本發(fā)明涉及零部件焊接，具體為一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來(lái)越小，加工及測(cè)量設(shè)備越來(lái)越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。隨著特征尺寸的減小，使得晶圓加工時(shí)，空氣中的顆粒數(shù)對(duì)晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大，因此，清洗晶圓是半導(dǎo)體制程中常見(jiàn)的一道工序。

2、而晶圓清洗機(jī)在制造的過(guò)程中需要外殼進(jìn)行焊接作業(yè)，但是現(xiàn)階段對(duì)晶圓清洗機(jī)外殼焊接是存在諸多缺陷，需要對(duì)外殼原材料金屬板對(duì)接拼成大致的輪廓，需人工逐個(gè)操作加持臂對(duì)金屬板進(jìn)行定位，造成人工外殼的焊接準(zhǔn)備工作繁瑣，無(wú)形中增加了人力物力，同時(shí)需要對(duì)焊接后的金屬板進(jìn)行換面，需要對(duì)焊接裝置進(jìn)行停機(jī)等待，如此一來(lái)造成對(duì)外殼的焊接作業(yè)效率低下，為此，提出一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，本發(fā)明的目的是提供一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，以解決上述背景中提出的技術(shù)問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，包括底臺(tái)，所述底臺(tái)的一側(cè)固定有焊接組件，所述底臺(tái)的另一側(cè)裝配有約束組件；

3、約束組件包括有與底臺(tái)側(cè)壁固定的連接板，所述連接板的頂端固定有兩組支撐臂，兩組所述支撐臂之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有連接軸，每組所述連接軸的外壁固定有兩組外板，所述連接軸的外壁位于外板的一側(cè)固定有l(wèi)板，所述外板的外壁且遠(yuǎn)離連接軸的一側(cè)開(kāi)始有缺槽，所述缺槽內(nèi)設(shè)有與外板（320）端部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置的隱藏板；

4、焊接組件包括有與底臺(tái)側(cè)壁固定的底板，所述底板的頂端固定有兩組u框，每組所述u框內(nèi)縱向轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有從動(dòng)條，兩組所述從動(dòng)條的之間螺紋套接有從動(dòng)條，所述從動(dòng)條的頂部固定有支撐板，所述支撐板的頂端裝配有焊接機(jī)器人，兩組所述u框靠近底臺(tái)的一側(cè)縱向固定有兩組集氣條，所述集氣條靠近底臺(tái)的兩面均接通有若干組吸氣嘴，兩組所述u框的頂端固定有橫板，所述橫板的頂端裝配有與氣泵，所述氣泵的輸出端設(shè)有與兩組集氣條頂端接通的三通管，所述橫板頂端裝配有與氣泵接通的過(guò)濾框，且過(guò)濾框位于氣泵的一側(cè)。

5、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述底臺(tái)頂端活動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)盤(pán)，所述底臺(tái)內(nèi)裝配有與轉(zhuǎn)盤(pán)底端中心連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

6、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐板頂端裝配有電磁滑軌，電磁滑軌的頂端套接有與焊接機(jī)器人底端連接的滑座。

7、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述過(guò)濾框內(nèi)裝配有活性炭層，所述過(guò)濾框頂端設(shè)有排氣管。

8、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述底板內(nèi)位于其中一組絲桿的下方裝配有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿的底端連接，兩組所述絲桿頂端與u框轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，且絲桿的底端與底板轉(zhuǎn)動(dòng)連接延伸至底板內(nèi)，兩組所述絲桿的外壁位于底板內(nèi)套接有第一皮帶，所述絲桿的外壁與第一皮帶接觸位置處未開(kāi)設(shè)螺紋，且絲桿的外壁與第一皮帶接觸位置處設(shè)有皮帶輪。

9、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述連接軸和外板位于連接軸外壁靠近支撐臂的位置，所述連接軸的兩端延伸至支撐臂內(nèi)。

10、作為本發(fā)明的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐臂的外壁偏底端位置裝配有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出端延伸至支撐臂內(nèi)連接有連接桿，所述連接桿的外壁固定有主動(dòng)齒，位于下方的連接軸端部固定有與主動(dòng)齒咬合連接的從動(dòng)齒，所述連接桿和上方連接軸的外壁套接有第二皮帶。

11、綜上所述，本發(fā)明主要具有以下有益效果：

12、本發(fā)明通過(guò)約束組件中的l板和外板配合，使得焊接外殼的金屬板處于樹(shù)立狀態(tài)，同時(shí)可將兩兩金屬板對(duì)接且固定處于邊角垂直的狀態(tài)，如此實(shí)現(xiàn)定位便捷以及高效的目的，與此同時(shí)可對(duì)焊接后的金屬板進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)換面，可減少人工手動(dòng)操作所需要的時(shí)長(zhǎng)，節(jié)省人力物力的目的，起到焊接作業(yè)高效率的目的。

13、本發(fā)明通過(guò)焊接機(jī)器人對(duì)金屬板進(jìn)行焊接作業(yè)時(shí)，此時(shí)氣泵啟動(dòng)且使得焊接周?chē)目諝庀蛭鼩庾炜拷?，且因集氣條處于鈍角的狀態(tài)，因此可使得焊接處周?chē)罅康目諝饨?jīng)過(guò)吸氣嘴進(jìn)入到過(guò)濾框內(nèi)，最終經(jīng)過(guò)活性炭層的過(guò)濾排出，確保工作周?chē)目諝馇逍?，避免?duì)工作人員的身體健康造成危害

技術(shù)特征：

1.一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，包括底臺(tái)（100），其特征在于：所述底臺(tái)（100）的一側(cè)固定有焊接組件（200），所述底臺(tái)（100）的另一側(cè)裝配有約束組件（300）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述底臺(tái)（100）頂端活動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)盤(pán)（110），所述底臺(tái)（100）內(nèi)裝配有與轉(zhuǎn)盤(pán)（110）底端中心連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（120）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述支撐板（250）頂端裝配有電磁滑軌，電磁滑軌的頂端套接有與焊接機(jī)器人（260）底端連接的滑座。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述過(guò)濾框（280）內(nèi)裝配有活性炭層（281），所述過(guò)濾框（280）頂端設(shè)有排氣管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述底板（210）內(nèi)位于其中一組絲桿（230）的下方裝配有第一電機(jī)（211），所述第一電機(jī)（211）的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿（230）的底端連接，兩組所述絲桿（230）頂端與u框（220）轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，且絲桿（230）的底端與底板（210）轉(zhuǎn)動(dòng)連接延伸至底板（210）內(nèi)，兩組所述絲桿（230）的外壁位于底板（210）內(nèi)套接有第一皮帶（231），所述絲桿（230）的外壁與第一皮帶（231）接觸位置處未開(kāi)設(shè)螺紋，且絲桿（230）的外壁與第一皮帶（231）接觸位置處設(shè)有皮帶輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述連接軸（350）和外板（320）位于連接軸（350）外壁靠近支撐臂（340）的位置，所述連接軸（350）的兩端延伸至支撐臂（340）內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，其特征在于：所述支撐臂（340）的外壁偏底端位置裝配有第二電機(jī)（370），所述第二電機(jī)（370）的輸出端延伸至支撐臂（340）內(nèi)連接有連接桿（371），所述連接桿（371）的外壁固定有主動(dòng)齒（380），位于下方的連接軸（350）端部固定有與主動(dòng)齒（380）咬合連接的從動(dòng)齒（390），所述連接桿（371）和上方連接軸（350）的外壁套接有第二皮帶（360）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)外殼加工用焊接機(jī)，涉及零部件焊接技術(shù)領(lǐng)域，包括底臺(tái)，所述底臺(tái)的一側(cè)固定有焊接組件，所述底臺(tái)的另一側(cè)裝配有約束組件；約束組件包括有與底臺(tái)側(cè)壁固定的連接板，所述連接板的頂端固定有兩組支撐臂，兩組所述支撐臂之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有連接軸，每組所述連接軸的外壁固定有兩組外板。本發(fā)明通過(guò)約束組件中的L板和外板配合，使得焊接外殼的金屬板處于樹(shù)立狀態(tài)，同時(shí)可將兩兩金屬板對(duì)接且固定處于邊角垂直的狀態(tài)，如此實(shí)現(xiàn)定位便捷以及高效的目的，與此同時(shí)可對(duì)焊接后的金屬板進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)換面，可減少人工手動(dòng)操作所需要的時(shí)長(zhǎng)，節(jié)省人力物力的目的，起到焊接作業(yè)高效率的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：白忠華,武目遷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州寶帆智能設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21