1.如下式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化合物，其特征在于，式(i)化合物中具有2-6個-c≡c-c(oh)rarb基團；
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化合物，其特征在于，z選自h、c1-6烷基或c1-6烷氧基；
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化合物，其特征在于，-c≡c-c(oh)rarb選自、、或。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化合物，其特征在于，式(i)所示化合物具有如下結(jié)構(gòu)：
6.權(quán)利要求1-5任一項所述式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物用于制備光刻膠的用途。
7.一種正性或負性光刻膠組合物，其特征在于，包括權(quán)利要求1-5任一項所述式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物中的至少一種，光致產(chǎn)酸劑，防酸擴散劑和光刻膠溶劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的正性或負性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性或負性光刻膠組合物還包括溶劑，所述溶劑選自下列物質(zhì)中的一種，兩種或多種：丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、n,n-二甲基甲酰胺、環(huán)己酮、乙基正戊酮、乙基異戊酮、乙醇、乙腈、異丙醇、丙酮、甲基正戊酮、甲基異戊酮。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的正性或負性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性或負性光刻膠組合物還包括光致產(chǎn)酸劑，所述光酸產(chǎn)生劑選自離子型或非離子型光酸產(chǎn)生劑，包括：三氟甲磺酸三苯基硫鎓鹽、全氟丁基磺酸三苯基硫鎓鹽、六氟銻酸三苯基硫鎓鹽、對甲苯磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓鹽或n-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸鹽中的一種或幾種。
10.權(quán)利要求1-5任一項所述化合物在光刻中的應(yīng)用；