一種高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于觸摸面板材料領(lǐng)域，尤其是一種高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品O
【背景技術(shù)】
[0002]未來移動終端、可穿戴設(shè)備、智能家電等產(chǎn)品，對觸摸面板有著強(qiáng)勁需求，同時隨著觸控面板大尺寸化、低價化，以及傳統(tǒng)ITO薄膜不能用于可彎曲應(yīng)用，導(dǎo)電性及透光率等本質(zhì)問題不易克服等因素，眾面板廠商紛紛開始研宄ITO的替代品，包括納米銀線、金屬網(wǎng)格、納米碳管以及石墨烯等材料。其中，金屬網(wǎng)格因具有成本最低、導(dǎo)電性能良好的特性，在市場中的應(yīng)用也最為廣泛。
[0003]現(xiàn)有的大多數(shù)金屬網(wǎng)格的橫截面為矩形，其上下寬度一致，即與透明基材接觸的金屬網(wǎng)格位置、遠(yuǎn)離透明基材的金屬網(wǎng)格位置的寬度相等，而與透明基材接觸的金屬網(wǎng)格位置寬度越寬，對光的反射率越強(qiáng)，越容易出現(xiàn)莫瑞干涉波紋，其分辨率越差；遠(yuǎn)離透明基材的金屬網(wǎng)格位置的寬度越寬，其導(dǎo)電率越好，因此，現(xiàn)有的金屬網(wǎng)格無法兼具低發(fā)射率和高導(dǎo)電率雙重優(yōu)良特性。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本實用新型旨在提供一種高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品，該金屬網(wǎng)格制品與透明基材接觸的位置，線寬窄，可盡量降低其反射率，避免出現(xiàn)莫瑞干涉波紋；同時，在遠(yuǎn)離透明基材的區(qū)域，線寬較大，又可盡量維持較高的導(dǎo)電率。
[0005]本實用新型的高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品，金屬網(wǎng)格上寬下窄。這樣的金屬網(wǎng)格與透明基材接觸的位置，線寬窄，可盡量降低其反射率，避免出現(xiàn)莫瑞干涉波紋；同時，在遠(yuǎn)離透明基材的區(qū)域，線寬較大，又可盡量維持較高的導(dǎo)電率，尤其適合應(yīng)用于大尺寸觸控面板。
【附圖說明】
[0006]圖1為本實用新型的透明基板涂布光阻層后的結(jié)構(gòu)圖；
[0007]圖2為本實用新型的透明基板上進(jìn)行光阻層壓印的工作結(jié)構(gòu)圖，其中，箭頭方向為當(dāng)時壓印模板的移動方向；
[0008]圖3為本實用新型的透明基板上光阻層經(jīng)電漿蝕刻后的結(jié)構(gòu)圖；
[0009]圖4為本實用新型的金屬網(wǎng)格制品的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0010]現(xiàn)結(jié)合附圖具體說明本實用新型的實施方式:
[0011]本實用新型的高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品，金屬網(wǎng)格7上寬下窄(如圖4所示
[0012]本實用新型的金屬網(wǎng)格7與透明基材3接觸的位置，線寬窄，可盡量降低其反射率，避免出現(xiàn)莫瑞干涉波紋；同時，在遠(yuǎn)離透明基材3的區(qū)域，線寬較大，又可盡量維持較高的導(dǎo)電率，尤其適合應(yīng)用于大尺寸觸控面板。
[0013]本實用新型的高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品的制作方法，包括以下步驟:
[0014](I)在透明基材3上涂布光阻層(1、2)，光阻層厚度為20~60微米，光阻層為兩層蝕刻速率不同的光阻層疊加而成(如圖1~3所示);且，上層光阻層I所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率大于下層光阻層2所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率；
[0015](2)采用底部帶有電路圖案凸起的壓印模板4對光阻層(1、2)進(jìn)行壓印，拔出壓印模板4后，在光阻層(1、2)內(nèi)形成電路圖案溝槽5 (如圖2所示)；
[0016](3)對壓印后的光阻層(1、2)進(jìn)行電漿蝕刻，露出透明基材3，其中，電漿蝕刻條件為:電漿功率為2000~3000瓦，蝕刻時間為2~30分鐘，得到上寬下窄的金屬網(wǎng)格溝槽6 (如圖3所示)；
[0017](4)采用現(xiàn)有的鍍膜技術(shù)將金屬網(wǎng)格溝槽6內(nèi)鍍滿金屬網(wǎng)格材料，形成呈電路圖案形狀分布的金屬網(wǎng)格7 ；
[0018](6)最后采用光阻剝離液將光阻層(1、2)溶出，并采用清洗劑進(jìn)行清洗，得到金屬網(wǎng)格7 (如圖4所示)。
【主權(quán)項】
1.一種高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品，其特征在于:其金屬網(wǎng)格上寬下窄。
【專利摘要】本實用新型提供一種高導(dǎo)電率低反射率金屬網(wǎng)格制品，該金屬網(wǎng)格上寬下窄。本實用新型的金屬網(wǎng)格制品與透明基材接觸的位置，線寬窄，可盡量降低其反射率，避免出現(xiàn)莫瑞干涉波紋；同時，在遠(yuǎn)離透明基材的區(qū)域，線寬較大，又可盡量維持較高的導(dǎo)電率，尤其適合應(yīng)用于大尺寸觸控面板。
【IPC分類】G06F3-041
【公開號】CN204537089
【申請?zhí)枴緾N201520085148
【發(fā)明人】林杰, 侯則良, 王維綱
【申請人】福建省諾希科技園發(fā)展有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年2月6日