專利名稱：紅外窗口片的雙面加工工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)及紅外光學(xué)儀器用紅外窗口片，尤其是一種紅外窗口 片的雙面加工工藝。
背景技術(shù)：
鍺、硅、硒化鋅是透紅外光的幾種特殊材料，其主要用在半導(dǎo)體行業(yè)及各種紅外光 學(xué)儀器上，例如各種紅外測溫儀，各種紅外熱成像儀，夜視儀及大功率二氧化碳激光器上。 廣泛應(yīng)用于高端科技、國防、航空等領(lǐng)域，具有極重要的作用。如果客戶需要雙平片鏡片，按照以往的拋光工藝，我們是要分兩次拋光，即正面拋 好后再拋反面。按照這樣的方法進(jìn)行生產(chǎn)，不但效率低，而且在拋另一面的時(shí)候很容易損傷 已拋好的那一面，而且平片的平行度根本就無法得到保證。有經(jīng)驗(yàn)的工人可能平行度控制 的好一點(diǎn)，經(jīng)驗(yàn)少的工人這方面就欠缺的多了，所以另外尋找一種新的拋光方法已經(jīng)刻不容緩。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服以上缺陷，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提出一種高效研磨拋光又能保 證產(chǎn)品平行度的紅外窗口片的雙面加工工藝。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為一種紅外窗口片的雙面加工工藝，采用雙面研磨機(jī) 進(jìn)行研磨，采用雙面拋光機(jī)拋光，先進(jìn)行研磨后進(jìn)行拋光，該工藝步驟如下精磨，把紅外窗口片放于游輪中，然后在鑄鐵平模上進(jìn)行初級研磨，達(dá)到質(zhì)量要求 后再進(jìn)行精磨，精磨時(shí)采用特制盤，用精細(xì)磨料進(jìn)行研磨，在研磨過程中不斷地更換位置， 使紅外窗口片在研磨中調(diào)整自身的精度；粗拋，把精磨好的紅外窗口片用氧化鉛在拋光盤上進(jìn)行粗磨，使得紅外窗口片表 面達(dá)到要求精度；精拋，把粗拋合格的紅外窗口片用柏油、松香合成材料制成的拋光盤進(jìn)行精拋，通 過精確修正，然后用拋光粉對紅外窗口片表面進(jìn)行拋光。根據(jù)本發(fā)明的另外一個(gè)實(shí)施例，紅外窗口片的雙面加工工藝進(jìn)一步包括所述粗拋 后紅外窗口片質(zhì)量指標(biāo)為光潔度60/40，光圈面形誤差為4個(gè)圈，平行度< 10"。根據(jù)本發(fā)明的另外一個(gè)實(shí)施例，紅外窗口片的雙面加工工藝進(jìn)一步包括所述精拋 后紅外窗口片紙漿指標(biāo)為光潔度40/20，光圈面形誤差為0. 5 1個(gè)圈，平行度< 5〃。根據(jù)本發(fā)明的另外一個(gè)實(shí)施例，紅外窗口片的雙面加工工藝進(jìn)一步包括在精拋過 程中，紅外窗口片表面溫度控制在20 35°C，紅外窗口片轉(zhuǎn)動(dòng)速度為10 20r/min，紅外 窗口片的表面壓力為0. 3 0. 5Mpa。根據(jù)本發(fā)明的另外一個(gè)實(shí)施例，紅外窗口片的雙面加工工藝進(jìn)一步包括采用行星 式研磨拋光機(jī)進(jìn)行雙面研磨拋光后，再放到單面拋光機(jī)進(jìn)行單面精拋光。本發(fā)明的有益效果是通過本發(fā)明能夠明顯提高紅外窗口片的平行度，節(jié)省了工序，降低了操作難度和勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了產(chǎn)量和效率，克服了認(rèn)為操作因素，便于工藝的調(diào) 整和工藝的穩(wěn)定性。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在結(jié)合附圖
和優(yōu)選實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的 示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。一種紅外窗口片的雙面加工工藝，采用雙面研磨機(jī)進(jìn)行研磨，采用拋光機(jī)拋光，先 進(jìn)行研磨后進(jìn)行拋光，該工藝步驟如下精磨，把紅外窗口片放于游輪中，然后在鑄鐵手模上進(jìn)行初級研磨，達(dá)到質(zhì)量要求 后再進(jìn)行精磨，精磨時(shí)采用手盤，用精細(xì)磨料進(jìn)行研磨，在研磨過程中不斷地更換位置，使 紅外窗口片在研磨中調(diào)整自身的精度；粗拋，把精磨好的紅外窗口片用氧化鉛在拋光盤上進(jìn)行粗磨，使 得紅外窗口片表 面達(dá)到要求精度，所述粗拋后紅外窗口片質(zhì)量指標(biāo)為光潔度60/40，光圈面形誤差為4個(gè) 圈，平行度< 10"。精拋，把粗拋合格的紅外窗口片用柏油、松香合成材料制成的拋光盤進(jìn)行精拋，通 過精確修正，然后用拋光粉對紅外窗口片表面進(jìn)行拋光。在精拋過程中，紅外窗口片表面 溫度控制在20 35 °C，紅外窗口片轉(zhuǎn)動(dòng)速度為10 20r/min，紅外窗口片的表面壓力為 0. 3 0. 5Mpa,而精拋后紅外窗口片質(zhì)量指標(biāo)為光潔度40/20，光圈面形誤差為0. 5 1個(gè) 圈，平行度< 5"。本發(fā)明優(yōu)選采用行星式研磨拋光機(jī)進(jìn)行雙面研磨拋光后，再放到單面拋光機(jī)進(jìn)行 單面精拋光。以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完 全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù) 性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求
一種紅外窗口片的雙面加工工藝，采用雙面研磨機(jī)進(jìn)行研磨，采用雙面拋光機(jī)拋光，先進(jìn)行研磨后進(jìn)行拋光，其特征在于，該工藝步驟如下精磨，把紅外窗口片放于游輪中，然后在鑄鐵平模上進(jìn)行初級研磨，初級研磨時(shí)間為25分鐘～35分鐘，通過檢測紅外窗口片達(dá)到質(zhì)量要求后再進(jìn)行精磨，精磨時(shí)采用特制平盤，用精細(xì)磨料進(jìn)行研磨，在研磨過程中不斷地更換位置，使紅外窗口片在研磨過程中通過不斷的調(diào)整，達(dá)到精度；粗拋，把精磨好的紅外窗口片用氧化鉛在拋光盤上進(jìn)行粗磨，使得紅外窗口片表面達(dá)到要求精度；精拋，把粗拋合格的紅外窗口片用柏油、松香合成材料制成的拋光盤進(jìn)行精拋，該拋光盤需通過精確修正，然后用特制拋光粉對紅外窗口片表面進(jìn)行拋光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外窗口片的雙面拋光工藝，其特征在于，所述粗拋后紅外 窗口片質(zhì)量指標(biāo)為光潔度60/40，光圈面形誤差為4個(gè)圈，平行度< 10"。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外窗口片的雙面加工工藝，其特征在于，所述精拋后紅外 窗口片質(zhì)量指標(biāo)為光潔度40/20，光圈面形誤差為0. 5 1個(gè)圈，平行度< 5"。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外窗口片的雙面加工工藝，其特征在于，在精拋過程中，紅 外窗口片表面溫度控制在20 35°C，紅外窗口片轉(zhuǎn)動(dòng)速度為10 20r/min，紅外窗口片的 表面壓力為0. 3 0. 5Mpa。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外窗口片的雙面加工工藝，其特征在于，采用行星式研磨 拋光機(jī)進(jìn)行雙面研磨拋光后，再放到單面拋光機(jī)進(jìn)行單面精拋光。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種紅外窗口片的雙面加工工藝，采用雙面研磨機(jī)進(jìn)行研磨，采用雙面拋光機(jī)拋光，先進(jìn)行研磨后進(jìn)行拋光，該工藝步驟如下把紅外窗口片放于游輪中，然后在鑄鐵平模上進(jìn)行初級研磨，檢測紅外窗口片達(dá)到質(zhì)量要求后再進(jìn)行精磨，精磨時(shí)采用特種平盤，用精細(xì)磨料進(jìn)行研磨，在研磨過程中不斷地更換位置；把精磨好的紅外窗口片在聚胺酯拋光盤上進(jìn)行粗拋，使得紅外窗口片表面達(dá)到要求精度；把粗拋合格的紅外窗口片用柏油、松香合成材料制成的拋光盤進(jìn)行精拋，通過精確修正來保證所加工產(chǎn)品的質(zhì)量。本工藝能使紅外窗口片提高光潔度質(zhì)量，提高平行度質(zhì)量，提高加工效率。
文檔編號B24B29/02GK101829946SQ20101018578
公開日2010年9月15日 申請日期2010年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月28日
發(fā)明者李爽, 陳國清 申請人:江蘇南晶紅外光學(xué)儀器有限公司