專利名稱：用于測試機(jī)械手的測試托盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測試才幾械手，更具體地講，涉及這樣一種測試托盤，該 測試托盤加載有半導(dǎo)體器件，然后在測試機(jī)械手中沿著預(yù)定的循環(huán)路徑攜帶 這些半導(dǎo)體器件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域中，測試機(jī)械手也稱為自動(dòng)測試設(shè)備，允許檢測器 根據(jù)預(yù)定的測試過程測試半導(dǎo)體器件并將測試過的半導(dǎo)體器件分類，從而才是 供質(zhì)量良好的半導(dǎo)體器件。測試機(jī)械手被構(gòu)造為包括多個(gè)測試托盤，所述測 試托盤加載有半導(dǎo)體器件并且按照預(yù)定的循環(huán)在機(jī)械手中運(yùn)動(dòng)。雖然測試托
盤在循環(huán)路徑上運(yùn)動(dòng)，但是它們靠近(dock wkh)檢測器使得檢測器能夠測 試半導(dǎo)體器件。
每個(gè)測試托盤被構(gòu)造成包括框架和插入模塊，所述插入模塊以矩陣形式 布置在框架上并加載有半導(dǎo)體器件。第10-2002-0030552號(hào)韓國專利公布和第 20-0389824號(hào)韓國實(shí)用新型登記中公開了測試托盤的功能、結(jié)構(gòu)和形式，以 下將上述專利稱為現(xiàn)有技術(shù)。
圖1是根據(jù)用于測試機(jī)械手的傳統(tǒng)的測試托盤的插入模塊和框架的分解 透視圖。形狀呈矩形的插入模塊11相對(duì)于縱向軸L在其兩端形成固定孔lla 和llb。框架12形成容納空間Sl,插入模塊11 ^:置在每個(gè)容納空間上； 內(nèi)螺紋孔12a和12b，在每個(gè)容納空間Sl的對(duì)角上，所述內(nèi)螺紋孔的位置與 插入模塊11的固定孔lla和lib的位置對(duì)應(yīng)。當(dāng)螺釘13延伸穿過固定孔lla 和lib并且旋入內(nèi)螺紋孔12a和12b中時(shí)，每個(gè)插入才莫塊11凈皮安置在容納空 間Sl上并被固定到框架12上
近來，隨著對(duì)半導(dǎo)體器件的使用和需求的增多，半導(dǎo)體器件需要被快速 地測試，因此，檢測器需要能夠一次測試相對(duì)大量的半導(dǎo)體器件。但是，由 于傳統(tǒng)的測試托盤按照插入模塊沿著縱向在其兩端利用螺釘被固定到框架上 的方式被構(gòu)造，所以其結(jié)構(gòu)上具有缺點(diǎn)，即會(huì)花費(fèi)很大的用于對(duì)應(yīng)的固定結(jié)構(gòu)的空間。
此外，由于傳統(tǒng)的測試托盤使用兩個(gè)固定單元(例如，螺釘)將一個(gè)插 入模塊安裝到框架上，所以使得部件數(shù)量和工作時(shí)間增加。

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到上述問題提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供一種能 夠利用 一個(gè)固定單元將多個(gè)相鄰的插入模塊固定到測試托盤的框架上的測試 機(jī)械手的測試托盤。
本發(fā)明的另 一 目的在于提供一種具有以下結(jié)構(gòu)的測試機(jī)械手的測試托
盤，所述結(jié)構(gòu)為插入模塊的至少兩點(diǎn)應(yīng)當(dāng)被固定到測試托盤的框架上，其
中，插入模塊的一點(diǎn)通過固定單元被固定到框架上，另一點(diǎn)在結(jié)構(gòu)上被結(jié)合 并固定到框架上。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種能夠適當(dāng)?shù)貙⒉迦肽K引導(dǎo)并安置在測
試托盤的框架上的測試^L械手的測試托盤。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，通過提供一種用于測試機(jī)械手的測試托盤來實(shí)現(xiàn)
上述和其它目的，所述測試托盤包括框架，形成以矩陣形式排列的容納空 間；多個(gè)插入模塊，被分別容納在所述容納空間中；多個(gè)固定單元，所述多 個(gè)固定單元的每個(gè)固定單元將兩個(gè)或者更多的插入模塊固定到框架上。這里， 框架形成多個(gè)分離防止突起，所述多個(gè)分離防止突起的每個(gè)分離防止突起防 止插入模塊在特定距離處的位置分離，其中，所述位置與兩個(gè)或者更多的插 入模塊相鄰的位置隔開。
優(yōu)選地，所述框架還形成多個(gè)內(nèi)螺紋孔，所述多個(gè)內(nèi)螺紋孔的每個(gè)內(nèi)螺 紋孔位于兩個(gè)或者更多的插入4莫塊相鄰的位置處。所述固定單元包括旋入所 述內(nèi)螺紋孔中的外螺紋部分和其直徑比外螺紋部分的直徑大的螺釘頭。這里， 所述螺釘頭具有覆蓋兩個(gè)或者更多的插入模塊相鄰部分的一部分的直徑。
優(yōu)選地，所述框架具有多個(gè)延伸寬度部分，多個(gè)內(nèi)螺紋孔分別形成在所 述多個(gè)延伸寬度部分上。
優(yōu)選地，至少一個(gè)固定單元將以2x2矩陣形式排列的四個(gè)相鄰的插入模 塊固定到框架上。
優(yōu)選地，每個(gè)容納空間容納兩個(gè)相鄰的插入模塊。
優(yōu)選地，所述框架還形成用于安全地引導(dǎo)插入模塊的多個(gè)引導(dǎo)凹槽，每
5個(gè)插入模塊形成沿著引導(dǎo)凹槽被引導(dǎo)的引導(dǎo)突起。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于測試機(jī)械手的測試托盤，所述
測試托盤包括框架，形成以矩陣形式排列的容納空間；多個(gè)插入模塊，凈皮
分別容納在所述容納空間中；多個(gè)固定單元，所述多個(gè)固定單元的每個(gè)固定
單元將插入模塊的第一部分固定到框架上。這里，框架和/或所述插入模塊具
有多個(gè)分離防止結(jié)構(gòu)，以防止插入模塊的第二部分分離，其中，所述第二部 分與第 一部分隔開特定距離。
優(yōu)選地，所述分離防止結(jié)構(gòu)包括形成在框架中用于防止所述插入模塊的 第二部分分離的分離防止突起。
優(yōu)選地，第 一部分和第二部分呈對(duì)角線地位于所述插入才莫塊的角落處。 根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于測試機(jī)械手的測試托盤，所述測 試托盤包括框架，形成以矩陣形式排列的容納空間；多個(gè)插入模塊，被分 別容納在所述容納空間中；多個(gè)固定單元，用于將所述多個(gè)插入模塊固定到 框架上。這里，所述框架和/或插入模塊具有用于安全地且謹(jǐn)慎地引導(dǎo)插入模 塊的引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選地，所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)包括引導(dǎo)凹槽，形成在框架中，用于安全地引 導(dǎo)所述插入模塊；引導(dǎo)突起，形成在所述插入模塊中，用于沿著所述引導(dǎo)凹 槽被引導(dǎo)。


通過下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它目的、特點(diǎn)和 其它優(yōu)點(diǎn)將被更加清楚地理解，其中
'圖1是根據(jù)用于測試機(jī)械手的傳統(tǒng)的測試托盤的插入模塊和框架的分解 透視圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于測試機(jī)械手的測試托盤的一部分的分解 透視圖3是示出適于圖2的測試托盤的框架的平面圖； 圖4是示出適于圖2的測試托盤的插入模塊的透視圖； 圖5是示出插入模塊容納在圖2的測試托盤的框架中的狀態(tài)的局部放大 平面圖。
具體實(shí)施例方式
將參照附圖詳細(xì)描述#>據(jù)本發(fā)明的測試^U成手的測試托盤的優(yōu)選實(shí)施例。
圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于測試機(jī)械手的測試托盤的一部分的分解
透視圖。
參照?qǐng)D2,測試托盤TT被構(gòu)造為包括框架20、多個(gè)插入模塊30和螺釘40。
如圖3整體所示，框架20包括外體21，形狀呈矩形，限定了框架20 的外圍；縱向中間粱22，在橫向上以特定間隔彼此隔開，并沿著縱向結(jié)合到 外體21上；橫向中間粱23,在縱向上以預(yù)定間隔彼此隔開，并沿著橫向結(jié) 合到外體21上。應(yīng)該理解，如此命名框架20的外體21、縱向中間粱22和 橫向中間粱23是為了便于描述。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，外體21、縱向中間 粱22和橫向中間粱23—體地形成框架20，或者單獨(dú)形成，然后裝配以形成 框架20?？蚣?0由于外體21、縱向中間粱22和橫向中間粱23而形成得l象 格子。這樣，框架20形成以矩陣形式排列的容納空間S2，插入模塊30放置 在所述容納空間S2上。
如圖3所示，框架20具有呈16x8矩陣形式的容納空間S2。每個(gè)容納空 間S2的形狀為矩形，其中，矩陣的寬度是矩陣的長度的近似兩倍，并且沿著 框架20的一黃向平4亍地容納兩個(gè)插入才莫塊30,如圖2所示。
參照?qǐng)D2,在兩個(gè)相鄰的容納空間S2之間的橫向中間粱23按照以下方 式形成，橫向中間粱23的寬度在橫向中間粱23遇到中線C的位置突出地延 伸到兩側(cè)，所述中線C將各個(gè)的容納空間S2的寬度平分。因此，每個(gè)容納 空間S2由兩個(gè)子容納空間構(gòu)成，在兩個(gè)子容納空間之間的相鄰壁部分地敞 開。并且，內(nèi)螺紋孔23a豎直地形成在突出的延伸部分W上。相對(duì)于傳統(tǒng)的 粱，橫向中間粱23以減小其厚度的方式形成，但僅在用于固定插入模塊30 的部分增加厚度。因此，根據(jù)本發(fā)明的框架20能夠有效地使用其空間，并允 許插入模塊30被適當(dāng)?shù)毓潭ǖ狡渖?。這樣， 一個(gè)內(nèi)螺紋孔23a位于兩個(gè)平行 的容納空間S2的中間，并將與所述容納空間S2平行地排列的兩對(duì)插入模塊 30(四個(gè)插入模塊)固定到框架20上。
此外，在框架20的相對(duì)于內(nèi)螺紋孔23a呈對(duì)角線布置的角落上，形成分 離防止突起20a，以防止當(dāng)插入模塊30的邊緣被放置在吊掛突起(hangingprotrusion ) 20b上時(shí)插入沖莫塊30的角落向上分離。
此外，框架20形成引導(dǎo)凹槽20c,該引導(dǎo)凹槽20c稍后將詳細(xì)描述。 圖4是示出圖2的一個(gè)插入模塊30的透視圖。在平面圖中，插入才莫塊 30的形狀呈近似正方形。插入模塊30形成容納一個(gè)半導(dǎo)體器件的容納部分 31。此外，插入才莫塊30分別在其角落處形成四個(gè)臺(tái)階A1、 A2、 A3和A4， 其中，對(duì)應(yīng)的臺(tái)階通過框架20的分離防止突起20a被固定，以防止插入模塊 30向上分離。此外，插入模塊30的上表面與框架20的上表面近似在相同的 面上。這里，插入模塊30的臺(tái)階Al 、 A2、 A3和A4按照對(duì)應(yīng)于框架20的 分離防止突起20a的方式形成，從而對(duì)應(yīng)的臺(tái)階結(jié)構(gòu)上結(jié)合到分離防止突起 20a,而不使用任何額外的固定單元將插入模塊30放置到框架20中。具體地 講，包括分離防止突起20a和臺(tái)階Al至A4的分離防止結(jié)構(gòu)形成在第二部分 上，所述第二部分與通過螺釘40固定的第一部分隔開特定距離。因此，插入 模塊30的兩個(gè)或者更多點(diǎn)被固定到框架20上。尤其是，為了可靠地固定插 入模塊30,最優(yōu)選地將由螺釘40固定的第一部分和由分離防止結(jié)構(gòu)固定的 第二部分呈對(duì)角線地放置。
根據(jù)本發(fā)明的每個(gè)插入模塊30在其一側(cè)壁的中間具有引導(dǎo)突起32，該 引導(dǎo)突起32與框架20的引導(dǎo)凹槽20c對(duì)應(yīng)。引導(dǎo)突起32可滑動(dòng)地結(jié)合到引 導(dǎo)凹槽20c上，以將插入模塊30安全地引導(dǎo)到容納空間S2中。通常，在傳 統(tǒng)的插入模塊11中不考慮會(huì)錯(cuò)誤地安裝，這是因?yàn)椴迦肽K11的形狀為矩 形并且呈點(diǎn)對(duì)稱。但是，由于根據(jù)本發(fā)明的插入模塊30形成為正方形，從而 會(huì)發(fā)生錯(cuò)誤安裝，因此，需要用于引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)突起32和引導(dǎo)凹槽20c, 以防止錯(cuò)誤安裝。雖然因?yàn)椴迦肽K30是正方形而在本發(fā)明的實(shí)施例中實(shí)現(xiàn) 引導(dǎo)結(jié)構(gòu)，但是應(yīng)該理解，在將安全地并小心地安裝插入模塊(例如，矩形 并非點(diǎn)對(duì)稱插入模塊)的情況下也將形成引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。
如圖2所示，被設(shè)置為固定單元的螺釘40旋入內(nèi)螺紋孔23a中，以將四 個(gè)插入模塊30固定到框架20，即，橫向中間粱23上。螺釘40由用于與內(nèi) 螺紋孔23a結(jié)合的外螺紋部分41和直徑大于外螺紋部分41的直徑的螺釘頭 42構(gòu)成。
以下是參照?qǐng)D5對(duì)構(gòu)成元件的功能和測試托盤TT的裝配過程的描述。 圖5是描述圖2的插入模塊被容納在框架中的狀態(tài)的局部放大平面圖。
操作員(或者自動(dòng)機(jī)械)將沿著縱向呈2x2矩陣形式并排布置的四個(gè)插入模塊30放置到兩個(gè)容納空間S2中。在這種情況下，四個(gè)插入^^莫塊30的每 個(gè)引導(dǎo)突起32沿著框架20的引導(dǎo)凹槽20c被引導(dǎo)，并且插入模塊30的邊界 在由四個(gè)插入模塊30 (或者相鄰的兩對(duì)插入模塊30 )限定的正方形的角落處 被結(jié)合到分離防止突起20a上。即，結(jié)合到四個(gè)插入模塊30d邊緣(臺(tái)階) 上的分離防止突起20a位于從四個(gè)插入才莫塊30 —起相鄰處的部分A (正方形 的中心)沿著對(duì)角線方向的位置上。
在將四個(gè)插入^^莫塊30^:置到容納空間S2中之后，螺4丁4(^皮旋入到形成 在框架20的橫向中間粱23的突出的延伸部分W (即，部分A )上的內(nèi)螺紋 孔23a中。這里，螺釘頭42的直徑擴(kuò)展到相鄰的插入模塊30的四個(gè)角落。 因此，螺釘40的螺釘頭32覆蓋插入模塊30的四個(gè)角落(位于部分A處)。 因此，每個(gè)插入模塊30按照以下方式被固定到框架上，即，插入模塊30的 一角通過螺釘頭42防止被分離，位于所述一角的對(duì)角線上的相對(duì)邊緣通過分 離防止突起20a防止被分離。因此，插入模塊30能夠被穩(wěn)固地安裝到容納空 間S2上。
雖然基于正方形的插入模塊實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施例，但是，應(yīng)該理解，可 以基于矩形的插入模塊進(jìn)行修改。此外，雖然按照通過一個(gè)螺釘固定四個(gè)插 入模塊的方式實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明的實(shí)施例，但是應(yīng)該理解，可以修改使得一個(gè)螺 釘僅將兩個(gè)插入模塊固定到框架上。
從上述描述中清楚的是，根據(jù)本發(fā)明用于測試機(jī)械手的測試托盤具有以 下的優(yōu)點(diǎn)。
由于通過一個(gè)固定單元將多個(gè)相鄰的插入模塊固定到框架上，所以測試 托盤能夠節(jié)省將插入模塊安裝到容納空間的空間，因此，相對(duì)于傳統(tǒng)的測試 托盤，在相同的面積能夠加載相對(duì)大量的插入模塊。
此外，由于僅插入模塊的一點(diǎn)通過固定單元被固定到框架上，其它點(diǎn)被 結(jié)構(gòu)上結(jié)合并固定到框架上，所以測試托盤能夠減少部件的數(shù)量并提高其生 產(chǎn)效率。
而且，由于插入模塊通過引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(例如，引導(dǎo)突起和引導(dǎo)凹槽)被安 全地安裝到框架的容納空間，所以測試托盤允許操作者容易且有效地執(zhí)行裝 配工藝并提高其生產(chǎn)效率。
雖然出于示例性的目的已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技 術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離由權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，
9各種修改、增加和替換是可行的。
權(quán)利要求
1、一種用于測試機(jī)械手的測試托盤，包括框架，形成以矩陣形式排列的容納空間；多個(gè)插入模塊，被分別容納在所述容納空間中；多個(gè)固定單元，所述多個(gè)固定單元的每個(gè)固定單元將兩個(gè)或者更多的插入模塊固定到框架上，其中，框架形成多個(gè)分離防止突起，所述多個(gè)分離防止突起的每個(gè)分離防止突起防止插入模塊在特定距離處的位置分離，其中，所述位置與所述兩個(gè)或者更多的插入模塊相鄰的位置隔開。
2、 如權(quán)利要求1所述的測試托盤，其中所述框架還形成多個(gè)內(nèi)螺紋孔，所述多個(gè)內(nèi)螺紋孔的每個(gè)內(nèi)螺紋孔位于 所述兩個(gè)或者更多的插入模塊相鄰的位置處；所述固定單元包括旋入所述內(nèi)螺紋孔中的外螺紋部分和其直徑比外螺紋 部分的直徑大的螺釘頭，其中，所述螺釘頭具有覆蓋所述兩個(gè)或者更多的插入模塊相鄰部分的一 部分的直徑。
3、 如權(quán)利要求2所述的測試托盤，其中，所述框架具有多個(gè)延伸寬度部 分，多個(gè)內(nèi)螺紋孔分別形成在所述多個(gè)延伸寬度部分上。
4、 如權(quán)利要求1所述的測試托盤，其中，固定單元將以2x2矩陣形式排 列的四個(gè)相鄰的插入才莫塊固定到框架上。
5、 如權(quán)利要求1所述的測試托盤，其中，每個(gè)容納空間容納兩個(gè)相鄰的 插入一莫塊。
6、 如權(quán)利要求1所述的測試托盤，其中 所述框架還形成用于安全地引導(dǎo)插入^^塊的多個(gè)引導(dǎo)凹槽； 每個(gè)插入模塊形成沿著引導(dǎo)凹槽被引導(dǎo)的引導(dǎo)突起。
7、 一種用于測試^L械手的測試托盤，包括 框架，形成以矩陣形式排列的容納空間； 多個(gè)插入;f莫塊，-故分別容納在所述容納空間中；多個(gè)固定單元，所述多個(gè)固定單元的每個(gè)固定單元將插入^^莫塊的第一部 分固定到框架上，其中，框架和/或所述插入模塊具有多個(gè)分離防止結(jié)構(gòu)，以防止插入才莫塊 的第二部分分離，其中，所述第二部分與第一部分隔開特定距離。
8、 如權(quán)利要求7所述的測試托盤，其中，所述分離防止結(jié)構(gòu)包括形成在 框架中用于防止所述插入模塊的第二部分分離的分離防止突起。
9、 如權(quán)利要求8所述的測試托盤，其中，第一部分和第二部分呈對(duì)角線地位于所述插入模塊的角落處。
10、 一種用于測試機(jī)械手的測試托盤，包括 框架，形成以矩陣形式排列的容納空間； 多個(gè)插入模塊，被分別容納在所述容納空間中； 多個(gè)固定單元，用于將所述多個(gè)插入;f莫塊固定到框架上，其中，所述框架和/或插入模塊具有用于安全地且謹(jǐn)慎地引導(dǎo)插入模塊的 引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。
11、 如權(quán)利要求IO所述的測試托盤，其中，所述引導(dǎo)結(jié)構(gòu)包括 引導(dǎo)凹槽，形成在框架中，用于安全地引導(dǎo)所述插入模塊； 引導(dǎo)突起，形成在所述插入模塊中，用于沿著所述引導(dǎo)凹槽被引導(dǎo)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于測試機(jī)械手的測試托盤。該測試托盤加載有半導(dǎo)體器件，然后沿著預(yù)定的循環(huán)路徑攜帶這些半導(dǎo)體器件。測試托盤允許一個(gè)固定單元將多個(gè)相鄰的插入模塊固定到框架的容納空間，從而與傳統(tǒng)的測試托盤相比，有效地使用框架的空間，并允許在相同的面積中安裝相對(duì)大量的插入模塊。
文檔編號(hào)G01R31/26GK101535825SQ200780040676
公開日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2007年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月2日
發(fā)明者全寅九, 具泰興, 沈裁均, 羅閏成, 黃正佑 申請(qǐng)人:泰克元有限公司