本申請涉及化工設(shè)備，具體而言，本申請涉及一種加氫純化裝置。

背景技術(shù)：

1、電子生產(chǎn)工業(yè)中，需要用到特種氣體，如高純的氧氣、氮氣、二氧化碳、氬氣和丙烷等等，這些特種氣體的純度要遠遠高于普通的工業(yè)氣體。

2、高純度的氫氣、氮氣、稀有氣體、氧氣等氣體是發(fā)光二極管、大規(guī)模集成電路等半導體產(chǎn)業(yè)的重要原料，這些氣體主要作為半導體生產(chǎn)過程中的載氣、保護氣，其純度對產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導體技術(shù)的飛速發(fā)展，對氣體純度的要求越來越高。例如高純氮可以用作化學氣相沉淀時的載氣。另外，高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，也作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。然而，一方面，體積含量低于純度為99.9％普氮中往往因為濃度過低，且含有大量雜質(zhì)，固體雜質(zhì)尚且不說，對于氣體雜質(zhì)，例如氧氣、二氧化碳、一氧化碳、二氧化硫和稀有氣體等，均會影響普氮的保護效果。另一方向，直接采購高純氮，會大幅提高生產(chǎn)成本，降低產(chǎn)品競爭力。

3、綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)中存在氮氣純度不高或者采購成本較高的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請針對現(xiàn)有方式的缺點，提出一種加氫純化裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的氮氣純度不高或者采購成本較高的技術(shù)問題。

2、本申請實施例提供了一種加氫純化裝置，包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過濾裝置：

3、普氮輸入管；

4、氫氣輸入管；

5、靜態(tài)混合器，分別與所述普氮輸入管、所述氫氣輸入管連接；

6、熱交換器，與所述靜態(tài)混合器連接；

7、脫氧塔，通過至少兩條通路與所述熱交換器連接，所述脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑；

8、干燥過濾裝置，分別與所述熱交換器、所述脫氧塔連接。

9、在本申請的一些實施例中，所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接，所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接，所述氫氣輸入管通過所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

10、在本申請的一些實施例中，所述兩條通路包括換氣通路和導熱通路，所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口，所述導熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

11、在本申請的一些實施例中，所述干燥過濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機和精密過濾器，所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接，所述油水分離器與所述、冷干機、所述精密過濾器依次串聯(lián)。

12、在本申請的一些實施例中，所述干燥過濾裝置還包括干燥機，所述干燥機包括兩個并列排布的干燥塔體，兩個所述干燥塔體的入口均與所述精密過濾器連接。

13、在本申請的一些實施例中，所述干燥過濾裝置還包括氮氣緩沖罐，所述氮氣緩沖罐分別與兩個所述干燥塔體的出口連接。

14、在本申請的一些實施例中，所述干燥機包括變壓吸附干燥機或者變溫吸附干燥機。

15、在本申請的一些實施例中，還包括制氫裝置，所述制氫裝置包括氨分解爐，所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

16、在本申請的一些實施例中，還包括多個排污支管和一個排污總管，每個所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接，多個所述排污支管匯入所述排污總管。

17、在本申請的一些實施例中，還包括可編程邏輯控制器和報警裝置，所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過濾裝置、所述報警裝置信號連接。

18、本申請實施例提供的技術(shù)方案帶來的有益技術(shù)效果包括：本申請實施例通過脫氧塔催化脫氧，配合干燥過濾裝置吸附，除去氮氣中的氧、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì)，獲取高純氮氣。又通過脫氧塔與熱交換器連接，普氮中的氧氣雜質(zhì)與氫氣發(fā)生化學反應(yīng)生成水被除去，同時放出大量熱量，將脫氧塔出口的熱量導入熱交換器中，用于預熱位于熱交換器入口的氣體，減少了普氮在脫氧塔中的加熱時間，提高了氮氣純化效率，無需設(shè)置單獨的加熱設(shè)備，循環(huán)利用能量，降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

19、本申請附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，這些將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種加氫純化裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接，所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接，所述氫氣輸入管通過所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述兩條通路包括換氣通路和導熱通路，所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口，所述導熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機和精密過濾器，所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接，所述油水分離器與所述、冷干機、所述精密過濾器依次串聯(lián)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過濾裝置還包括干燥機，所述干燥機包括兩個并列排布的干燥塔體，兩個所述干燥塔體的入口均與所述精密過濾器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過濾裝置還包括氮氣緩沖罐，所述氮氣緩沖罐分別與兩個所述干燥塔體的出口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥機包括變壓吸附干燥機或者變溫吸附干燥機。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括制氫裝置，所述制氫裝置包括氨分解爐，所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括多個排污支管和一個排污總管，每個所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接，多個所述排污支管匯入所述排污總管。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括可編程邏輯控制器和報警裝置，所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過濾裝置、所述報警裝置信號連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種加氫純化裝置。加氫純化裝置包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過濾裝置：靜態(tài)混合器，分別與普氮輸入管、氫氣輸入管連接；熱交換器，與靜態(tài)混合器連接；脫氧塔，通過至少兩條通路與熱交換器連接，脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑；干燥過濾裝置，分別與熱交換器、脫氧塔連接。本申請實施例通過脫氧塔催化脫氧，配合干燥過濾裝置吸附，除去氧、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì)，獲取高純氮氣。又通過脫氧塔與熱交換器連接，將脫氧塔出口的熱量導入熱交換器中，用于預熱位于熱交換器入口的氣體，減少了普氮在脫氧塔中的加熱時間，提高了氮氣純化效率，循環(huán)利用能量，降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

技術(shù)研發(fā)人員：張凱,伍進元,郭小慶
受保護的技術(shù)使用者：湖北耐卡凈化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240220
技術(shù)公布日：2024/9/26