為即使進(jìn)行加溫也不會(huì)使切割后的忍片的拾取性劣 化，則可能會(huì)發(fā)生未加溫時(shí)的粘著性劣化的情形。
[0010] 由于會(huì)出現(xiàn)上述情形，因此，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，很難在無(wú)加溫的生產(chǎn)線與有加溫的生 產(chǎn)線使用相同粘合片，而只能分別使用專口為了無(wú)加溫或有加溫而設(shè)計(jì)的不同粘合片。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 有鑒于此，本發(fā)明提供在拾取工序中忍片的拾取性不會(huì)隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而劣化、且可 使用于切割前有加溫工序及無(wú)加溫工序的兩種生產(chǎn)線的粘合片，W及使用該粘合片的電子 元件的制造方法。
[0012] 本發(fā)明所提供的粘合片，其由在基材膜上形成有粘著劑層而成，所述基材膜含聚 氯乙締與聚醋類可塑劑，所述粘著劑層由粘著劑組成物所成，其中，所述粘著劑組成物含有 100質(zhì)量份的（甲基）丙締酸共聚物W及0. 01~5質(zhì)量份的異氯酸醋類硬化劑，所述（甲 基）丙締酸共聚物含有40~90質(zhì)量％的（甲基）丙締酸下醋單元、5~55質(zhì)量％的（甲 基）丙締酸甲醋單元W及0. 1~10質(zhì)量％的含徑基的單體單元，所述（甲基）丙締酸共聚 物的重量平均分子量是40~100萬(wàn)。
[0013] 本發(fā)明的發(fā)明人為解決忍片的拾取性隨時(shí)間經(jīng)過(guò)劣化的問(wèn)題而進(jìn)行了精屯、研究， 結(jié)果發(fā)現(xiàn)作為粘著劑組成物使用將（甲基）丙締酸共聚物當(dāng)作基底樹(shù)脂者，并且作為可塑 劑使用聚醋類可塑劑時(shí)，可防止忍片的拾取性隨時(shí)間經(jīng)過(guò)劣化的問(wèn)題。
[0014] 并且，為開(kāi)發(fā)可同時(shí)使用于無(wú)加熱工序的生產(chǎn)線及有加熱工序的生產(chǎn)線的粘合片 也進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)將上述組成的（甲基）丙締酸共聚物當(dāng)成基底樹(shù)脂，使其含有上述 含量的異氯酸醋類硬化劑，且將環(huán)氧樹(shù)脂硬化劑的含量限制在上述范圍內(nèi)時(shí)，無(wú)論是否加 溫，均可擁有良好的忍片保持性及拾取性，W致完成本發(fā)明。
[0015] 本發(fā)明中尤為重要的是：藉由有特定組成的（甲基）丙締酸共聚物與有特定組成 的硬化劑的組合，才能得到無(wú)論是否有加溫工序均能獲得實(shí)現(xiàn)良好的忍片保持性W及拾取 性等優(yōu)越特性的粘合片。本發(fā)明的發(fā)明人使用各種組成的（甲基）丙締酸共聚物與各種 組成的硬化劑的組合進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)，然而只要共聚物與硬化劑的任何一個(gè)組成在上述范圍之 夕F，均會(huì)導(dǎo)致無(wú)加溫工序及/或有加溫工序時(shí)的忍片保持性及/或拾取性劣化，因此，無(wú)法 獲得期望的粘合片。
[0016] 優(yōu)選地，所述（甲基）丙締酸共聚物中，所述（甲基）丙締酸下醋單元的含量是 50~80質(zhì)量％、所述（甲基）丙締酸甲醋單元的含量是15~45質(zhì)量％。
[0017] 優(yōu)選地，所述含徑基的單體是丙締酸2-徑基乙醋。 陽(yáng)01引優(yōu)選地，所述基材膜中，相對(duì)100質(zhì)量份的聚氯乙締，含有25~45質(zhì)量份的聚醋 類可塑劑。
[0019] 優(yōu)選地，所述聚醋類可塑劑是己二酸類聚醋。
[0020] 優(yōu)選地，所述粘合片是切割膠帶，所述切割膠帶使用于電子元件的制造方法中，所 述制造方法包括：(a)于半導(dǎo)體晶圓或基板W及環(huán)狀框架上貼附切割膠帶的貼附工序；化） 切割半導(dǎo)體晶圓或基板而形成半導(dǎo)體忍片或半導(dǎo)體元件的切割工序；（C)拉長(zhǎng)粘合片而擴(kuò) 大半導(dǎo)體忍片或半導(dǎo)體元件之間間隔的擴(kuò)張工序；W及（d)從粘合片上拾取半導(dǎo)體忍片或 半導(dǎo)體元件的拾取工序。
[0021] 優(yōu)選地，所述制造方法于所述貼附工序之后且所述切割工序之前還包括將貼附有 所述粘合片的被粘體加溫至60~100°C的加溫工序。
【具體實(shí)施方式】
[0022] 下面說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。在本說(shuō)明書(shū)中，單體單元是指源自于單體的結(jié)構(gòu)單 元；關(guān)于"份"W及"％ "沒(méi)有特別說(shuō)明時(shí)則按質(zhì)量基準(zhǔn)表示；（甲基）丙締酸醋是丙締酸醋 W及甲基丙締酸醋的總稱；同樣地，如（甲基）丙締酸等含（甲基）的化合物是含有"甲基" 的化合物與不含"甲基"的化合物的總稱。
[0023] 本發(fā)明一實(shí)施方式中的粘合片，其由在基材膜上形成有粘著劑層而成，該基材膜 含聚氯乙締與聚醋類可塑劑，該粘著劑層由粘著劑組成物所成，其中，粘著劑組成物含有 100份的（甲基）丙締酸共聚物W及0. 01~5份的異氯酸醋類硬化劑，該（甲基）丙締酸 共聚物含有50~80質(zhì)量％的（甲基）丙締酸下醋單元、15~45%的（甲基）丙締酸甲醋 單元W及0. 1~10 %的含徑基的單體單元。
[0024] <1.基材膜〉
[0025] 作為基材膜，使用的是含有聚氯乙締，W及針對(duì)聚氯乙締的可塑劑即聚醋類可塑 劑者。作為聚醋類可塑劑，例如有：己二酸、壬二酸、癸二酸、鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯 二甲酸等碳數(shù)為2~10的脂肪族二簇酸及/或芳香族二簇酸等的二簇酸；與乙二醇、丙二 醇、下二醇、新戊二醇、己二醇等碳數(shù)為2~10的二醇發(fā)生縮聚而成的聚醋。作為該二簇 酸，優(yōu)選使用己二酸、癸二酸等脂肪族二簇酸，特別是考慮泛用性、價(jià)格低、經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性等特 性而言，更優(yōu)選為己二酸。作為二醇，可選用直鎖狀或側(cè)鎖狀者，即可依據(jù)所需適當(dāng)?shù)剡x用。 該二醇的碳數(shù)優(yōu)選是2~6。對(duì)于聚醋類可塑劑的數(shù)目平均分子量，并無(wú)特別的限制，通常 選用500~4000左右者。關(guān)于聚醋類可塑劑的含量而言，相對(duì)于100質(zhì)量份的聚氯乙締， 優(yōu)選含25~45質(zhì)量份，更優(yōu)選含30~40質(zhì)量份。
[00%] 此外，依所需可在基材膜上添加抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、抗靜電劑、阻 燃劑、染料或顏料等著色劑等各種添加劑。運(yùn)些添加劑視其種類W常規(guī)量使用。
[0027] 下面，對(duì)運(yùn)些添加劑進(jìn)行說(shuō)明。作為抗氧化劑，可選用在傳統(tǒng)樹(shù)脂或樹(shù)脂組成物中 被周知為抗氧化劑的任一者，即并無(wú)特別限定。具代表性的抗氧化劑，可列舉苯酪類（單酪 類、雙酪類、高分子型苯酪類）、硫類、憐類等W往通常所使用的抗氧化劑。
[0028] 此外，作為紫外線吸收劑，可列舉水楊酸鹽類、二苯甲酬類、苯并Ξ挫類W及氯基 丙締酸醋類，就紫外線吸收效果而言，優(yōu)選二苯甲酬類紫外線吸收劑W及苯并Ξ挫類紫外 線吸收劑，尤其更優(yōu)選為苯并Ξ挫類紫外線吸收劑。
[0029] 作為光穩(wěn)定劑，例如可使用受阻胺類、受阻酪類等的光穩(wěn)定劑。對(duì)于光穩(wěn)定劑的添 加量并無(wú)特別限定，為一般使用量即可。
[0030] 關(guān)于抗靜電劑并無(wú)特別限定，例如可列舉四級(jí)胺鹽單體等。作為四級(jí)胺鹽單體，例 如有：（甲基）丙締酸二甲基胺基乙醋四級(jí)氯化物、（甲基）丙締酸二乙基胺基乙醋四級(jí)氯 化物、（甲基）丙締酸甲基乙基胺基乙醋四級(jí)氯化物、對(duì)二甲基胺基苯乙締四級(jí)氯化物、及 對(duì)二乙基胺基苯乙締四級(jí)氯化物，其中，優(yōu)選使用（甲基）丙締酸二甲基胺基乙醋四級(jí)氯化 物。
[0031] 關(guān)于阻燃劑并無(wú)特別限定，例如可列舉：漠類阻燃劑、氨氧化侶、氨氧化儀、Ξ氧化 錬等的無(wú)機(jī)阻燃劑；含有氯尿酸Ξ聚氯胺、尿素、Ξ聚氯胺衍生物等的含Ξ嗦環(huán)的化合物、 如芳香族聚憐酸醋等憐酸醋等的有機(jī)阻燃劑。
[0032] 作為著色劑，可使用有機(jī)顏料、無(wú)機(jī)顏料、染料、炭黑等公知或周知的任何著色劑。 任何顏色皆可，例如可為白色、象牙色、黑色、紅色、藍(lán)色、黃色或綠色等。將基材膜作為多層 結(jié)構(gòu)時(shí)，可在所有的層中加入著色劑，或是只在局部層中加入著色劑亦可。作為顏料，可列 舉：獻(xiàn)菁類、偶氮類、縮合偶氮類、偶氮色淀類、蔥釀?lì)悺⑶伞で沙觐?、說(shuō)藍(lán)?硫說(shuō)藍(lán)類、異嗎I噪 嘟酬類、偶氮次甲基偶氮類、二惡嗦類、哇叮晚酬類、苯胺黑類、Ξ苯甲燒類或碳黑類等的有 機(jī)顏料；氧化鐵類、氧化鐵類、氨氧化鐵類、氧化銘類、尖晶石型燒制類、銘酸類、鋼銘紅類、 鐵藍(lán)類、侶粉類、青銅粉類等。運(yùn)些顏料可W是任何形態(tài)，并且，運(yùn)些顏料也可W是依據(jù)各