彩色濾色片膜厚測量方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種彩色濾色片膜厚測量方法及裝置，該方法包括以下步驟：S1、使用彩色攝像機(jī)拍攝彩色濾色片，獲取彩色濾色片的彩色圖像；S2、對于采集到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，識別出彩色圖像中的不同顏色區(qū)域以及背景區(qū)域；S3、定位測量到每一種顏色區(qū)域的中心，測量每一種顏色區(qū)域的中心膜厚和背景區(qū)域的膜厚。實施本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法及裝置，能夠準(zhǔn)確分辨出彩色濾色片上的R、G、B的不同顏色的區(qū)域，同時通過測量顏色區(qū)域的正中位置，避免了因測量人員的選定測量區(qū)域的不同而導(dǎo)致的測量結(jié)果差異，還能消除因檢測的彩色濾色片的擺放不平整而引起的測量誤差。
【專利說明】彩色濾色片膜厚測量方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器制造技術(shù)，更具體地說，涉及一種彩色濾色片膜厚測量方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]RGB (Red, Green, Blue)制程是TFT-LCD面板色彩形成的關(guān)鍵所在，在彩色濾色片(Color Filter)的生產(chǎn)中，通過管控RGB光阻成膜的膜厚來保證色彩品質(zhì)。RGB膜厚量測主要有3種方式:接觸式探針量測、光學(xué)式3D建模、光學(xué)式折射換算。其中光學(xué)式3D建模，以其量測種類多、量測靈活度高、穩(wěn)定性可靠性佳、量測速度快等優(yōu)點，在TFT-LCD行業(yè)中得到越來越多的應(yīng)用，且更適用于集成化的量測一體機(jī)，可有效降低設(shè)備成本。
[0003]現(xiàn)有的光學(xué)式3D測量方式是將彩色濾色片的圖像用灰階圖進(jìn)行顯示，然后依據(jù)該灰階圖識別出R、G、B三種像素區(qū)域，在進(jìn)行每一種像素區(qū)域的測量。由于R像素和B像素在灰階圖中十分接近，一方面檢測人員很容易會將兩種像素區(qū)域混淆，另一方面設(shè)備軟件在自動識別量測時也很容易誤匹配，導(dǎo)致出現(xiàn)檢測錯誤，即使在像素區(qū)域的邊緣位置設(shè)置識別角，也會因為識別角的大小與曝光設(shè)備的精度限制而無法準(zhǔn)確識別出不同的像素區(qū)域；此外，不同的檢測人員設(shè)定的檢測位置不同，也會導(dǎo)致測量的結(jié)果存在差異。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，針對現(xiàn)有的彩色濾色片在檢測過程中無法準(zhǔn)確分辨出檢測的像素區(qū)域的顏色類型以及不同的檢測人員會得出不同的檢測結(jié)果的缺陷，提供一種能夠準(zhǔn)確分辨及測量的彩色濾色片膜厚測量方法及裝置。
[0005]本發(fā)明解決上述問題所提供的彩色濾色片膜厚測量方法包括以下步驟:
[0006]S1、使用彩色攝像機(jī)拍攝彩色濾色片，獲取彩色濾色片的彩色圖像；
[0007]S2、對于采集到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，識別出彩色圖像中的各個具有不同顏色的顏色區(qū)域以及背景區(qū)域；
[0008]S3、分別測量每個顏色區(qū)域以及背景區(qū)域的膜厚；其中，每個顏色區(qū)域的膜厚測量方法為:首先確定每個顏色區(qū)域的中心點的位置，然后測量該顏色區(qū)域的中心點處的膜厚，并將在該顏色區(qū)域的中心點處相對于背景區(qū)域的高度記錄為該顏色區(qū)域的膜厚。
[0009]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法，其中步驟S3還包括:設(shè)置帶有準(zhǔn)星的檢測框，移動所述檢測框至所述顏色區(qū)域上，使準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
[0010]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法，在所述檢測框的準(zhǔn)星上設(shè)置直徑為20微米至40微米的識別圈，當(dāng)所述識別圈處于待檢測的顏色區(qū)域內(nèi)時，確定所述準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
[0011]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法，在所述檢測框的外側(cè)設(shè)置用于檢測背景區(qū)域的背景檢測框，使用該背景檢測框確定需要檢測膜厚的背景區(qū)域位置。
[0012]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法，所述步驟S3還包括，使用白光干涉法測量所述識別圈之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚和背景檢測框之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚。
[0013]本發(fā)明還提供一種彩色濾色片膜厚測量裝置，包括:
[0014]彩色攝像機(jī)，用于拍攝彩色濾色片，獲取彩色濾色片的彩色圖像；
[0015]與彩色攝像機(jī)相連的色階識別組件，用于對采集到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，識別出彩色圖像中的各個具有不同顏色的顏色區(qū)域以及背景區(qū)域；
[0016]與色階識別組件相連的定位識別組件，用于定位測量到每一種顏色區(qū)域的中心；
[0017]與定位識別組件相連的膜厚測量組件，用于對一種顏色區(qū)域的中心膜厚和背景區(qū)域的膜厚進(jìn)行測量，并將在該顏色區(qū)域的中心點處相對于背景區(qū)域的高度記錄為該顏色區(qū)域的膜厚。
[0018]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量裝置，所述定位測量組件包括帶有準(zhǔn)星的檢測框，定位測量組件移動所述檢測框至所述顏色區(qū)域上，使準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
[0019]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量裝置，所述檢測框的準(zhǔn)星上設(shè)置有直徑為20微米至40微米的識別圈，當(dāng)所述識別圈處于待檢測的顏色區(qū)域內(nèi)時，確定所述準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
[0020]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量裝置，所述檢測框的外側(cè)設(shè)有用于檢測背景區(qū)域的背景檢測框，所述背景檢測框用于確定需要檢測膜厚的背景區(qū)域位置。
[0021]本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量裝置，所述膜厚測量組件為白光干涉儀，所述白光干涉儀測量所述識別圈之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚和背景檢測框之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚。
[0022]實施本發(fā)明的彩色濾色片膜厚測量方法及裝置，能夠準(zhǔn)確分辨出彩色濾色片上的R、G、B的不同顏色的區(qū)域，同時通過測量顏色區(qū)域的正中位置，避免了因測量人員的選定測量區(qū)域的不同而導(dǎo)致的測量結(jié)果差異，還能消除因檢測的彩色濾色片的擺放不平整而引起的測量誤差。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行說明，其中:
[0024]圖1為本發(fā)明進(jìn)行測量的彩色濾色片的剖面圖；
[0025]圖2為采用現(xiàn)有技術(shù)對彩色濾色片進(jìn)行灰階攝像獲得的圖像；
[0026]圖3為本發(fā)明一則優(yōu)選實施例所提供的彩色濾色片膜厚測量方法的流程圖；
[0027]圖4為依據(jù)本發(fā)明獲得的彩色濾色片的圖像；
[0028]圖5為對圖4的彩色圖像進(jìn)行選定檢測位置的示意圖；
[0029]圖6為圖5的檢測像素沿縱向的剖視圖；
[0030]圖7為本發(fā)明彩色濾色片膜厚測量裝置的功能框圖；
[0031]圖8為本發(fā)明一則優(yōu)選實施例所提供的彩色濾色片膜厚測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖9為本發(fā)明另一實施例所提供的彩色濾色片膜厚測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0033]以下通過附圖和具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行說明。
[0034]如圖1所示為TFT-LCD中所使用到的彩色濾色片(Color Filter)的橫向剖面結(jié)構(gòu)示意圖。該彩色濾色片包括位于底層的玻璃基板100，在玻璃基板100上通過沉積、鍍膜等多種方式形成一層不透光的黑色矩陣400 (blackmatrix,BM),在黑色矩陣400之間設(shè)置有不同顏色的像素單元，例如在圖1中包括按次序重復(fù)排列的紅色像素201 (R pixel)、藍(lán)色像素202 (B pixel)和綠色像素203 (G pixel)。在這些像素單元和黑色矩陣400的上方覆蓋有一層氧化銦錫300(IT0)。當(dāng)需要顯示不同的顏色的時候，由每一個像素單元對應(yīng)的TFT電路控制其是否透光。顯然，每個像素單元的厚度會極大的影響顯示顏色的質(zhì)量，而黑色矩陣400的厚度則影響相鄰的像素單元之間的顏色的相互干擾程度。
[0035]現(xiàn)有技術(shù)中，對彩色濾色片采用灰階圖像測量方法進(jìn)行測量，而采用這種方法獲得的如圖2所示的圖像中，紅色像素201、藍(lán)色像素202的灰階圖像是十分接近的，很容易出現(xiàn)識別錯誤。即使在像素單元的邊緣設(shè)置辨識角，如圖2中藍(lán)色像素202的邊緣為非平整的曲線，但出于開口率的考量，辨識角不宜設(shè)置過大，再加上RGB曝光制程使用精度較低的曝光設(shè)備，實做的辨識角通常不明顯，對RGB的區(qū)分幫助不大。
[0036]為了克服現(xiàn)有的灰階圖像測量法中難以識別以及測量結(jié)果會隨測量人員的不同而出現(xiàn)測量結(jié)果不相同的問題，本發(fā)明提供了如圖3所示的彩色濾色片膜厚測量方法。首先在步驟SI中，使用彩色攝像機(jī)從彩色濾色片的正面進(jìn)行拍攝，獲得彩色濾色片的彩色圖像，該彩色圖像的結(jié)構(gòu)如圖4所示。為了保證需要測量的顏色區(qū)域能夠在拍攝得到的圖像中出現(xiàn)，通常拍攝3個或以上的顏色像素，例如在圖4中的包括3個緊鄰的顏色像素。
[0037]在步驟S2中，對于前一步驟中采集得到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，以便識別出彩色圖像中的不同顏色區(qū)域以及背景區(qū)域。例如在圖4中3個不同的顏色像素分別為:紅色像素201、藍(lán)色像素202和綠色像素203，背景則為黑色矩陣400。通過色階識別，測試人員能夠準(zhǔn)確地判斷出需要測量的像素的位置，不會與其他的像素混淆，從而避免了現(xiàn)有的灰階圖像測量法難以區(qū)分紅藍(lán)兩種顏色的像素缺陷。
[0038]區(qū)分出需要檢測的顏色后，需要確定好具體檢測像素的哪一個位置作為厚度測量，由于在人工測量中，不同的檢測人員選取的檢測位置不一樣，會導(dǎo)致檢測的結(jié)果有偏差。為了克服這一問題，在本實施例中通過自動檢測顏色像素的中心位置來克服這一問題。在步驟S3中，定位測量到每一種顏色區(qū)域的中心，測量每一種顏色區(qū)域的中心膜厚和背景區(qū)域的膜厚。如圖5所示為檢測綠色像素203的一個示意圖。將帶有十字準(zhǔn)星的檢測框503移動到彩色圖像中綠色像素203的上方，檢測框503略大于綠色像素203的大小，使整個綠色像素落在檢測框503的內(nèi)部，同時在十字準(zhǔn)星上設(shè)置一個圓形的識別圈504，在本實施例中，識別圈504的直徑為20至40微米，在調(diào)節(jié)檢測框503的時候，需要保證識別圈504始終位于綠色像素203的內(nèi)部，當(dāng)識別圈504不超出綠色像素203的內(nèi)部空間時，能夠確定此時的準(zhǔn)星落在綠色像素203的中間區(qū)域。通過這樣設(shè)置的檢測框503，能夠保重檢測綠色像素203厚度的位置落在中心點的附近，由于像素中心點附近的厚度起伏最小，因而能夠最準(zhǔn)確的反映出該綠色像素203的厚度數(shù)值。
[0039]為了克服待檢測的彩色濾色片在放置的時候出現(xiàn)傾斜的問題而導(dǎo)致厚度測量出準(zhǔn)確，在檢測框503的上下兩側(cè)設(shè)置用于檢測黑色矩陣的背景檢測框(501、502)。通過檢測兩個背景檢測框(501、502)的黑色矩陣的厚度，能夠消除因為放置傾斜所帶來的檢測誤差。其原理如圖6所示。圖6為圖5中的綠色像素203沿縱向的剖視圖。當(dāng)彩色濾色片未能實現(xiàn)完全的平放時，對于綠色像素203的厚度檢測必然存在誤差，而通過檢測兩個背景檢測框(501、502)所對應(yīng)的黑色矩陣400的厚度，然后通過軟件的處理，將兩個黑色矩陣400的檢測點的連線作為水平線，水平定義完成后，需要設(shè)定基準(zhǔn)位置來計算膜厚，將在該綠色像素203的中心點處相對于背景檢測框(501、502)的背景區(qū)域的高度記錄為該綠色像素203的膜厚。因產(chǎn)品包含各種膜層混疊，在實際生產(chǎn)中，也經(jīng)常需要以不同位置為基準(zhǔn)，從而計算相對膜厚。例如檢測綠色像素203相對于黑色矩陣203的厚度，或者是相對于玻璃基板100的厚度等。
[0040]在本實施例中的背景檢測框(501、502)位于檢測框503的上下兩側(cè)，能夠測量出沿綠色像素203豎直方向的傾斜情況。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，背景檢測框(501、502)也可以設(shè)置在綠色像素203的左右兩側(cè)，以便消除在橫向方向上的傾斜所帶來的測量誤差。
[0041]在本實施例中，可以采用多種現(xiàn)有的檢測膜厚的方法來對各個顏色像素、以及黑色矩陣的區(qū)域進(jìn)行膜厚測量。例如一種常用的檢測方式是使用白光干涉法，利用白光干涉法構(gòu)建彩色濾色片的表面3D形貌，再測算出測量位置的膜厚。
[0042]如圖7為本發(fā)明所提供的彩色濾色片膜厚測量裝置的功能框圖，本發(fā)明所提供的彩色濾色片膜厚測量裝置包括一個用于拍攝彩色濾色片的彩色攝像機(jī)，該彩色攝像機(jī)獲取彩色濾色片的彩色圖像之后，將彩色圖像發(fā)送到與彩色攝像機(jī)相連接的色階識別組件上。該色階識別組件通過色階分析，確定出彩色圖像上的不同顏色像素；當(dāng)確定好彩色圖像上的不同顏色像素時，測量人員就能夠準(zhǔn)確的確定需要測量哪一個顏色像素的厚度。當(dāng)確定好顏色后，定位測量組件將測量的位置定位到顏色像素的中間區(qū)域，然后由膜厚測量組件測量該中間區(qū)域的膜厚，由于顏色像素的中間區(qū)域的厚度起伏最小，能夠得到最為準(zhǔn)確的厚度測量數(shù)據(jù)。
[0043]具體的本發(fā)明提供了如圖8所示的彩色濾色片膜厚測量裝置。在待檢測的彩色濾色片的正上方設(shè)置用于采集彩色濾色片的正面彩色圖樣的彩色圖像采集系統(tǒng)以及膜厚測量系統(tǒng)。在一個可實現(xiàn)的實施例中，自下而上沿光路依次設(shè)置具有半反半透特性的干涉物鏡540、分光組件530和成像組件510。分光組件530內(nèi)安裝有一塊45°傾斜放置的分光鏡550，在分光組件530的側(cè)壁上，與分光鏡550同一高度的位置開設(shè)有通光孔，在通光孔的開口位置安放有白光光源520，使得白光光源520發(fā)出的白光能夠照射在分光鏡550上。
[0044]在測量的時候，先不安裝干涉物鏡540，通過成像組件510采集彩色濾色片的彩色圖像，即，將成像組件510作為彩色攝像機(jī)來使用。將采集到的彩色圖像發(fā)送到與成像組件510相連的圖像處理系統(tǒng)(未在圖中標(biāo)志)進(jìn)行分析處理，該圖像處理系統(tǒng)包括色階識別組件和定位識別組件。圖像處理系統(tǒng)首先對采集到的彩色圖像進(jìn)行色階識別，以便識別出紅色像素201、藍(lán)色像素202和綠色像素203在黑色矩陣400上的具體位置。然后圖像處理系統(tǒng)采用如圖5所示的檢測框503，將需要監(jiān)測膜厚的像素圈定好，從而確定檢測的位置。
[0045]完成上述的色階識別以及檢測位置的確定后，將干涉物鏡540安裝在分光組件530的底部，進(jìn)行選定區(qū)域的膜厚測量。從白光光源520發(fā)出的白光經(jīng)過分光鏡550的反射，照射在干涉物鏡540上，該白光的一半透過干涉物鏡540照射在待檢測的彩色濾色片上，另一半被反射，并透過分光鏡550照射在成像組件510上；而透過干涉物鏡540在照射到彩色濾色片之后，沿反射回成像組件510上，產(chǎn)生白光干涉的現(xiàn)象。利用白光同調(diào)性短，不易產(chǎn)生干涉的特性，透過頻率與振幅相近的光波，可以形成低同調(diào)性白光干涉波，而彩色濾色片表面起伏將影響干涉波的發(fā)生高度，依循此高度變化，求取干涉零光程差位置，即可求出待測彩色濾色片的整體表面輪廓，進(jìn)而確定出該像素點的待測物體高度。
[0046]考慮到在白光干涉儀中常用的成像組件510為(XD，在沒有透鏡的輔助下，其成像性能一般，為此，本發(fā)明在圖8所示的測量裝置上進(jìn)行改進(jìn)，提供如圖9所示的另一則測量裝置的實施例。在本實施例中，將原先的具有半透半反特性的干涉透鏡540安裝在一個可以轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)換器570上，轉(zhuǎn)換器570上還安裝有一個用于采集彩色圖片的彩色攝像機(jī)560。
[0047]在使用本實施例的測量裝置進(jìn)行膜厚測量的時候，先將轉(zhuǎn)換器570上的彩色攝像機(jī)560旋轉(zhuǎn)到分光組件530的光軸位置上，利用彩色攝像機(jī)560采集彩色濾色片的彩色圖像，將采集到的彩色圖像發(fā)送到與彩色攝像機(jī)560相連的圖像處理系統(tǒng)(未在圖中標(biāo)志)進(jìn)行分析處理，圖像處理系統(tǒng)首先對采集到的彩色圖像進(jìn)行色階識別，以便識別出紅色像素201、藍(lán)色像素202和綠色像素203在黑色矩陣400上的具體位置。然后圖像處理系統(tǒng)采用如圖5所示的檢測框503，將需要監(jiān)測膜厚的像素圈定好，從而確定檢測的位置。
[0048]當(dāng)確定好檢測的位置之后，轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換器570，將干涉透鏡540轉(zhuǎn)換至分光組件530的光軸位置上，然后利用白光干涉法識別圖5中的識別圈504和兩個背景檢測框(501、502)所對應(yīng)區(qū)域的膜厚。通過上述的三個監(jiān)測區(qū)域的膜厚檢測，能夠消除由于彩色濾色片的傾斜所帶來的測量誤差，得到準(zhǔn)確的膜厚數(shù)據(jù)。
[0049]在圖8、圖9的兩個實施例中提供了本發(fā)明基于白光干涉儀的彩色濾色片的膜厚測量方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可以采用其他的膜厚測量方式來實現(xiàn)本發(fā)明，只要其通過色階識別和定位到識別出來的顏色像素的中心位置進(jìn)行測量，均落入到本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0050]以上僅為本發(fā)明【具體實施方式】，不能以此來限定本發(fā)明的范圍，本【技術(shù)領(lǐng)域】內(nèi)的一般技術(shù)人員根據(jù)本創(chuàng)作所作的均等變化，以及本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員熟知的改變，都應(yīng)仍屬本發(fā)明涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種彩色濾色片膜厚測量方法，其特征在于，包括以下步驟: 51、使用彩色攝像機(jī)拍攝彩色濾色片，獲取彩色濾色片的彩色圖像； 52、對采集到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，識別出彩色圖像中的各個具有不同顏色的顏色區(qū)域以及背景區(qū)域； 53、分別測量每個顏色區(qū)域以及背景區(qū)域的膜厚；其中，每個顏色區(qū)域的膜厚測量方法為:首先確定每個顏色區(qū)域的中心點的位置，然后測量該顏色區(qū)域的中心點處的膜厚，并將在該顏色區(qū)域的中心點處相對于背景區(qū)域的高度記錄為該顏色區(qū)域的膜厚。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色濾色片膜厚測量方法，其特征在于，所述步驟S3還包括:設(shè)置帶有準(zhǔn)星的檢測框，移動所述檢測框至所述顏色區(qū)域上，使準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彩色濾色片膜厚測量方法，其特征在于，所述步驟S3還包括:在所述檢測框的準(zhǔn)星上設(shè)置直徑為20微米至40微米的識別圈，當(dāng)所述識別圈處于待檢測的顏色區(qū)域內(nèi)時，確定所述準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩色濾色片膜厚測量方法，其特征在于，所述步驟S3還包括:在所述檢測框的外側(cè)設(shè)置用于檢測背景區(qū)域的背景檢測框，使用該背景檢測框確定需要檢測膜厚的背景區(qū)域位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的彩色濾色片膜厚測量方法，其特征在于，所述步驟S3還包括，使用白光干涉法測量所述識別圈之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚和背景檢測框之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚。
6.一種彩色濾色片膜厚測量裝置，其特征在于，包括: 彩色攝像機(jī)，用于拍攝彩色濾色片，獲取彩色濾色片的彩色圖像； 與彩色攝像機(jī)相連的色階識別組件，用于對采集到的彩色圖像進(jìn)行色階匹配，識別出彩色圖像中的各個具有不同顏色的顏色區(qū)域以及背景區(qū)域； 與色階識別組件相連的定位識別組件，用于定位測量到每一種顏色區(qū)域的中心； 與定位識別組件相連的膜厚測量組件，用于對一種顏色區(qū)域的中心膜厚和背景區(qū)域的膜厚進(jìn)行測量，并將在該顏色區(qū)域的中心點處相對于背景區(qū)域的高度記錄為該顏色區(qū)域的膜厚。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的彩色濾色片膜厚測量裝置，其特征在于，所述定位測量組件包括帶有準(zhǔn)星的檢測框，定位測量組件移動所述檢測框至所述顏色區(qū)域上，使準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彩色濾色片膜厚測量裝置，其特征在于，所述檢測框的準(zhǔn)星上設(shè)置直徑為20微米至40微米的識別圈，當(dāng)所述識別圈處于待檢測的顏色區(qū)域內(nèi)時，確定所述準(zhǔn)星處于顏色區(qū)域的中心區(qū)域內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彩色濾色片膜厚測量裝置，其特征在于，所述檢測框的外側(cè)設(shè)有用于檢測背景區(qū)域的背景檢測框，所述背景檢測框用于確定需要檢測膜厚的背景區(qū)域位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的彩色濾色片膜厚測量裝置，其特征在于，所述膜厚測量組件為白光干涉儀，所述白光干涉儀測量所述識別圈之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚和背景檢測框之內(nèi)對應(yīng)的彩色濾色片的膜厚。
【文檔編號】G01B11/06GK103727888SQ201310740245
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】黃文德 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司