本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種晶圓傳送控制方法、裝置、設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓傳送是關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一，尤其是對于真空設(shè)備，其具有多個(gè)工藝腔，晶圓需要按照既定線路將被精準(zhǔn)放到相應(yīng)的工藝腔內(nèi)。在實(shí)際操作中，傳送晶圓的機(jī)械臂的實(shí)際運(yùn)動(dòng)路徑往往與預(yù)設(shè)路徑存在偏差，造成晶圓不能被準(zhǔn)確傳送到位，進(jìn)而影響加工效果甚至發(fā)生碰撞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的至少一個(gè)技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種晶圓傳送控制方法、裝置、設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。所述技術(shù)方案如下：

2、第一方面，提供了一種晶圓傳送控制方法，包括：

3、根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立運(yùn)動(dòng)模型；

4、建立所述運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系；

5、對所述零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正；

6、根據(jù)校正后的所述零點(diǎn)坐標(biāo)系建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的絕對坐標(biāo)系；

7、所述根據(jù)所述絕對坐標(biāo)系控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓，包括：

8、根據(jù)所述絕對坐標(biāo)系控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照第一運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓，并獲取預(yù)設(shè)點(diǎn)的第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)包括：定位點(diǎn)，所述定位點(diǎn)為晶圓存放腔中晶圓承載盤的直徑延長線與晶圓工藝腔中晶圓承載盤的直徑延長線的交點(diǎn)；

9、在所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓的同時(shí)，控制所述運(yùn)動(dòng)模型根據(jù)所述絕對坐標(biāo)系按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡運(yùn)動(dòng)，并獲取所述預(yù)設(shè)點(diǎn)的第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)為所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡和所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡在所述絕對坐標(biāo)系中坐標(biāo)相同的重合點(diǎn)；

10、對比所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，若所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置存在偏差，則根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置的偏差校正所述絕對坐標(biāo)系。

11、進(jìn)一步地，所述根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立運(yùn)動(dòng)模型，包括：

12、根據(jù)所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)模型和直線運(yùn)動(dòng)模型；

13、將所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)形式與所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)模型和所述直線運(yùn)動(dòng)模型耦合。

14、進(jìn)一步地，所述建立所述運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系，包括：

15、控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)回零，建立所述運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系。

16、進(jìn)一步地，所述對所述零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正，包括：

17、通過微調(diào)標(biāo)定的方式建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的相對坐標(biāo)系；

18、確定所述零點(diǎn)坐標(biāo)系與所述相對坐標(biāo)系的誤差；

19、根據(jù)所述誤差對所述零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正。

20、進(jìn)一步地，所述通過微調(diào)標(biāo)定的方式建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的相對坐標(biāo)系，包括：

21、獲取安裝在所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的第一傳感器發(fā)送的第一零點(diǎn)位置和第二傳感器發(fā)送的第二零點(diǎn)位置，根據(jù)所述第一零點(diǎn)和所述第二零點(diǎn)確定所述相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置，或者

22、通過所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)內(nèi)編碼的z點(diǎn)確定所述相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置；

23、根據(jù)所述相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)建立所述相對坐標(biāo)系。

24、進(jìn)一步地，所述確定所述零點(diǎn)坐標(biāo)系與所述相對坐標(biāo)系的誤差，包括：

25、控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行到所述零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)，獲取所述零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置；

26、根據(jù)所述相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置和所述零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置，確定所述零點(diǎn)坐標(biāo)系和所述相對坐標(biāo)系的誤差。

27、進(jìn)一步地，所述根據(jù)校正后的所述零點(diǎn)坐標(biāo)系建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的絕對坐標(biāo)系，包括：

28、根據(jù)校正后的所述零點(diǎn)坐標(biāo)系控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行至預(yù)設(shè)的標(biāo)定位置，獲取標(biāo)定信息；

29、根據(jù)所述標(biāo)定信息建立所述絕對坐標(biāo)系。

30、第二方面，提供了一種晶圓傳送控制裝置，包括：

31、建模模塊，用于根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立運(yùn)動(dòng)模型；

32、第一坐標(biāo)系構(gòu)建模塊，用于建立所述運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系；

33、第一校正模塊，用于對所述零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正；

34、第二坐標(biāo)系構(gòu)建模塊，用于根據(jù)校正后的所述零點(diǎn)坐標(biāo)系建立所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的絕對坐標(biāo)系；

35、第一控制模塊，用于根據(jù)所述絕對坐標(biāo)系控制所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照第一運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓，并獲取預(yù)設(shè)點(diǎn)的第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)包括：定位點(diǎn)，所述定位點(diǎn)為晶圓存放腔中晶圓承載盤的直徑延長線與晶圓工藝腔中晶圓承載盤的直徑延長線的交點(diǎn)；

36、第二控制模塊，用于在所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)按照所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡傳送晶圓的同時(shí)，控制所述運(yùn)動(dòng)模型根據(jù)所述絕對坐標(biāo)系按照第二運(yùn)動(dòng)軌跡運(yùn)動(dòng)，并獲取所述預(yù)設(shè)點(diǎn)的第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)為所述第一運(yùn)動(dòng)軌跡和所述第二運(yùn)動(dòng)軌跡在所述絕對坐標(biāo)系中坐標(biāo)相同的重合點(diǎn)；

37、第二校正模塊，用于對比所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置，若所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置存在偏差，則根據(jù)所述第一預(yù)設(shè)點(diǎn)位置和所述第二預(yù)設(shè)點(diǎn)位置的偏差校正所述絕對坐標(biāo)系。

38、進(jìn)一步地，建模模塊，包括：

39、初步建模模塊，用于根據(jù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)建立旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)模型和直線運(yùn)動(dòng)模型；

40、耦合模塊，用于將運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)形式與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)模型和直線運(yùn)動(dòng)模型耦合。

41、進(jìn)一步地，第一坐標(biāo)系構(gòu)建模塊，具體用于：

42、控制運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)回零，建立運(yùn)動(dòng)模型的零點(diǎn)坐標(biāo)系。

43、進(jìn)一步地，校正模塊，包括：

44、相對坐標(biāo)系建立模塊，用于通過微調(diào)標(biāo)定的方式建立運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的相對坐標(biāo)系；

45、誤差確定模塊，用于確定零點(diǎn)坐標(biāo)系與相對坐標(biāo)系的誤差；

46、偏差校正模塊，用于根據(jù)誤差對零點(diǎn)坐標(biāo)系進(jìn)行偏差校正。

47、進(jìn)一步地，相對坐標(biāo)系建立模塊，具體用于：

48、獲取安裝在運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的第一傳感器發(fā)送的第一零點(diǎn)位置和第二傳感器發(fā)送的第二零點(diǎn)位置，根據(jù)第一零點(diǎn)和第二零點(diǎn)確定相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置；

49、根據(jù)所述相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)建立所述相對坐標(biāo)系。

50、進(jìn)一步地，相對坐標(biāo)系建立模塊，具體用于：

51、通過運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)內(nèi)編碼的z點(diǎn)確定相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置；

52、根據(jù)相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)建立相對坐標(biāo)系。

53、進(jìn)一步地，誤差確定模塊，具體用于：

54、控制運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行到零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)，獲取零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置；

55、根據(jù)相對坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置和零點(diǎn)坐標(biāo)系的零點(diǎn)位置，確定零點(diǎn)坐標(biāo)系和相對坐標(biāo)系的誤差。

56、進(jìn)一步地，第一校正模塊，具體用于：

57、根據(jù)校正后的零點(diǎn)坐標(biāo)系控制運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行至預(yù)設(shè)的標(biāo)定位置，獲取標(biāo)定信息；

58、根據(jù)標(biāo)定信息建立絕對坐標(biāo)系。

59、第三方面，提供了一種電子設(shè)備，包括：

60、一個(gè)或多個(gè)處理器；以及

61、與所述一個(gè)或多個(gè)處理器關(guān)聯(lián)的存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ)程序指令,所述程序指令在被所述一個(gè)或多個(gè)處理器讀取執(zhí)行時(shí)，執(zhí)行如第一方面任一所述的方法。

62、第四方面，提供了一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其中，該程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如第一方面任一所述的方法。

63、本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：

64、1、本發(fā)明實(shí)施例公開的晶圓傳送方案實(shí)現(xiàn)對晶圓傳送機(jī)構(gòu)的精準(zhǔn)控制，能夠避免晶圓在傳送過程中出現(xiàn)誤差，減小晶圓加工損失，提高加工成品率；

65、2、本發(fā)明實(shí)施例公開的晶圓傳送方案提供了簡單的晶圓傳送偏差校正方法，提高晶圓傳送效率。