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慣性傳感器和慣性測(cè)量裝置的制作方法

文檔序號(hào):39685080發(fā)布日期:2024-10-18 13:37閱讀:38來(lái)源:國(guó)知局
慣性傳感器和慣性測(cè)量裝置的制作方法

本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測(cè)量裝置。


背景技術(shù):

1、近年來(lái),開(kāi)發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system:微電子機(jī)械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器,在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載有檢測(cè)z軸方向的加速度的加速度傳感器。

2、專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器具備:第一導(dǎo)電部、被保持在第一導(dǎo)電部的第一電極、第二導(dǎo)電部、以及被保持在第二導(dǎo)電部的第二電極,第一電極的高度方向的長(zhǎng)度比第一導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短,第二電極的高度方向的長(zhǎng)度比第二導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短。

3、專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2021-32819號(hào)公報(bào)

4、在對(duì)這樣的加速度傳感器施加了過(guò)度的加速度的情況下,有可能在第一導(dǎo)電部、第一電極等mems結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生龜裂或缺口等。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的一個(gè)方案的慣性傳感器具有:基板;蓋,與所述基板對(duì)置設(shè)置;可動(dòng)框架,設(shè)置在所述基板與所述蓋之間;梳齒可動(dòng)電極,設(shè)置在所述可動(dòng)框架;以及突起,設(shè)置在所述基板或所述蓋中的至少一方,俯視時(shí)與所述梳齒可動(dòng)電極的前端或根部重疊。

2、本申請(qǐng)的一個(gè)方式的慣性測(cè)量裝置具備上述記載的慣性傳感器。



技術(shù)特征:

1.一種慣性傳感器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的慣性傳感器,其中,

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器,其中,

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器,其中,

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器,其中,

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器,其中,

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器,其中,

14.一種慣性測(cè)量裝置,其特征在于,


技術(shù)總結(jié)
提供慣性傳感器和慣性測(cè)量裝置,能夠降低由過(guò)度的加速度導(dǎo)致的MEMS結(jié)構(gòu)的破損。慣性傳感器(100)包括:支承基板(1),作為基板;蓋(2),與支承基板(1)對(duì)置設(shè)置;可動(dòng)框架(21),設(shè)置在支承基板(1)與蓋(2)之間;第一梳齒可動(dòng)電極(22a)和/或第二梳齒可動(dòng)電極(22b),作為設(shè)置在可動(dòng)框架(21)的梳齒可動(dòng)電極;以及突起(31)和/或突起(30),設(shè)置在支承基板(1)或蓋(2)中的至少一方,俯視時(shí)與第一梳齒可動(dòng)電極(22a)和/或第二梳齒可動(dòng)電極(22b)的前端或根部重疊。

技術(shù)研發(fā)人員:小林知永
受保護(hù)的技術(shù)使用者:精工愛(ài)普生株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/17
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