技術(shù)編號：39685080
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測量裝置。背景技術(shù)、近年來，開發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system：微電子機械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器，在專利文獻中記載有檢測z軸方向的加速度的加速度傳感器。、專利文獻記載的加速度傳感器具備：第一導電部、被保持在第一導電部的第一電極、第二導電部、以及被保持在第二導電部的第二電極，第一電極的高度方向的長度比第一導電部的高度方向的長度短，第二電極的高度方向的長度比第二導電部的高度方向的...
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