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一種硅片破損檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法

文檔序號(hào):9545401閱讀:419來(lái)源:國(guó)知局
一種硅片破損檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片破損檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片生產(chǎn)是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈條中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。硅片產(chǎn)品需要進(jìn)行嚴(yán)格的品質(zhì)檢查,硅片的外觀形狀直接影響太陽(yáng)能電池的質(zhì)量。在傳統(tǒng)的技術(shù)中,有規(guī)則的硅片外形檢測(cè)主要由人工肉眼去觀察,或使用簡(jiǎn)單的鏡頭進(jìn)行檢測(cè),這種利用人工肉眼檢測(cè)的方式,不僅工作效率低,誤檢率也非常高,且在取拿硅片的過(guò)程易造成硅片的損壞和污染。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)了采用硅片外觀自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng),如公告號(hào)為CN201844980U的實(shí)用新型專利,其主要利用相機(jī)配合背光源對(duì)待檢硅片進(jìn)行拍攝,對(duì)拍出的照片進(jìn)行分析檢測(cè)是否出現(xiàn)破損,但其存在以下缺陷:1、硅片需利用機(jī)械手單個(gè)抓取進(jìn)行上料或下料,易造成硅片的損傷,影響產(chǎn)品質(zhì)量;2、對(duì)機(jī)械手的精度要求高,而且硅片的檢測(cè)和收集不能連貫進(jìn)行,工作效率較低,不適用于硅片的批量加工生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,本發(fā)明提出一種硅片破損檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法,該硅片破損檢測(cè)設(shè)備可對(duì)有規(guī)則的硅片進(jìn)行在線批量自動(dòng)檢測(cè),且能根據(jù)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)處理硅片,設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單連貫,能有效提高硅片的完整度和生產(chǎn)加工效率。
[0005]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是,設(shè)計(jì)一種硅片破損檢測(cè)設(shè)備,包括:機(jī)架,用于依次向后輸送硅片的第一輸送單元、第二輸送單元和第三輸送單元,用于檢測(cè)硅片破損的破損檢測(cè)單元,用于收集破損娃片的破損收集盒,用于控制第一輸送單元、第二輸送單元和第三輸送單元運(yùn)行狀態(tài)的中央控制器。
[0006]檢測(cè)單元與第一輸送單元位置配合,第二輸送單元的后端可向下傾斜轉(zhuǎn)動(dòng),破損收集盒設(shè)于第二輸送單元的后端下方。中央控制器接收破損檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果,并控制第二輸送單元后端是否向下傾斜。
[0007]該設(shè)備還包括:用于檢測(cè)本檢測(cè)設(shè)備異?;蛳乱还ば蛟O(shè)備異常的異常檢測(cè)單元、用于設(shè)備異常時(shí)收集硅片的異常收集盒,異常收集盒設(shè)于第一輸送單元的前端下方,第一輸送單元可升降運(yùn)動(dòng),中央控制器接收異常檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果,并控制第一輸送單元是否向上升起。
[0008]檢測(cè)單元包括:設(shè)于第一輸送單元上方的相機(jī)、設(shè)于第一輸送單元下方的背光源、接收相機(jī)所拍圖像的圖像分析模塊,圖像分析模塊分析圖像并將檢測(cè)結(jié)果傳送至中央控制器。
[0009]其中,第一輸送單元底部設(shè)有升降電動(dòng)件,第一輸送單元的底部還設(shè)有至少一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu),升降電動(dòng)件可推動(dòng)第一輸送單元升降運(yùn)動(dòng),升降電動(dòng)件與中央控制器連接。
[0010]第一輸送單元包括:并排設(shè)置的至少一個(gè)第一輸送通道、與第一輸送通道數(shù)量相同的第一馬達(dá),每個(gè)第一輸送通道傳動(dòng)連接一個(gè)第一馬達(dá),所述第一馬達(dá)可帶動(dòng)各自連接的第一輸送通道向后運(yùn)送硅片。每個(gè)第一輸送通道均配合設(shè)有檢測(cè)單元。
[0011]第二輸送單元的后端連接有轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置,該轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置包括:一端鉸接在第二輸送單元后端的旋轉(zhuǎn)板、鉸接連接在所述旋轉(zhuǎn)板下方的推拉電動(dòng)件,推拉電動(dòng)件可拉動(dòng)旋轉(zhuǎn)板的活動(dòng)端向下傾斜,推拉電動(dòng)件與中央控制器連接。
[0012]第二輸送單元包括:與第一輸送通道數(shù)量配合的第二輸送通道、與所有第二輸送通道傳動(dòng)連接的第二馬達(dá),第二馬達(dá)可帶動(dòng)所有第二輸送通道同步運(yùn)送。每個(gè)第二輸送通道的后端連接一轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
[0013]第三輸送單元包括:與第一輸送通道數(shù)量配合的第三輸送通道、與所有第三輸送通道傳動(dòng)連接的第三馬達(dá),第三馬達(dá)可帶動(dòng)所有第三輸送通道同步運(yùn)送。
[0014]第一輸送通道、第二輸送通道及第三輸送通道均由兩對(duì)稱設(shè)置的傳送帶組件構(gòu)成,旋轉(zhuǎn)板的兩側(cè)也設(shè)有傳送帶組件。
[0015]本發(fā)明還公開了一種上述硅片破損檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)方法,包括以下步驟:
步驟1、設(shè)備初始化,第一輸送單元位于低位,第二輸送單元的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置處于水平狀態(tài),硅片從上一工序設(shè)備向第一輸送單元運(yùn)送;
步驟2、異常檢測(cè)單元實(shí)時(shí)對(duì)本檢測(cè)設(shè)備或下一工序的設(shè)備是否運(yùn)行正常進(jìn)行判斷,若存在異常則第一輸送單元上升至高位,硅片掉落至異常收集盒中,本檢測(cè)設(shè)備暫停運(yùn)行;步驟3、第一輸送單元內(nèi)的每個(gè)第一輸送通道分別將硅片運(yùn)送至背光源上方,背光源點(diǎn)亮,各相機(jī)對(duì)硅片進(jìn)行拍照,圖像分析模塊圖像檢測(cè)硅片是否破損;
步驟4、第一輸送通道將硅片向后運(yùn)送至第二輸送通道上,若檢測(cè)結(jié)果為破損則進(jìn)行步驟5,若檢測(cè)結(jié)果正常則進(jìn)行步驟6 ;
步驟5、第二輸送通道的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置向下轉(zhuǎn)動(dòng)傾斜,硅片掉落至破損收集盒中,轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置復(fù)位;
步驟6、第二輸送通道將硅片向后運(yùn)送至第三輸送通道上,第三輸送通道將硅片送至下一工序的設(shè)備上。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明將輸送單元分成三段,在第一輸送單元可升降運(yùn)送,當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障即升至高位,硅片自動(dòng)收集在異常收集盒中,第二輸送單元的后端可轉(zhuǎn)動(dòng)傾斜,當(dāng)硅片檢測(cè)出現(xiàn)破損即向下傾斜,硅片自動(dòng)收集在破損收集盒中,設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,檢測(cè)過(guò)程流暢連貫,生產(chǎn)效率高,適用于硅片的批量加工生產(chǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0017]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,其中:
圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明中第一輸送單元的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本發(fā)明中第二輸送單元后端水平時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4是本發(fā)明中第二輸送單元后端傾斜時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5是本發(fā)明的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖6是本發(fā)明中檢測(cè)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1所示,本發(fā)明提出的硅片破損檢測(cè)設(shè)備,包括:機(jī)架1,用于依次向后輸送硅片的第一輸送單元2、第二輸送單元3和第三輸送單元4,用于檢測(cè)硅片破損的破損檢測(cè)單元5,用于收集破損娃片的破損收集盒6,用于控制第一輸送單元2、第二輸送單元3和第三輸送單元4運(yùn)行狀態(tài)的中央控制器。
[0019]如圖2所不,第一輸送單兀2包括:至少一個(gè)第一輸送通道21和第一馬達(dá)22,第一輸送通道21的數(shù)量與第一馬達(dá)22相同,第一輸送通道21并排設(shè)置在機(jī)架1上,每個(gè)輸送通道21連接有一個(gè)第一馬達(dá)22,當(dāng)硅片運(yùn)送到第一輸送單元21時(shí),每個(gè)第一輸送通道21獨(dú)立完成硅片的向后傳送,第一馬達(dá)22的工作由中央控制器控制。
[0020]檢測(cè)單元5的位置與第一輸送單元2相配合,檢測(cè)單元5包括:設(shè)于第一輸送單元2上方的相機(jī)51、設(shè)于第一輸送單元2下方的背光源52、接收相機(jī)51所拍圖像的圖像分析模塊,圖像分析模塊分析圖像并將檢測(cè)結(jié)果傳送至中央控制器。第一輸送單元2內(nèi)的每個(gè)第一輸送通道均設(shè)有一個(gè)檢測(cè)單元5,第一馬達(dá)22推動(dòng)各自第一輸送通道21上的硅片運(yùn)動(dòng)到背光源52上方,此時(shí)硅片位于相機(jī)51的拍照范圍內(nèi),背光源52點(diǎn)亮后,凸顯硅片的輪廓,相機(jī)51對(duì)硅片進(jìn)行拍照,拍完后第一馬達(dá)22再推動(dòng)硅片向后運(yùn)動(dòng),相機(jī)51將所拍圖像傳送至圖像分析模塊,由圖像分析模塊檢測(cè)硅片是否出現(xiàn)破損,中央控制器接收?qǐng)D像分析模塊的檢測(cè)結(jié)果。
[0021]如圖3、4所示,第二輸送單元3包括:與第一輸送通道21數(shù)量配合的第二輸送通道31、與所有第二輸送通道31傳動(dòng)連接的第二馬達(dá)32,第二馬達(dá)32可帶動(dòng)所有第二輸送通道31同步運(yùn)送。每個(gè)第二輸送通道31的后端連接一轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置8。該轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置8包括:一端鉸接在第二輸送通道31后端的旋轉(zhuǎn)板81、鉸接連接在旋轉(zhuǎn)板81下方的推拉電動(dòng)件82,該推拉電動(dòng)件82可拉動(dòng)旋轉(zhuǎn)板81的活動(dòng)端向下傾斜。當(dāng)?shù)谝惠斔屯ǖ?1上的硅片運(yùn)送至第二輸送通道31時(shí),中央控制器根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置8是否向下傾斜,當(dāng)檢測(cè)結(jié)果為破損時(shí),轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置8向下傾斜,硅片落入到破損收集盒6中,當(dāng)檢測(cè)結(jié)果為正常時(shí),轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置8保持水平,硅片繼續(xù)向后運(yùn)送至第三輸送單元4。
[0022]如圖5所示,第三輸送單元4包括:與第一輸送通道21數(shù)量配合的第三輸送通道41、與所有第三輸送通道41傳動(dòng)連接的第三馬達(dá)42,第三
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