硅片放置架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅片放置架，旨在提供一種硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序專用的放置架。它包括兩塊豎直設置且位置相對應的板塊，用于固定連接板塊的連接件，所述連接件和板塊構成該硅片放置架的主體；其還包括豎直固定連接于硅片放置架主體上端的提手；所述板塊的相對面設置有若干按一定形式排列的兩兩相對的豎直凹槽，該豎直凹槽的下端呈與硅片邊緣形狀相應的向內的圓弧，所述板塊間兩兩相對的豎直凹槽的槽底的距離與硅片的直徑相應；硅片放入豎直凹槽后，豎直凹槽下端的圓弧與硅片的邊緣貼合形成支撐，且板塊的下端超出硅片的邊緣。本發(fā)明適用于硅片的批量加工使用。
【專利說明】硅片放置架

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片加工工具，尤其是涉及一種硅片放置架。

【背景技術】
[0002]目前在硅片的清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工過程中，一般采用單片硅片進行夾持加工，硅片的夾持操作具有一定難度，硅片會出現脫落摔碎的情形；且單片加工方式的加工效率低下，工人重復勞動強度大，易疲勞，加工硅片的質量不穩(wěn)定，勞動成本較高。


【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明克服了現有技術中的缺點，提供了一種操作方便，可進行批量加工硅片的硅片放置架。
[0004]為了解決上述技術問題，本發(fā)明是通過以下技術方案實現的:一種硅片放置架，包括兩塊豎直設置且位置相對應的板塊，用于固定連接板塊的連接件，所述連接件和板塊構成該硅片放置架的主體；其還包括豎直固定連接于硅片放置架主體上端的提手；所述板塊的相對面設置有若干按一定形式排列的兩兩相對的豎直凹槽，該豎直凹槽的下端呈與硅片邊緣形狀相應的向內的圓弧，所述板塊間兩兩相對的豎直凹槽的槽底的距離與硅片的直徑相應；硅片放入豎直凹槽后，豎直凹槽下端的圓弧與硅片的邊緣貼合形成支撐，且板塊的下端超出娃片的邊緣。
[0005]優(yōu)選的是，所述連接件為分別固定連接板塊橫向兩端的兩塊側板、兩個X形的架子或兩個矩形的框架。
[0006]優(yōu)選的是，所述側板上開設有若干按一定形式排列的通孔。
[0007]優(yōu)選的是，所述連接件為固定連接板塊底端的底板。
[0008]優(yōu)選的是，所述豎直凹槽的上端設置倒角。
[0009]優(yōu)選的是，所述板塊的下端為與豎直凹槽形狀相應的圓弧狀。
[0010]優(yōu)選的是，所述豎直凹槽的槽底的開設有通孔。
[0011]優(yōu)選的是，所述豎直凹槽的截面為等腰梯形，等腰梯形的底邊為豎直凹槽的開口。
[0012]優(yōu)選的是，所述連接件通過卡接與板塊固定連接。
[0013]優(yōu)選的是，所述提手通過卡接與硅片放置架的主體固定連接。
[0014]與現有技術相比，本發(fā)明具有如下優(yōu)點:
[0015](I)本發(fā)明的硅片放置架使用時將多塊圓形的硅片從其上端放入豎直凹槽，再握住提手進行硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工。該硅片放置架可進行批量加工，相比單片硅片的夾持加工，操作簡單，硅片固定可靠，加工效率大為提高。
[0016]( 2 )本發(fā)明的硅片放置架制造簡單，使用成本較低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本發(fā)明一個實施例的俯視圖；
[0019]圖2為圖1的主視圖；
[0020]圖3為圖1中一塊板塊的左視圖；
[0021]圖4為本發(fā)明中連接件的第一個實施例的示意圖；
[0022]圖5為本發(fā)明中連接件的第二個實施例的示意圖；
[0023]圖6為本發(fā)明中連接件的第三個實施例的示意圖。

【具體實施方式】
[0024]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0025]圖1-3為本發(fā)明硅片放置架的一個具體實施例，包括兩塊豎直設置且位置相對應的板塊1，用于固定連接板塊I的連接件2，所述連接件2和板塊I構成該硅片放置架的主體，其還包括豎直固定連接于硅片放置架主體上端的提手3 ;所述板塊I的相對面設置有若干按一定形式排列的兩兩相對的豎直凹槽31，該豎直凹槽31的下端呈與硅片邊緣形狀相應的向內的圓弧32，所述板塊I間兩兩相對的豎直凹槽31槽底的距離與硅片的直徑相應；硅片放入豎直凹槽31后，豎直凹槽31下端的圓弧32與硅片的邊緣貼合形成支撐，且板塊I的下端超出硅片的邊緣，硅片放置架放置時，硅片邊緣不會接觸臺面，防止污染和碰觸破損。
[0026]本發(fā)明的連接件2可以是分別固定連接板塊I橫向兩端的兩塊側板、兩個X形的架子或兩個矩形的框架，如圖4-6所示；顯然該連接件2還可以是其它適用形狀及其變形，能實現板塊I的固定連接即可。
[0027]圖4所示的側板上開設有若干按一定形式排列的通孔，可增加硅片放置架的流體流通能力，提高硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工時的效率，縮短加工時間。
[0028]本發(fā)明的連接件2為還可以是固定連接板塊I底端的矩形框，或者其它適用形式。
[0029]作為本發(fā)明的進一步改進，豎直凹槽31的上端可設置倒角，以方便硅片的置入。
[0030]作為本發(fā)明的進一步改進，板塊I的下端為與豎直凹槽31形狀相應的圓弧狀，為了加強硅片放置架的放置時的穩(wěn)定形，板塊I的下端的外面設置有與其地面齊平的加強筋。
[0031]作為本發(fā)明的進一步改進，豎直凹槽31的槽底的開設有通孔33，可增加硅片放置架的流體流通能力，提高硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工時的效率，縮短加工時間。
[0032]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，豎直凹槽31的截面為等腰梯形，等腰梯形的底邊為豎直凹槽31的開口。這樣的設置可方便硅片的置入，同時硅片接近邊緣的面與豎直凹槽31之間存在間隙，可提高硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工時的效率，防止加工死角的存在。顯然該豎直凹槽31的截面還可以是矩形、三角形及圓弧形等適用形狀。
[0033]本發(fā)明的連接件2優(yōu)選采用卡接與板塊I固定連接。必要時可以通過螺栓或其它緊固件固緊。采用可拆卸的連接可方便硅片放置架存放或運輸時進行拆卸，節(jié)約空間。同時連接件2可以通用，實現各部件的互換。
[0034]本發(fā)明的提手3優(yōu)選通過卡接與硅片放置架的主體固定連接，圖1所示的提手3通過卡接固定連接在連接件2的上端中部位置，其顯然也可連接于板塊I上。其還可采用螺栓連接及其它可拆卸方式連接，方便該硅片放置架不使用時可拆開以節(jié)省空間，同時也可實現其互換。
[0035]本發(fā)明的板塊I和連接件2之間顯然也可制成一體件，或采用粘接、焊接等不可拆卸方式連接；其提手3也是如此。
[0036]本發(fā)明的硅片放置架使用時將多塊圓形的硅片從其上端放入豎直凹槽31，再握住提手3進行硅片清洗、鍍鎳、光刻等各工序的加工。該硅片放置架可進行批量加工，相比單片硅片的夾持加工，操作簡單，硅片固定可靠，加工效率大為提高。
[0037]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種硅片放置架，其特征在于:包括兩塊豎直設置且位置相對應的板塊(1)，用于固定連接板塊(I)的連接件(2)，所述連接件(2)和板塊(I)構成該硅片放置架的主體，其還包括豎直固定連接于硅片放置架主體上端的提手(3);所述板塊(I)的相對面設置有若干按一定形式排列的兩兩相對的豎直凹槽(31)，該豎直凹槽(31)的下端呈與硅片邊緣形狀相應的向內的圓弧(32)，所述板塊(I)間兩兩相對的豎直凹槽(31)的槽底的距離與硅片的直徑相應；硅片放入豎直凹槽(31)后，豎直凹槽(31)下端的圓弧(32)與硅片的邊緣貼合形成支撐，且板塊(I)的下端超出硅片的邊緣。
2.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述連接件(2)為分別固定連接板塊(I)橫向兩端的兩塊側板、兩個X形的架子或兩個矩形的框架。
3.根據權利要求2所述的硅片放置架，其特征在于:所述側板上開設有若干按一定形式排列的通孔。
4.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述連接件(2)為固定連接板塊(I)底端的矩形框。
5.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述豎直凹槽(31)的上端設置倒角。
6.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述板塊(I)的下端為與豎直凹槽(31)形狀相應的圓弧狀。
7.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述豎直凹槽(31)的槽底的開設有通孔(33)。
8.根據權利要求1所述的硅片放置架，其特征在于:所述豎直凹槽(31)的截面為等腰梯形，等腰梯形的底邊為豎直凹槽(31)的開口。
9.根據權利要求1-8任一項所述的硅片放置架，其特征在于:所述連接件(2)通過卡接與板塊(I)固定連接。
10.根據權利要求1-8任一項所述的硅片放置架，其特征在于:所述提手(3)通過卡接與硅片放置架的主體固定連接。
【文檔編號】H01L21/673GK104282602SQ201310285189
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年7月8日 優(yōu)先權日:2013年7月8日
【發(fā)明者】劉俊, 羅開軍, 謝靜, 許小兵, 孫漢炳 申請人:中國振華集團永光電子有限公司