技術(shù)編號：39526791
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備，特別是涉及一種uv固化腔及半導(dǎo)體制造設(shè)備。背景技術(shù)、uv固化是半導(dǎo)體芯片制造過程中常用的工藝。例如采用cvd設(shè)備制造納米多孔的低介電常數(shù)薄膜的兩個步驟中，第一步是用pecvd氣相沉積形成有機硅酸鹽玻璃“脊骨”和熱不穩(wěn)定有機相沉積物，第二步就是紫外線?(uv)?固化。uv光均勻地照在晶圓表面，晶圓表面預(yù)先形成的薄膜吸收uv光，使得熱不穩(wěn)定有機相沉積物變?yōu)闅鈶B(tài)從腔內(nèi)抽走。通過uv照射，可以去除晶圓表面不穩(wěn)定相，使得晶圓表面的有機硅酸鹽玻璃重構(gòu)并增強，從而誘導(dǎo)空隙形成，以...
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