用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置，該方法包括濾波操作、光強(qiáng)度獲取操作、掃描操作以及曲線圖制作操作。濾波操作通過聲光可調(diào)濾波器對從白光源發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長進(jìn)行濾波。光強(qiáng)度獲取操作通過彩色攝像機(jī)同時(shí)獲取多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長的光強(qiáng)度信號(hào)。掃描操作在每個(gè)波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描的情況下通過重復(fù)執(zhí)行濾波操作和光強(qiáng)度獲取操作來獲取波長范圍中的每個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)。曲線圖制作操作合成多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖。
【專利說明】
用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置，并且更具體地，涉及用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置，其中同時(shí)掃描多個(gè)波長以快速測量薄膜層的厚度。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著遍及目前所有工業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)的飛速發(fā)展，對于半導(dǎo)體、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、平板顯示器、光學(xué)部件等都需要微細(xì)加工，并且現(xiàn)在需要納米級(jí)的超精密加工。此夕卜，所需的加工圖案變得復(fù)雜，并且因此，測量微細(xì)薄膜層的厚度的重要性變得突出。
[0003]已廣泛用于對薄膜層的厚度和反射率進(jìn)行測量的裝置基于反射測量術(shù)。廣義上被稱為薄膜層測量系統(tǒng)的反射計(jì)是非接觸式且無損的測量裝置，該測量裝置能夠?qū)Χ鄬颖∧さ奶匦赃M(jìn)行測量以及在沒有特別的準(zhǔn)備工作或處理的情況下直接測量目標(biāo)物體。
[0004]圖1是用于說明使用常規(guī)反射計(jì)測量厚度的方法的圖示。
[0005]參照圖1，常規(guī)反射計(jì)采用來自白光源的光以預(yù)定間隔進(jìn)行與波長同樣多的掃描并且通過黑白攝像機(jī)在各波長處獲取光強(qiáng)度信號(hào)11、光強(qiáng)度信號(hào)12以及光強(qiáng)度信號(hào)13。然后，合成在各波長處獲取的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)11、光強(qiáng)度信號(hào)12以及光強(qiáng)度信號(hào)13以繪制反射率關(guān)于全部光譜(whole spectra)的曲線圖，并且因此可以基于反射率曲線圖來測量薄膜層的厚度。
[0006]然而，常規(guī)的厚度測量方法具有下述問題:由于在關(guān)于從白光源發(fā)射的光的全部光譜來執(zhí)行掃描的情況下在多個(gè)波長處獲取多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)，所以獲取多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)所花費(fèi)的時(shí)間被延遲。獲取光強(qiáng)度信號(hào)的時(shí)間的延遲直接關(guān)系到厚度測量裝置的性能，并且因此導(dǎo)致厚度測量裝置具有單位時(shí)間內(nèi)的低測量性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]因此，本發(fā)明旨在解決上述問題，以及本發(fā)明的一方面是提供用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置，其中在白光的多個(gè)波長范圍中對多個(gè)波長進(jìn)行濾波，并且在各波長范圍內(nèi)同時(shí)獲取光強(qiáng)度信號(hào)，從而顯著改進(jìn)厚度測量裝置的測量速度。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供了一種使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法，該方法采用白光源、聲光可調(diào)濾波器(AOTF)和彩色攝像機(jī)，該聲光可調(diào)濾波器(AOTF)用于對來自從白光源發(fā)射的光的多個(gè)離散波長進(jìn)行濾波，該彩色攝像機(jī)用于獲取從物體反射的光強(qiáng)度信號(hào)，以及該方法包括:濾波操作，該濾波操作用于通過聲光可調(diào)濾波器對從白光源發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長進(jìn)行濾波;光強(qiáng)度獲取操作，該光強(qiáng)度獲取操作用于通過彩色攝像機(jī)同時(shí)獲取上述多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長的光強(qiáng)度信號(hào)；掃描操作，該掃描操作用于通過在每個(gè)波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描的情況下重復(fù)執(zhí)行濾波操作和光強(qiáng)度同時(shí)獲取操作來獲取波長范圍的每個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)；以及曲線圖制作操作，該曲線圖制作操作用于合成多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖。
[0009]濾波操作可以包括同時(shí)對紅色波長范圍、綠色波長范圍以及藍(lán)色波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行濾波。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，提供了一種用于使用攝像機(jī)測量厚度的裝置，該裝置包括:白光源;聲光可調(diào)濾波器(AOTF)，該聲光可調(diào)濾波器(AOTF)用于對從白光源發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長進(jìn)行濾波;分束器，該分束器用于使由聲光可調(diào)濾波器進(jìn)行濾波的光行進(jìn)到物體;彩色攝像機(jī)，該彩色攝像機(jī)用于同時(shí)獲取從物體反射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長的光強(qiáng)度信號(hào)；聲光可調(diào)濾波器控制器，該聲光可調(diào)濾波器控制器用于向聲光可調(diào)濾波器發(fā)送用于在各波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描以獲取各波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)的濾波信號(hào)；以及圖像處理器，該圖像處理器用于合成多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖。
[0011 ] 聲光可調(diào)濾波器可以同時(shí)對紅色波長范圍、綠色波長范圍以及藍(lán)色波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行濾波。
【附圖說明】
[0012]結(jié)合附圖根據(jù)下述示例性實(shí)施方式的描述，本發(fā)明的上述和/或其他方面將變得清楚并且更易于理解，在附圖中:
[0013]圖1是用于說明使用反射計(jì)測量厚度的常規(guī)方法的圖示；
[0014]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的裝置的圖示；
[0015]圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法的圖示；以及
[0016]圖4是示出通過圖3的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法所繪制的反射率曲線圖的圖示。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下文中，將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置的實(shí)施方式。
[0018]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的裝置的圖示，圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法的圖示，以及圖4是示出通過圖3的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法所繪制的反射率曲線圖的圖示。
[0019]參照圖2至圖4，根據(jù)本發(fā)明的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的裝置100包括白光源110、聲光可調(diào)濾波器120、聲光可調(diào)濾波器控制器130、分束器140、彩色攝像機(jī)150以及圖像處理器160。在本示例性實(shí)施方式中，可以通過示例的方式描述由用于測量厚度的裝置100所測量的物體3包括襯底I和施加至襯底I上的薄膜層2。
[0020]白光源110是用于發(fā)射白光的光源，以及白光源110可以包括鹵素?zé)?、發(fā)光二極管(LED)等。在白光源110的后面可以布置有用于對從白光源110發(fā)射的白光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡等。
[0021]聲光可調(diào)濾波器(A0TF)120可以對從白光源110發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)的多個(gè)波長21、波長31以及波長41進(jìn)行濾波。一般地，聲光可調(diào)濾波器120可以對光的相對于全部光譜的特定波長進(jìn)行濾波，或者可以對光所涉及的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)離散波長進(jìn)行濾波。
[0022]參照圖3，根據(jù)本實(shí)施方式的聲光可調(diào)濾波器120可以同時(shí)對紅色波長范圍20內(nèi)的一個(gè)波長21、綠色波長范圍30內(nèi)的一個(gè)波長31以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)的一個(gè)波長41進(jìn)行濾波。因此，具有通過聲光可調(diào)濾波器120分別從紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40進(jìn)行濾波的三個(gè)離散波長21、離散波長31以及離散波長41的光行進(jìn)到物體3。
[0023]分束器140使具有通過聲光可調(diào)濾波器120進(jìn)行濾波的三個(gè)離散波長21、離散波長31以及離散波長41的光行進(jìn)到物體3。此外，從物體3反射的光經(jīng)由分束器140進(jìn)入彩色攝像機(jī)150，這將在后面進(jìn)行描述。
[0024]彩色攝像機(jī)150布置在物體3的上方并且同時(shí)獲取光強(qiáng)度信號(hào)，所述光強(qiáng)度信號(hào)具有從物體3所反射的光的多個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)的多個(gè)波長21、波長31以及波長41。
[0025]當(dāng)具有分別在紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)進(jìn)行濾波的三個(gè)離散波長21、離散波長31以及離散波長41的光從物體3反射并且進(jìn)入彩色攝像機(jī)150時(shí)，彩色攝像機(jī)150能夠通過三個(gè)通道即紅色通道、綠色通道以及藍(lán)色通道同時(shí)獲取三個(gè)波長21、波長31以及波長41的光強(qiáng)度信號(hào)。
[0026]—般地，具有適合待測量區(qū)域的像素?cái)?shù)的電荷耦合器件(CCD)攝像機(jī)被用作彩色攝像機(jī)150。在彩色攝像機(jī)150的前面可以布置有聚光透鏡以集聚來自分束器140的入射光。
[0027]聲光可調(diào)濾波器控制器130向聲光可調(diào)濾波器120傳輸用于在相應(yīng)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描的濾波信號(hào)。
[0028]參照圖3，聲光可調(diào)濾波器控制器130向聲光可調(diào)濾波器120發(fā)送用于同時(shí)對紅色波長范圍20內(nèi)的一個(gè)波長21、綠色波長范圍30內(nèi)的一個(gè)波長31以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)的一個(gè)波長41進(jìn)行濾波的濾波信號(hào)。然后，聲光可調(diào)濾波器控制器130向聲光可調(diào)濾波器120發(fā)送用于在紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40中的每個(gè)波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔將波長增加或減小，以使得對相應(yīng)波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行掃描的濾波信號(hào)。
[0029]例如，假設(shè)700nm?610nm是紅色波長范圍20、570nm?500nm是綠色波長范圍30以及500nm?450nm是藍(lán)色波長范圍40。在這種情況下，聲光可調(diào)濾波器控制器130可以向聲光可調(diào)濾波器120發(fā)送用于同時(shí)對紅色波長范圍20內(nèi)的610nm的波長21、綠色波長范圍30內(nèi)的500nm的波長31以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)的450nm的波長41進(jìn)行濾波的濾波信號(hào)。然后，聲光可調(diào)濾波器控制器130向聲光可調(diào)濾波器120發(fā)送用于在波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40中的每個(gè)波長范圍內(nèi)將波長增加10nm，以使得對波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40中的每個(gè)波長范圍內(nèi)的整個(gè)波長進(jìn)行掃描的濾波信號(hào)。
[0030]采用這些處理，可以在紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)以1nm的間隔相對于波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40的每個(gè)波長范圍中的整個(gè)波長同時(shí)獲取多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42。
[0031]圖像處理器160合成多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖50。
[0032]由于通過彩色攝像機(jī)150的紅色通道、綠色通道以及藍(lán)色通道同時(shí)獲取三個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40的光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42，所以相較于常規(guī)裝置，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的用于測量厚度的裝置可以更快速地獲取光強(qiáng)度信號(hào)。
[0033]如此，如果從各波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40獲取的光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42被合成，那么可以繪制出從物體3反射的光的光強(qiáng)度關(guān)于全部光譜的曲線圖。然后，如果從物體3反射的光的關(guān)于全部光譜的光強(qiáng)度信號(hào)除以入射到物體3的光的關(guān)于全部光譜的光強(qiáng)度信號(hào)，那么可以繪制出反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖50。
[0034]在對薄膜層2上的相應(yīng)位置處的前述的反射率曲線圖50進(jìn)行制作之后，可以基于反射率曲線圖50來測量薄膜層2在相應(yīng)位置處的厚度。因?yàn)閷Ρ绢I(lǐng)域技術(shù)人員而言基于反射率曲線圖50來測量薄膜層2的厚度的方法是公知的，所以省略對其的詳細(xì)描述。
[0035]將在下面描述采用前述的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的裝置100，根據(jù)本發(fā)明的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法。
[0036]參照圖2至圖4，根據(jù)本實(shí)施方式的使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法包括濾波操作、光強(qiáng)度獲取操作、掃描操作以及曲線圖制作操作。
[0037]濾波操作采用聲光可調(diào)濾波器120對從白光源110發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)的多個(gè)波長21、波長31以及波長41進(jìn)行濾波。
[0038]參照圖3，根據(jù)本實(shí)施方式的濾波操作同時(shí)對紅色波長范圍20內(nèi)的一個(gè)波長21、綠色波長范圍30內(nèi)的一個(gè)波長31以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)的一個(gè)波長41進(jìn)行濾波。因此，具有通過聲光可調(diào)濾波器120分別從紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40進(jìn)行濾波的三個(gè)離散波長21、離散波長31以及離散波長41的光行進(jìn)到物體3。
[0039]光強(qiáng)度獲取操作采用彩色攝像機(jī)150同時(shí)獲取多個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)的多個(gè)波長21、波長31以及波長41的光強(qiáng)度信號(hào)。
[0040]如果具有分別從紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40進(jìn)行濾波的三個(gè)離散波長21、離散波長31以及離散波長41的光從物體3反射并且入射到彩色攝像機(jī)150，那么彩色攝像機(jī)150通過三個(gè)通道即紅色通道、綠色通道以及藍(lán)色通道同時(shí)獲取三個(gè)波長21、波長31以及波長41的光強(qiáng)度信號(hào)。
[0041 ]掃描操作同時(shí)獲取波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40的每個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42。
[0042]聲光可調(diào)濾波器控制器130向聲光可調(diào)濾波器120發(fā)送用于在紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40中的每個(gè)波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔將波長增加或減小從而對相應(yīng)波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行掃描的濾波信號(hào)。
[0043]如果在分別掃描三個(gè)波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40中的波長的情況下重復(fù)執(zhí)行濾波操作和光強(qiáng)度獲取操作，那么從紅色波長范圍20、綠色波長范圍30以及藍(lán)色波長范圍40內(nèi)的所有波長(特別地，從選自全部波長的離散波長)中同時(shí)獲取多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42。
[0044]曲線圖制作操作合成多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖50。
[0045]通過合成在各波長范圍20、波長范圍30以及波長范圍40內(nèi)獲取的光強(qiáng)度信號(hào)22、光強(qiáng)度信號(hào)32以及光強(qiáng)度信號(hào)42，可以制作從物體3反射的光的光強(qiáng)度關(guān)于全部光譜的曲線圖。然后，如果從物體3反射的光的關(guān)于全部光譜的光強(qiáng)度信號(hào)除以入射到物體3的光的關(guān)于全部光譜的光強(qiáng)度信號(hào)，那么可以制作出反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖50。
[0046]在對薄膜層2上的相應(yīng)位置處的前述的反射率曲線圖50進(jìn)行制作之后，可以基于反射率曲線圖50來測量薄膜層2在相應(yīng)位置處的厚度。因?yàn)閷Ρ绢I(lǐng)域技術(shù)人員而言基于反射率曲線圖50來測量薄膜層2的厚度的方法是公知的，所以省略對其的詳細(xì)描述。
[0047]采用前述的用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置，在白光的多個(gè)波長范圍中對多個(gè)波長進(jìn)行濾波，并且在各波長范圍內(nèi)同時(shí)獲取光強(qiáng)度信號(hào)，從而顯著改進(jìn)對薄膜層的厚度進(jìn)行測量的速度。
[0048]如上所述，用于使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法和裝置可以顯著改進(jìn)對薄膜層的厚度進(jìn)行測量的速度。
[0049]雖然示出和描述了本發(fā)明的一些示例性實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明原理和精神的前提下可以對這些實(shí)施方式進(jìn)行修改，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種使用彩色攝像機(jī)測量厚度的方法，所述方法采用白光源、聲光可調(diào)濾波器和所述彩色攝像機(jī)，所述聲光可調(diào)濾波器用于對來自從所述白光源發(fā)射的光的多個(gè)離散波長進(jìn)行濾波，所述彩色攝像機(jī)用于獲取從物體反射的光強(qiáng)度信號(hào)，以及所述方法包括: 濾波操作，所述濾波操作用于通過所述聲光可調(diào)濾波器對從所述白光源發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長進(jìn)行濾波； 光強(qiáng)度獲取操作，所述光強(qiáng)度獲取操作用于通過所述彩色攝像機(jī)同時(shí)獲取所述多個(gè)波長范圍內(nèi)的所述多個(gè)波長的光強(qiáng)度信號(hào)； 掃描操作，所述掃描操作通過在每個(gè)波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描的情況下重復(fù)執(zhí)行所述濾波操作和所述光強(qiáng)度獲取操作來獲取所述波長范圍的每個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)；以及 曲線圖制作操作，所述曲線圖制作操作用于合成所述多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述濾波操作包括同時(shí)對紅色波長范圍、綠色波長范圍以及藍(lán)色波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行濾波。3.—種用于使用攝像機(jī)測量厚度的裝置，所述裝置包括: 白光源； 聲光可調(diào)濾波器，所述聲光可調(diào)濾波器用于對從所述白光源發(fā)射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長進(jìn)行濾波； 分束器，所述分束器用于使由所述聲光可調(diào)濾波器進(jìn)行濾波的光行進(jìn)到物體； 彩色攝像機(jī)，所述彩色攝像機(jī)用于同時(shí)獲取從所述物體反射的光的多個(gè)波長范圍內(nèi)的多個(gè)波長的光強(qiáng)度信號(hào)； 聲光可調(diào)濾波器控制器，所述聲光可調(diào)濾波器控制器向所述聲光可調(diào)濾波器發(fā)送用于在各波長范圍內(nèi)以預(yù)定間隔執(zhí)行與波長同樣多的掃描以便獲取所述各波長范圍內(nèi)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)的濾波信號(hào)；以及 圖像處理器，所述圖像處理器用于合成所述多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)以制作反射率關(guān)于全部光譜的曲線圖。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述聲光可調(diào)濾波器同時(shí)對紅色波長范圍、綠色波長范圍以及藍(lán)色波長范圍內(nèi)的波長進(jìn)行濾波。
【文檔編號(hào)】G01B11/06GK105937882SQ201610122109
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年3月3日
【發(fā)明人】金侊樂, 權(quán)純陽, 金宰湖, 樸喜載
【申請人】Snu精密股份有限公司