放氣系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)包括：放氣閥(1)、緩沖板(2)、鎖室(3)以及蓋板(4)，其中，所述蓋板(4)用于封閉所述鎖室(3)，所述放氣閥(1)貫穿所述蓋板(4)并能夠控制打開(kāi)或關(guān)閉；所述緩沖板(2)固接于所述鎖室(3)的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥(1)沖入的氣體。該放氣系統(tǒng)可以在不破壞基片的前提下快速把系統(tǒng)回復(fù)到大氣狀態(tài)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】放氣系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種放氣裝置，具體地，涉及一種放氣系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)于真空室進(jìn)行放氣的系統(tǒng)常常會(huì)因?yàn)榉艢獯驂幕瑢?duì)于基片來(lái)說(shuō)，由于每次放氣都會(huì)產(chǎn)生很大的氣壓層會(huì)產(chǎn)生很大的氣流，對(duì)于基片來(lái)說(shuō)，很容易就被打壞了。那么設(shè)計(jì)一種新的放氣系統(tǒng)成為一種亟需解決的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是克服了現(xiàn)有技術(shù)中的放氣系統(tǒng)容易打壞基片的問(wèn)題，提供一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)可以在不破壞基片的前提下快速把系統(tǒng)回復(fù)到大氣狀態(tài)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)包括:放氣閥、緩沖板、鎖室以及蓋板，其中，所述蓋板用于封閉所述鎖室，所述放氣閥貫穿所述蓋板并能夠控制打開(kāi)或關(guān)閉；所述緩沖板固接于所述鎖室的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥沖入的氣體。
[0005]優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)還包括:過(guò)濾器，所述過(guò)濾器設(shè)置于所述放氣閥中。
[0006]優(yōu)選地，所述放氣閥設(shè)置為多個(gè)，且多個(gè)所述放氣閥均勻分布在所述鎖室的外表面上。
[0007]優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)包括:儲(chǔ)氣罐，所述儲(chǔ)氣罐中的空氣能夠通過(guò)所述放氣閥進(jìn)入所述鎖室中。
[0008]優(yōu)選地，所述空氣為干燥空氣。
[0009]優(yōu)選地，所述放氣閥設(shè)置為可調(diào)節(jié)放氣閥。
[0010]優(yōu)選地，該放氣系統(tǒng)還包括:引導(dǎo)管，所述引導(dǎo)管的一端連通于所述放氣閥，另一端將沖入的氣體引導(dǎo)至所述緩沖板上。
[0011]通過(guò)上述實(shí)施方式，本發(fā)明的放氣系統(tǒng)可以選擇性地實(shí)現(xiàn)快速放氣，空氣通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)的放氣閥進(jìn)入鎖室，充分調(diào)節(jié)這個(gè)放氣閥，就可以在不破壞基片的前提下快速地把系統(tǒng)的氣壓回復(fù)到大氣狀態(tài)。放氣閥直接安裝在蓋板上，它把充入的氣體直接引導(dǎo)到緩沖板上，緩沖板固定在蓋板的內(nèi)側(cè)，它的作用是把空氣均勻地分布在真空室的每一個(gè)室壁上。
[0012]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0014]圖1是說(shuō)明本發(fā)明的放氣系統(tǒng)的【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0016]I放氣閥2緩沖板
[0017]3鎖室 4蓋板
[0018]5基片 6驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。

【具體實(shí)施方式】
[0019]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0020]在本發(fā)明中，在未作相反說(shuō)明的情況下，使用的方位詞如“上、下、左、右”通常是指附圖所述的上下左右。“內(nèi)、外”是指具體輪廓上的內(nèi)與外?！斑h(yuǎn)、近”是指與某個(gè)部件相對(duì)的遠(yuǎn)近。
[0021]本發(fā)明提供一種放氣系統(tǒng)，該放氣系統(tǒng)包括:放氣閥1、緩沖板2、鎖室3以及蓋板4，其中，所述蓋板4用于封閉所述鎖室3，所述放氣閥I貫穿所述蓋板4并能夠控制打開(kāi)或關(guān)閉；所述緩沖板2固接于所述鎖室3的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥I沖入的氣體。
[0022]通過(guò)上述實(shí)施方式，本發(fā)明的放氣系統(tǒng)可以選擇性地實(shí)現(xiàn)快速放氣，空氣通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)的放氣閥I進(jìn)入鎖室，充分調(diào)節(jié)這個(gè)放氣閥1，就可以在不破壞基片5的前提下快速地把系統(tǒng)的氣壓回復(fù)到大氣狀態(tài)。放氣閥I直接安裝在蓋板4上，它把充入的氣體直接引導(dǎo)到緩沖板2上，緩沖板2固定在蓋板4的內(nèi)側(cè)，它的作用是把空氣均勻地分布在鎖室3的每一個(gè)室壁上。
[0023]以下結(jié)合附圖1對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，在本發(fā)明中，為了能夠盡量的避免基片5的損壞，我們通過(guò)以下方式來(lái)更好地實(shí)現(xiàn)。
[0024]在本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】中，在生產(chǎn)過(guò)程中，由于有抽真空和放氣的過(guò)程，但是，對(duì)于放入的氣，由于不確定性，很有可能放入了污染性的氣體，對(duì)產(chǎn)品的成型有很大的影響，為了克服這個(gè)問(wèn)題，該放氣系統(tǒng)還包括:過(guò)濾器，所述過(guò)濾器設(shè)置于所述放氣閥I中，過(guò)濾器保證了空氣中沒(méi)有微小顆粒。
[0025]在該種實(shí)施方式中，為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的宗旨，實(shí)現(xiàn)將空氣均勻地分布在鎖室3中，所述放氣閥I設(shè)置為多個(gè)，且多個(gè)所述放氣閥I均勻分布在所述鎖室3的外表面上。
[0026]在該種實(shí)施方式中，該放氣系統(tǒng)包括:儲(chǔ)氣罐，所述儲(chǔ)氣罐中的空氣能夠通過(guò)所述放氣閥I進(jìn)入所述鎖室3中，通過(guò)上述的實(shí)施方式，在本發(fā)明中，可以銅鼓哦在儲(chǔ)氣罐中防止干燥的空氣，這樣當(dāng)氣體進(jìn)入的時(shí)候，一方面可以減小內(nèi)外的壓差，另一方面也避免潮濕空氣的進(jìn)入，影響到本發(fā)明中的基片5的生產(chǎn)。
[0027]在該種實(shí)施方式中，為了實(shí)現(xiàn)上述的功能，所述空氣為干燥空氣，也可以防止放氣閥I接觸潮濕空氣后靈明度受到影響。
[0028]在本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】中，所述放氣閥I設(shè)置為可調(diào)節(jié)放氣閥，在該種放氣閥I下可以調(diào)節(jié)充入氣體的速度，從而更加方便操作者的操作，操作者可以根據(jù)閥門(mén)的大小來(lái)控制沖入的氣體。
[0029]在該種實(shí)施方式中，該放氣系統(tǒng)還包括:引導(dǎo)管(未在附圖1中進(jìn)行標(biāo)注，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以通過(guò)描述得到具體結(jié)構(gòu))，所述引導(dǎo)管的一端連通于所述放氣閥1，另一端將沖入的氣體引導(dǎo)至所述緩沖板2上，引導(dǎo)管的設(shè)置，使得本發(fā)明的氣體更容易分配均勻。
[0030]在本發(fā)明的使用方法中:
[0031]首先，本發(fā)明中的放氣閥僅用很小的橫截面導(dǎo)入空氣(軟放氣)，當(dāng)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間以后，開(kāi)放大放氣閥I的截面使室體快速回復(fù)到大氣狀態(tài)，這種逐步張開(kāi)放氣閥I的管路橫截面的動(dòng)作是通過(guò)依次打開(kāi)多級(jí)控制閥來(lái)實(shí)現(xiàn)的，這樣就可以找到快速放氣而不打破基片的最好途徑，當(dāng)然在本發(fā)明中，還通過(guò)緩沖板2的設(shè)計(jì)使得本發(fā)明的放氣系統(tǒng)可以將沖入的氣體直接引導(dǎo)到緩沖板2上，把空氣均勻地分布在鎖室3中，放氣系統(tǒng)中的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)6帶動(dòng)基片5進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在基片5的上方都設(shè)置有緩沖板2以止擋沖入的空氣，從而避免了基片5的損壞。
[0032]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0033]另外需要說(shuō)明的是，在上述【具體實(shí)施方式】中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本發(fā)明對(duì)各種可能的組合方式不再另行說(shuō)明。
[0034]此外，本發(fā)明的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開(kāi)的內(nèi)容。
【權(quán)利要求】
1.一種放氣系統(tǒng)，其特征在于，該放氣系統(tǒng)包括:放氣閥(1)、緩沖板(2)、鎖室(3)以及蓋板(4)，其中，所述蓋板(4)用于封閉所述鎖室(3)，所述放氣閥(1)貫穿所述蓋板(4)并能夠控制打開(kāi)或關(guān)閉；所述緩沖板(2)固接于所述鎖室(3)的內(nèi)部，且止擋所述放氣閥(1)沖入的氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，該放氣系統(tǒng)還包括:過(guò)濾器，所述過(guò)濾器設(shè)置于所述放氣閥(1)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，所述放氣閥(1)設(shè)置為多個(gè)，且多個(gè)所述放氣閥(1)均勻分布在所述鎖室(3)的外表面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，該放氣系統(tǒng)包括:儲(chǔ)氣罐，所述儲(chǔ)氣罐中的空氣能夠通過(guò)所述放氣閥(1)進(jìn)入所述鎖室(3)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，所述空氣為干燥空氣。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，所述放氣閥(1)設(shè)置為可調(diào)節(jié)放氣閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放氣系統(tǒng)，其特征在于，該放氣系統(tǒng)還包括:引導(dǎo)管，所述引導(dǎo)管的一端連通于所述放氣閥(1)，另一端將沖入的氣體引導(dǎo)至所述緩沖板(2)上。
【文檔編號(hào)】F16K24/04GK104455617SQ201410629532
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月10日
【發(fā)明者】薛輝, 任俊春, 金海濤 申請(qǐng)人:蕪湖真空科技有限公司