本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備，特別是涉及一種uv固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、uv固化是半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中常用的工藝。例如采用cvd設(shè)備制造納米多孔的低介電常數(shù)薄膜的兩個(gè)步驟中，第一步是用pecvd氣相沉積形成有機(jī)硅酸鹽玻璃“脊骨”和熱不穩(wěn)定有機(jī)相沉積物，第二步就是紫外線(xiàn)?(uv)?固化。uv光均勻地照在晶圓表面，晶圓表面預(yù)先形成的薄膜吸收uv光，使得熱不穩(wěn)定有機(jī)相沉積物變?yōu)闅鈶B(tài)從腔內(nèi)抽走。通過(guò)uv照射，可以去除晶圓表面不穩(wěn)定相，使得晶圓表面的有機(jī)硅酸鹽玻璃重構(gòu)并增強(qiáng)，從而誘導(dǎo)空隙形成，以形成最終的納米多孔薄膜。這個(gè)過(guò)程中，uv光在晶圓表面光照度均勻與否，直接與薄膜的均勻度強(qiáng)相關(guān)，所以調(diào)節(jié)uv光在晶圓表面的光照均勻度直接影響薄膜的均勻度，即影響薄膜的質(zhì)量。除此之外，光刻工藝也會(huì)在顯影后進(jìn)行uv固化以增強(qiáng)光刻膠強(qiáng)度，防止圖形坍塌。在半導(dǎo)體后段封裝工藝中也常用到uv照射工藝。雖然應(yīng)用不同，但這些工藝都對(duì)uv照射均勻性有較高要求。

2、現(xiàn)有的uv照射裝置的大體結(jié)構(gòu)包括uv燈組件、反射板及照射腔室。反射板位于uv燈組件和照射腔室之間，用于對(duì)入射到其表面的uv光進(jìn)行反射以提高光照均勻性。但是現(xiàn)有技術(shù)中，反射板是和照射腔室一體固定連接的，其位置無(wú)法調(diào)節(jié)。一旦設(shè)備的其他結(jié)構(gòu)出現(xiàn)問(wèn)題，例如uv燈組件內(nèi)部出現(xiàn)安裝偏差（uv燈組件的調(diào)節(jié)涉及很多結(jié)構(gòu)，因此uv燈位置的調(diào)節(jié)極其困難）或不同uv燈的光照度存在差異，很有可能導(dǎo)致照射均勻性差，難以滿(mǎn)足工藝需求。

3、應(yīng)該注意，上面對(duì)技術(shù)背景的介紹只是為了方便對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的說(shuō)明，并方便本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而闡述的。不能僅僅因?yàn)檫@些方案在本發(fā)明的背景技術(shù)部分進(jìn)行了闡述而認(rèn)為上述技術(shù)方案為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種uv固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備，以解決現(xiàn)有的uv照射裝置因反射板的位置無(wú)法調(diào)節(jié)，當(dāng)設(shè)備其他結(jié)構(gòu)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)可能導(dǎo)致照射均勻性差，難以滿(mǎn)足工藝需求等問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種uv固化腔，所述uv固化腔包括自上而下依次設(shè)置的uv燈組件、底座組件及uv腔室；所述uv燈組件通過(guò)底座組件固定于uv腔室上，包括至少一個(gè)uv燈；所述底座組件包括呈環(huán)形分布的反射板以及設(shè)置在反射板外圍，且與反射板連接，以在需要時(shí)對(duì)反射板位置進(jìn)行調(diào)整的微調(diào)裝置；所述微調(diào)裝置包括支撐架、x向移動(dòng)件、y向移動(dòng)件及z向移動(dòng)件，各移動(dòng)件可對(duì)反射板進(jìn)行對(duì)應(yīng)方向的位置調(diào)節(jié)，x向、y向和z向相互垂直；所述支撐架與反射板連接，自上而下包括相互配合的第一支架、第二支架及第三支架，相鄰的兩個(gè)支架上對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互配合的x向?qū)Р?、x向滑塊、y向?qū)Р奂皔向滑塊；所述x向移動(dòng)件、y向移動(dòng)件及z向移動(dòng)件均包括相互配合的螺旋調(diào)節(jié)螺釘主動(dòng)件及從動(dòng)件；各移動(dòng)件的主動(dòng)件均穿過(guò)位于支撐架上的通孔直至與對(duì)應(yīng)的從動(dòng)件螺紋配合，x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件的從動(dòng)件各自抵接在支撐架上的不同斜楔塊的非斜面部的錐形座內(nèi)，與x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件抵接的斜楔塊各自與支撐架上的不同斜楔塊斜面配合，在x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件的推動(dòng)下，相互配合的斜楔塊沿斜面發(fā)生相對(duì)位移，z向移動(dòng)件的從動(dòng)件抵接在支撐架上另一斜楔塊的斜面的錐形座內(nèi)，z向移動(dòng)件為差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)以及x向移動(dòng)件及y向移動(dòng)件中的至少一個(gè)為差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)。

3、可選地，所述反射板為矩形環(huán)狀；所述微調(diào)裝置為4個(gè)，一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于反射板的四個(gè)周向的外圍，且與對(duì)應(yīng)方向上的支撐架連接；周向相鄰的支撐架通過(guò)連接架和連接螺釘可拆卸連接，且各支撐架通過(guò)設(shè)置于連接架上的定位錐銷(xiāo)與反射板連接。

4、可選地，各支撐架的兩端具有階梯型連接結(jié)構(gòu)，連接架與各階梯型連接結(jié)構(gòu)的底部連接。

5、可選地，所述uv燈組件包括若干uv燈及環(huán)繞各uv燈的拋物面型初級(jí)反射板。

6、可選地，各導(dǎo)槽為梯形槽，各滑塊為梯形塊。

7、可選地，所述第一支架與反射板固定連接，所述第一支架的下表面設(shè)置有x向滑塊，所述第二支架的上表面設(shè)置有x向?qū)Р?，所述第二支架的下表面設(shè)置有y向滑塊，所述第三支架的上表面設(shè)置有y向?qū)Р郏鰖向移動(dòng)件設(shè)置于第三支架上，且z向移動(dòng)件的從動(dòng)件抵接在支撐架的位于第三支架下方的底架上的斜楔塊的斜面上。

8、可選地，第三支架的上表面的y向?qū)Р蹫閮蓚€(gè)，平行間隔設(shè)置于x向?qū)Р鄣南鄬?duì)兩側(cè)，且與對(duì)應(yīng)的y向滑塊一一配合；所述z向移動(dòng)件位于兩個(gè)y向?qū)Р壑g。

9、可選地，所述微調(diào)裝置還包括分別可繞x軸、y軸及z軸轉(zhuǎn)動(dòng)的微旋組件，各微旋組件可實(shí)現(xiàn)反射板繞相應(yīng)軸向的位置微調(diào)；各微旋組件包括差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)螺釘主動(dòng)件及從動(dòng)件；各微旋組件的主動(dòng)件均穿過(guò)位于支撐架上的通孔直至與對(duì)應(yīng)的從動(dòng)件螺紋配合，且各從動(dòng)件抵接在支撐架的表面。

10、可選地，所述uv固化腔還包括若干彈性件，所述彈性件套設(shè)于對(duì)應(yīng)移動(dòng)件的主動(dòng)件和/或與對(duì)應(yīng)移動(dòng)件移動(dòng)方向相同的螺釘上。

11、本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，所述半導(dǎo)體制造設(shè)備包括如上述任一方案中所述的uv固化腔。

12、如上所述，本發(fā)明提供的uv固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備，具有以下有益效果：本發(fā)明提供的uv固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備經(jīng)改善的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)反射板位置的精確調(diào)整，有助于改善uv光照均勻性，提升工藝良率。

技術(shù)特征：

1.一種uv固化腔，其特征在于，所述uv固化腔包括自上而下依次設(shè)置的uv燈組件、底座組件及uv腔室；所述uv燈組件通過(guò)底座組件固定于uv腔室上，包括至少一個(gè)uv燈；所述底座組件包括呈環(huán)形分布的反射板以及設(shè)置在反射板外圍，且與反射板連接，以在需要時(shí)對(duì)反射板位置進(jìn)行調(diào)整的微調(diào)裝置；所述微調(diào)裝置包括支撐架、x向移動(dòng)件、y向移動(dòng)件及z向移動(dòng)件，各移動(dòng)件可對(duì)反射板進(jìn)行對(duì)應(yīng)方向的位置調(diào)節(jié)，x向、y向和z向相互垂直；所述支撐架與反射板連接，自上而下包括相互配合的第一支架、第二支架及第三支架，相鄰的兩個(gè)支架上對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互配合的x向?qū)Р邸向滑塊、y向?qū)Р奂皔向滑塊；所述x向移動(dòng)件、y向移動(dòng)件及z向移動(dòng)件均包括相互配合的螺旋調(diào)節(jié)螺釘主動(dòng)件及從動(dòng)件；各移動(dòng)件的主動(dòng)件均穿過(guò)位于支撐架上的通孔直至與對(duì)應(yīng)的從動(dòng)件螺紋配合，x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件的從動(dòng)件各自抵接在支撐架上的不同斜楔塊的非斜面部的錐形座內(nèi)，與x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件抵接的斜楔塊各自與支撐架上的不同斜楔塊斜面配合，在x向移動(dòng)件和y向移動(dòng)件的推動(dòng)下，相互配合的斜楔塊沿斜面發(fā)生相對(duì)位移，z向移動(dòng)件的從動(dòng)件抵接在支撐架上另一斜楔塊的斜面的錐形座內(nèi)，z向移動(dòng)件為差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)以及x向移動(dòng)件及y向移動(dòng)件中的至少一個(gè)為差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的uv固化腔，其特征在于，所述反射板為矩形環(huán)狀；所述微調(diào)裝置為4個(gè)，一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于反射板的四個(gè)周向的外圍，且與對(duì)應(yīng)方向上的支撐架連接；周向相鄰的支撐架通過(guò)連接架和連接螺釘可拆卸連接，且各支撐架通過(guò)設(shè)置于連接架上的定位錐銷(xiāo)與反射板連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的uv固化腔，其特征在于，各支撐架的兩端具有階梯型連接結(jié)構(gòu)，連接架與各階梯型連接結(jié)構(gòu)的底部連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的uv固化腔，其特征在于：所述uv燈組件包括若干uv燈及環(huán)繞各uv燈的拋物面型初級(jí)反射板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的uv固化腔，其特征在于，各導(dǎo)槽為梯形槽，各滑塊為梯形塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的uv固化腔，其特征在于，所述第一支架與反射板固定連接，所述第一支架的下表面設(shè)置有x向滑塊，所述第二支架的上表面設(shè)置有x向?qū)Р?，所述第二支架的下表面設(shè)置有y向滑塊，所述第三支架的上表面設(shè)置有y向?qū)Р郏鰖向移動(dòng)件設(shè)置于第三支架上，且z向移動(dòng)件的從動(dòng)件抵接在支撐架的位于第三支架下方的底架上的斜楔塊的斜面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的uv固化腔，其特征在于，第三支架的上表面的y向?qū)Р蹫閮蓚€(gè)，平行間隔設(shè)置于x向?qū)Р鄣南鄬?duì)兩側(cè)，且與對(duì)應(yīng)的y向滑塊一一配合；所述z向移動(dòng)件位于兩個(gè)y向?qū)Р壑g。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的uv固化腔，其特征在于，所述微調(diào)裝置還包括分別可繞x軸、y軸及z軸轉(zhuǎn)動(dòng)的微旋組件，各微旋組件可實(shí)現(xiàn)反射板繞相應(yīng)軸向的位置微調(diào)；各微旋組件包括差動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)螺釘主動(dòng)件及從動(dòng)件；各微旋組件的主動(dòng)件均穿過(guò)位于支撐架上的通孔直至與對(duì)應(yīng)的從動(dòng)件螺紋配合，且各從動(dòng)件抵接在支撐架的表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的uv固化腔，其特征在于：所述uv固化腔還包括若干彈性件，所述彈性件套設(shè)于對(duì)應(yīng)移動(dòng)件的主動(dòng)件和/或與對(duì)應(yīng)移動(dòng)件移動(dòng)方向相同的螺釘上。

10.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體制造設(shè)備包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的uv固化腔。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種UV固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備。UV固化腔包括上下依次設(shè)置的UV燈組件、底座組件及UV腔室；UV燈組件包括至少一個(gè)UV燈；底座組件包括呈環(huán)形分布的反射板以及設(shè)置在反射板外圍的微調(diào)裝置；微調(diào)裝置包括支撐架、X向移動(dòng)件、Y向移動(dòng)件及Z向移動(dòng)件，各移動(dòng)件可對(duì)反射板進(jìn)行對(duì)應(yīng)方向的位置調(diào)節(jié)，X向、Y向和Z向相互垂直；支撐架與反射板連接，自上而下包括相互配合的第一支架、第二支架及第三支架，相鄰的兩個(gè)支架上對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互配合的X向?qū)Р?、X向滑塊、Y向?qū)Р奂癥向滑塊；X向移動(dòng)件、Y向移動(dòng)件及Z向移動(dòng)件均包括相互配合的螺旋調(diào)節(jié)螺釘主動(dòng)件及從動(dòng)件，Z向移動(dòng)件為差動(dòng)調(diào)節(jié)。本發(fā)明有助于提高光照均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：封擁軍,趙美英,宋維聰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/26