本發(fā)明涉及非硅離型膜，具體涉及一種非硅離型膜及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、離型膜為具備特殊非粘性表面的薄膜材料，由基材和涂層構(gòu)成，目前常用的基材材料為聚乙烯、聚酯等塑料薄膜，涂層賦予薄膜非粘或低粘屬性，目前常用的涂層材料為硅油。但是以硅油作為涂層材料制備的離型膜存在環(huán)保性和高溫穩(wěn)定性差的缺點。

2、非硅離型膜是一種具有特殊功能的薄膜材料，與傳統(tǒng)的硅基離型膜不同，非硅離型膜的涂層材料中不含硅，環(huán)保性好，而且非硅離型膜具有優(yōu)異的透明度、化學(xué)穩(wěn)定性、高溫穩(wěn)定性，還能夠在高溫和強酸堿環(huán)境下發(fā)揮優(yōu)異的離型效果。非硅離型膜主要用于半導(dǎo)體、光電子、微電子等領(lǐng)域中微小結(jié)構(gòu)和器件的制備中，在半導(dǎo)體制備中，非硅離型膜主要用于制備光刻掩模、光刻膠、電子束曝光掩模等，因此，非硅離型膜具有重要的應(yīng)用價值。

3、制備非硅離型膜的方法主要有溶液浸漬法、氣相沉積法、自組裝法。其中，溶液浸漬法為通過溶液中的前體物質(zhì)在基材表面沉積形成膜層；氣相沉積法為利用氣體中的前體分子在基材表面沉積形成薄膜；自組裝法為利用分子間的相互作用在基材表面自發(fā)形成膜層。其中，溶液浸漬法為最簡單且使用最多的方法。

4、溶液浸漬法的方法為涂層材料溶解在溶劑中形成涂層材料溶液，然后通過旋涂、噴涂或浸漬等工藝將涂層材料溶液均勻地涂布到基材表面，其中，常用的溶劑為水或醇類、酯類、酮類、醚類等有機溶劑?？紤]到有機溶劑的毒性大，且易揮發(fā)，對環(huán)境造成污染，隨著人們對環(huán)境保護與可持續(xù)發(fā)展意識的提高，越來越多的選擇了將水作為涂層材料的溶劑。

5、但是在將水作為涂層材料的溶劑時，發(fā)現(xiàn)了以下問題：相比較于有機溶劑，以水作為溶劑制備的涂層材料溶液，粘度大，為了降低粘度，一般會采用降低涂層材料的固含量的方式，從而會導(dǎo)致制備的非硅離型膜的離型力過小，耐久性變差；相比較于有機溶劑，以水作為溶劑制備的涂層材料溶液，干燥速度慢，容易出現(xiàn)干燥不均勻的情況，從而會導(dǎo)致制備的非硅離型膜的透明度下降。

6、為了解決上述問題，目前最常用的方法為向涂層材料中加入丙烯酸酯樹脂，丙烯酸酯樹脂能夠提高涂層材料溶液的固含量，并提高干燥溫度和增大干燥風(fēng)量，但是丙烯酸酯樹脂的耐久性和附著力差，因此，雖然能夠從一定程度上改善非硅離型膜所存在的問題，但是提高作用不明顯，而提高干燥溫度和增大干燥風(fēng)量，會導(dǎo)致離型膜在干燥過程中表面出現(xiàn)龜裂。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種非硅離型膜及其制備方法，以水作為涂層材料的溶劑，制備的非硅離型膜的離型力適中，耐久性好，透明度高，表面不出現(xiàn)龜裂。

2、為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明采取的技術(shù)方案如下：

3、一種非硅離型膜的制備方法，由以下步驟組成：制備涂層材料溶液，預(yù)處理，熔融擠出，定型；

4、所述制備涂層材料溶液，由以下步驟組成：制備降粘劑，制備交聯(lián)微球，混合；

5、所述制備降粘劑，由以下步驟組成：制備納米淀粉晶，包覆；

6、所述制備納米淀粉晶，將玉米淀粉、去離子水混合后，加熱至沸騰，保持20-25min，然后降溫至10-12℃，向其中滴加無水乙醇，滴加結(jié)束后以100-200rpm的攪拌速度攪拌20-30min，靜置40-50min，以9000-10000rpm的轉(zhuǎn)速離心9-10min，取沉淀物，使用去離子水清洗沉淀物3-5次，在60-70℃下真空烘干，得到納米淀粉晶；

7、所述制備納米淀粉晶中，玉米淀粉、去離子水、無水乙醇的質(zhì)量體積比為2000-2400g:20-24l:20-26l；

8、所述無水乙醇的滴加速度為90-100ml/min；

9、所述包覆，取納米淀粉晶、單寧酸、第一份去離子水混合后，在室溫下以400-500rpm的轉(zhuǎn)速攪拌40-50min，滴加甲醛水溶液，滴加結(jié)束后繼續(xù)攪拌40-50min，以9000-10000rpm的轉(zhuǎn)速離心9-10min，取沉淀物，向沉淀物中加入l-賴氨酸、乙二胺、第二份去離子水，在70-75℃下以200-300rpm的轉(zhuǎn)速攪拌4-5h，以9000-10000rpm的轉(zhuǎn)速離心9-10min，取沉淀物，使用去離子水清洗沉淀物3-5次，在-40℃至-35℃下冷凍干燥25-30h，得到降粘劑；

10、所述包覆中，納米淀粉晶、單寧酸、第一份去離子水、甲醛水溶液、l-賴氨酸、乙二胺、第二份去離子水的質(zhì)量體積比為400-460g:600-700g:70-80l:100-120ml:50-60g:40-50g:60-70l；

11、所述甲醛水溶液的濃度為37wt%；

12、所述甲醛水溶液的滴加速度為20-30ml/min；

13、所述制備交聯(lián)微球，將甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、n-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去離子水、乙二醇單甲醚混合后，在氮氣的保護下，在室溫下以200-300rpm的轉(zhuǎn)速攪拌30-40min，加入偶氮二異丁腈，在70-75℃下以200-300rpm的轉(zhuǎn)速攪拌16-18h，以4000-5000rpm的轉(zhuǎn)速離心4-5min，取沉淀物，使用去離子水清洗沉淀物3-5次，在-40℃至-35℃下冷凍干燥30-35h，得到交聯(lián)微球；

14、所述制備交聯(lián)微球中，甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸十二酯、n-乙烯基吡咯烷酮、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙烯吡咯烷酮、去離子水、乙二醇單甲醚、偶氮二異丁腈的質(zhì)量體積比為1000-1200g:360-400g:600-800g:120-140g:120-140g:26-28l:4-6l:24-26g；

15、所述混合，將甲基丙烯酸磺酸鈉、第一份去離子水混合后，在氮氣的保護下，在室溫下以5000-6000rpm的轉(zhuǎn)速高剪切4-5min，加入甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羥乙酯混合后，在氮氣的保護下，在70-75℃下以5000-6000rpm的轉(zhuǎn)速高剪切10-15min，加入三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯，繼續(xù)在70-75℃下以5000-6000rpm的轉(zhuǎn)速高剪切10-15min，加入過硫酸鉀，繼續(xù)在70-75℃下以5000-6000rpm的轉(zhuǎn)速高剪切3-3.5h，加入第二份去離子水、降粘劑、交聯(lián)微球、水溶性抗靜電劑，繼續(xù)在70-75℃下以5000-6000rpm的轉(zhuǎn)速高剪切15min，得到涂層材料溶液；

16、所述混合中，甲基丙烯酸磺酸鈉、第一份去離子水、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羥乙酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、過硫酸鉀、第二份去離子水、降粘劑、交聯(lián)微球、水溶性抗靜電劑的質(zhì)量體積比為520-560g:36-38l:6000-6800g:3200-4000g:1120-1280g:680-800g:400-440g:200-240g:20-20.8l:960-1080g:1400-1600g:600-640g；

17、所述水溶性抗靜電劑為默尼化工科技（上海）有限公司的mi00-10t水溶性抗靜電劑；

18、所述預(yù)處理，使用130-135℃的熱空氣對聚酯切片預(yù)結(jié)晶20-25min，然后在155-160℃下干燥20-25min，在145-150℃下干燥5.5-6.5h，得到預(yù)處理后的聚酯切片；

19、所述熔融擠出，將預(yù)處理后的聚酯切片分為3份，作為a層原料、b層原料、c層原料，分別投入各自對應(yīng)的擠出機中，控制主擠出機和輔擠出機的加熱區(qū)溫度為275-285℃，經(jīng)熔融擠出后，在鑄片輥表面冷卻固化為鑄片；

20、所述熔融擠出中，a層原料、b層原料、c層原料的質(zhì)量比為12-15:65-70:12-15；

21、所述定型，在110-120℃下進行預(yù)熱后，在120-130℃下對鑄片進行縱向拉伸，控制縱向拉伸的倍率為3.5-4，得到基膜；將涂層材料溶液涂布于基膜的一個表面，控制涂布厚度為4-5μm，得到涂布后的基膜；在110-120℃下進行預(yù)熱后，在120-130℃下對涂布后的基膜進行橫向拉伸，控制橫向拉伸的倍率為4-4.2，然后在230-240℃下熱定型3-5s，得到非硅離型膜。

22、一種由前述的制備方法制備的非硅離型膜。

23、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為：

24、（1）本發(fā)明的非硅離型膜的制備方法，以水作為涂層材料的溶劑，環(huán)保性強，對環(huán)境造成的污染??；

25、（2）本發(fā)明的非硅離型膜，離型力適中，離型力為27-30g/in，殘余接著率為94-95%；

26、（3）本發(fā)明的非硅離型膜，耐久性好，70℃×20h老化離型力為29-31g/in，70℃×20h老化殘余接著率為90-92%；

27、（4）本發(fā)明的非硅離型膜，透明度高，透光率為89.0-89.4%，霧度為2.7-3.0%；

28、（5）本發(fā)明的非硅離型膜，表面不出現(xiàn)龜裂。