技術(shù)特征：

1.一種晶圓傳送控制方法，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，?所述根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立運(yùn)動(dòng)模型，包括：

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述建立所述運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系，包括：

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正，包括：

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述通過微調(diào)標(biāo)定的方式建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的相對坐標(biāo)系，包括：

6.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述確定所述零點(diǎn)坐標(biāo)系與所述相對坐標(biāo)系的誤差，包括：

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)校正后的所述零點(diǎn)坐標(biāo)系建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的絕對坐標(biāo)系，包括：

8.一種晶圓傳送控制裝置，其特征在于，包括：

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括：

10.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其中，該程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1~7中任一所述的方法。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種晶圓傳送控制方法、裝置、設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。其中方法包括：根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立運(yùn)動(dòng)模型；建立運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系；對零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正；根據(jù)校正后的零點(diǎn)坐標(biāo)系建立運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的絕對坐標(biāo)系；根據(jù)絕對坐標(biāo)系控制運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照第一運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓，并獲取預(yù)設(shè)點(diǎn)的第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置；控制運(yùn)動(dòng)模型根據(jù)絕對坐標(biāo)系按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡運(yùn)動(dòng)，并獲取預(yù)設(shè)點(diǎn)的第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置；對比第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，若第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置存在偏差，則根據(jù)第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置的偏差校正絕對坐標(biāo)系。本發(fā)明實(shí)施例公開的晶圓傳送方案能夠避免晶圓在傳送過程中出現(xiàn)誤差，實(shí)現(xiàn)對晶圓傳送機(jī)構(gòu)的精準(zhǔn)控制。

技術(shù)研發(fā)人員：任璐璐,任志強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫展碩科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21