專利名稱：絲網(wǎng)印刷裝置和絲網(wǎng)印刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種絲網(wǎng)印刷裝置和一種絲網(wǎng)印刷方法，用于用焊糊或類似導(dǎo)電膏劑的膏劑來印刷工件，工件例如是放置在承載器上的單片基板。
背景技術(shù)：
到目前為止，在電子元件的制造領(lǐng)域中，已經(jīng)廣泛使用絲網(wǎng)印刷作為使基板的上表面印刷有焊糊和類似導(dǎo)電膏劑的膏劑的方法。當(dāng)要印刷的基板對應(yīng)于小尺寸、分開的單片基板時，這些多個單片基板在放置于操作承載器上的同時被印刷。經(jīng)常用于這種絲網(wǎng)印刷的承載器具有如下構(gòu)造矩形的板狀構(gòu)件具有用于保持基板和工件的工件安置部(參見專利文獻1)。在專利文獻1描述的實施例中，單片基板嵌合在設(shè)置于承載器上的相應(yīng)工件安裝部中，各單片基板的兩個相對的拐角用定位銷夾住，從而各單片基板被定位在每個工件安裝部內(nèi)。通過一個操作使以上述方式保持在承載器上且單獨定位的多個單片基板印刷有膏劑?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 JP-A-2008-142949

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題隨著近來在移動電子裝置(如便攜式電話)的小型化和完善度方面的進展，與以往相比，已經(jīng)追求待安裝元件在形狀上更小并以更高的密度封裝。為此，諸如電子裝置中所用的單片基板的工件上的封裝節(jié)距也變得更小，并且在絲網(wǎng)印刷的場合已經(jīng)開始要求高度的定位精度。然而，在包括前述專利文獻的實施例的現(xiàn)有技術(shù)中，由機械部分執(zhí)行定位操作的技術(shù)，如用銷夾住單片基板的技術(shù)，是主要的，因此可以實現(xiàn)的定位精度有限。出于這些原因，當(dāng)需要高度的定位精度的類型的工件經(jīng)受現(xiàn)有技術(shù)的絲網(wǎng)印刷時，已經(jīng)難以保證所需的印刷位置精度。因此，當(dāng)需要高定位精度的類型的工件作為對象時，本發(fā)明旨在提供一種能夠確保所需的印刷位置精度的絲網(wǎng)印刷裝置和絲網(wǎng)印刷方法。解決問題的手段本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置對應(yīng)于這樣一種絲網(wǎng)印刷裝置，其使位于承載器上的多個工件順序地、單獨地從掩模板的下表面?zhèn)扰c掩模板接觸，并使刮板在供應(yīng)有膏劑的掩模板上執(zhí)行滑動動作，從而使工件印刷有膏劑，該印刷裝置包括空穴部，設(shè)置成從掩模板的下表面向下突出，并具有分配給單一工件的印刷圖案；承載器運送機構(gòu)，將工件連同承載器一起送入絲網(wǎng)印刷機構(gòu)的印刷位置，以及將印刷好的工件連同承載器一起送出印刷位置； 和定位部分，將被保持在設(shè)置于掩模板下方的位置處的承載器上的工件單獨地定位到空穴部。本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷方法對應(yīng)于這樣一種絲網(wǎng)印刷方法，其用于通過使被保持在承載器上的多個工件順序地、單獨地與具有空穴部的掩模板的下表面接觸而使所述多個工件印刷有膏劑，空穴部從掩模板的下表面向下突出并具有分配給各單一工件的印刷圖案，該方法包括承載器送入工序，將工件連同承載器一起送入絲網(wǎng)印刷機構(gòu)的印刷位置；定位工序，將置于承載器上的工件單獨地定位到空穴部；工件接觸工序，使工件與空穴部的下表面接觸；印刷工序，使刮板在供應(yīng)有膏劑的掩模板上滑動，從而通過印刷圖案使工件印刷有膏劑；和承載器送出工序，將印刷好的工件連同承載器一起運離印刷位置。本發(fā)明的優(yōu)點關(guān)于保持在承載器上的多個工件的絲網(wǎng)印刷，在掩模板上設(shè)置具有分配給各單一工件的印刷圖案的空穴部。由承載器保持的單一工件單獨地定位到空穴部并被順序地印刷。從而，能夠消除位置誤差的出現(xiàn)機率，當(dāng)多個工件通過一個操作定位到掩模板時，因各工件的位置上的不同，可能出現(xiàn)這種位置誤差。當(dāng)需要高度位置精度的類型的工件作為印刷對象時，可以確保所需的印刷位置精度。


圖1是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置的側(cè)視圖。圖2是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置的正視圖。圖3(a)和(b)是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置的部分平面圖。圖4(a)和(b)是用在本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置中的承載器的結(jié)構(gòu)的說明圖。圖5是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置的部分橫截面圖。圖6是示出本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)造的部分圖。圖7(a)、(b)、(C)和(d)是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷方法的工序的說明圖。圖8(a)、(b)和(C)是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷方法的工序的說明圖。
具體實施例方式現(xiàn)在參照附圖描述本發(fā)明的實施例。首先，通過參照圖l、2、3(a)和3 (b)，描述絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)。絲網(wǎng)印刷裝置具有使被保持在承載器上且作為工件的多個單片基板的上表面印刷有焊糊和類似導(dǎo)電膏劑的元件連結(jié)膏劑的功能。在圖1中，絲網(wǎng)印刷裝置構(gòu)造成使得絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12位于承載器定位部1上方的提升位置。承載器定位部1這樣來構(gòu)建，即，將Y軸工作臺2、X軸工作臺3和θ軸工作臺 4堆成層，并在位于θ軸工作臺4的上表面上的水平基臺板如的上表面?zhèn)葘⒌谝?Z軸工作臺5和第二 Z軸工作臺6組合在一起。第一 Z軸工作臺5具有水平基臺板5a，采用升降電機恥作為驅(qū)動源的Z軸升降機構(gòu)使基臺板如上升或下降。一對垂直框架k直立地設(shè)置在基臺板fe上，構(gòu)成承載器運送機構(gòu)8的兩個運送軌8a由各垂直框架k的上端保持。運送軌8a沿著承載器的運送方向(即，X方向垂直于圖1紙面的方向)平行鋪設(shè)。設(shè)置有待印刷的多個單片基板11的承載器10的兩端在由位于運送軌8a上的運送傳送帶支撐的同時被傳送。通過致動第一 Z軸工作臺5，由承載器運送機構(gòu)8保持的承載器10可以連同運送軌8a—起相對于絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12 (將在后面描述)提升和下降。如圖2、3(a)和3 (b)所示，承載器運送機構(gòu)8延伸至上游側(cè)(圖2、3(a)、和圖3(b)的左側(cè))和下游側(cè)。從上游側(cè) (參照圖3(b)所示的箭頭“a”)送入絲網(wǎng)印刷裝置的承載器10由承載器運送機構(gòu)8運送， 并由承載器定位部1定位在絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12上的印刷位置。絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12印刷好的承載器10由承載器運送機構(gòu)8運送到下游側(cè)。具體地，承載器運送機構(gòu)8將單片基板11連同承載器10 —起送至絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12上的相應(yīng)印刷位置，并將印刷好的單片基板11連同承載器10 —起從印刷位置送出。第二 Z軸工作臺6具有置于承載器運送機構(gòu)8與基臺板fe之間的水平基臺板6a。 基臺板6a通過使用升降電機6b作為驅(qū)動源的Z軸升降機構(gòu)提升和下降。下接收部7設(shè)置在基臺板6a的上表面上。多個接觸構(gòu)件7a布置在下接收部7的上表面上，以與承載器10 上單片基板11的布局相對應(yīng)。通過致動第二 Z軸工作臺6，接觸構(gòu)件7a與下接收部7—起被提升。上面的接觸構(gòu)件7a與被保持在承載器10上的各單片基板11的下表面接觸，從而使單片基板從承載器10升起。真空抽吸孔(圖中省略)設(shè)置在接觸構(gòu)件7a的上表面中。 單片基板11由接觸構(gòu)件7a通過抽吸而保持，從而保持單片基板11的水平位置。夾緊機構(gòu)9位于承載器運送機構(gòu)8的上表面上。夾緊機構(gòu)9具有沿著水平方向?qū)ΨQ布置的兩個夾緊構(gòu)件9a。驅(qū)動機構(gòu)9b使其中一個夾緊構(gòu)件9a在Y方向上前進或后退， 從而夾緊并固定承載器10的兩側(cè)(還參見圖3(a)和(b))。現(xiàn)在參照圖4(a)和(b)描述作為印刷對象的單片基板11和用于處理單片基板11 的承載器10。如圖4(a)所示，通過使長方形的金屬板的兩端沿向下方向彎曲，承載器10被制作成承載器運送機構(gòu)8能夠執(zhí)行運送的形狀。單獨地安裝有單片基板11的多個工件安裝部IOa以預(yù)定的布局0X5的矩陣)布置在承載器10上。單片基板11是用于制造半導(dǎo)體封裝如BGA的小尺寸、矩形(正方形)的單片基板。為了在一個作業(yè)工序中將多個單片基板11作為印刷對象，單片基板11在保持分別位于形成在承載器10中的多個工件安裝部 IOa上的狀態(tài)下被處理。用于確定各單片基板11的位置的工件基準標記Ilm設(shè)置在每個單片基板11的對角位置。如圖4(b)所示，每個工件安裝部IOa形成為與每個單片基板11的平面形狀相當(dāng)?shù)姆叫涡螤睢Ｓ捎诿總€單片基板11的下表面由相應(yīng)的接觸構(gòu)件7a接收，因此工件安裝部 IOa的形狀形成為使得每個工件安裝部的底部具有孔10b。用于支撐每個單片基板11的下表面的工件支撐表面IOc沿著每個孔IOb的邊沿設(shè)置。單片基板11由各工件安裝部IOa以如下方式支撐每個單片基板11的下表面的邊緣由相應(yīng)的工件支撐表面IOc從下面支撐。現(xiàn)在描述位于承載器定位部1上方的提升位置的絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12。在圖1、2、3 (a) 和3(b)中，掩模板14在由掩模保持器(圖中省略)保持的掩模框架13中伸展?？昭ú?5 形成在掩模板14中，空穴部15的形狀形成為使得在掩模板的上表面中形成凹陷并在下表面上的對應(yīng)位置處形成向下的突出部。如圖3(a)和3(b)所示，空穴部15中形成有圖案孔 15a,圖案孔1 用于使每個單片基板11的印刷連接盤Ila印刷有膏劑。此外，用于確定各圖案孔15a的位置的一對掩?；鶞蕵擞汬m形成在掩模板14的下表面上、空穴部15附近的對角位置。如圖5所示，設(shè)置在掩模板14的空穴部15中的各圖案孔15a的位置對應(yīng)于為各單片基板11設(shè)置的每個印刷連接盤Ila上的膏劑印刷位置。多個圖案孔1 構(gòu)成用于用
5膏劑印刷各單片基板11的印刷圖案。具體地，分配給一個單片基板11的印刷圖案形成在空穴部15中。通過如下方式用膏劑對布置在承載器10上的多個單片基板11進行絲網(wǎng)印刷將單片基板11單獨地定位在空穴部15的相應(yīng)下表面上并順序使單片基板11與空穴部的相應(yīng)下表面接觸。首先，使位于承載器10的工件安裝部IOa上的單片基板11通過相應(yīng)的接觸構(gòu)件 7a從下表面?zhèn)壬仙?由箭頭“b”表示)。接觸構(gòu)件7a在單片基板與相應(yīng)的工件支撐表面 IOc分離的狀態(tài)下通過抽吸保持相應(yīng)的單片基板11，并固定單片基板11的水平位置。接下來，致動承載器定位部1，從而將待印刷的單片基板11水平地定位到空穴部15。進而，通過致動第一 Z軸工作臺5，提升單片基板11，從而使單片基板11與空穴部15的下表面接觸。要布置有多個單片基板11的承載器10構(gòu)造成具有工件安裝部10a，工件安裝部 IOa包括孔IOb和工件支撐表面10c，例如本實施例描述的那樣。此外，可以使用具有各種功能的承載器，例如具有從下面支撐單片基板11的功能的承載器10和具有固定每個單片基板的水平位置的功能的承載器10。當(dāng)承載器10本身具有接收功能和水平位置固定功能時，接觸構(gòu)件7a就變得不必要。刮板單元16設(shè)置在掩模板14上方的提升位置。刮板單元16構(gòu)造成，用于使一對對置的刮板19上升和下降的兩個刮板升降機構(gòu)18設(shè)置在水平板17上。通過致動刮板升降機構(gòu)18，使刮板19上升或下降，從而使其與掩模板14的上表面接觸。由刮板移動電機 20可旋轉(zhuǎn)地致動的進給螺桿21與固定到板17的下表面中的螺母22螺紋接合。通過致動刮板移動電機20，使刮板19連同板17 —起沿著Y方向水平移動。如圖2所示，導(dǎo)軌沈沿著Y方向(參見圖幻鋪設(shè)在設(shè)置于各垂直框架M上的各托架25上?？苫瑒拥厍逗系礁鲗?dǎo)軌沈的滑塊27聯(lián)接到板17的兩端。從而，刮板單元16能夠沿著Y方向滑動。在圖2中，導(dǎo)軌30沿著Y方向鋪設(shè)在各垂直框架M上。可滑動地嵌合到各導(dǎo)軌 30的滑塊31通過各托架29a聯(lián)接到頭X軸工作臺四。從而，頭X軸工作臺四能夠在Y方向(參見圖幻上滑動。通過由螺母33、進給螺桿32和可旋轉(zhuǎn)地致動進給螺桿32的頭移動電機(圖中省略)構(gòu)建的頭Y軸移動機構(gòu)觀，頭X軸工作臺四在Y方向(參見圖3)上水平移動。如圖1和2所示，頭X軸工作臺四裝備有照相機頭單元23。照相機頭單元23包括用于從上方捕獲由承載器10保持的單片基板11的圖像的工件識別照相機23a和用于從掩模板14的下表面捕獲掩模板14的圖像的掩模識別照相機23b。通過致動頭Y軸移動機構(gòu)觀和頭X軸工作臺四，使照相機頭單元23移動，從而使工件識別照相機23a和掩模識別照相機2 移動，以向掩模板14與承載器10之間的間隔前進。工件識別照相機23a捕獲形成在相應(yīng)單片基板11上的工件基準標記llm(參見圖 4)的每個圖像，識別處理部43(圖6)對成像結(jié)果進行識別處理，從而檢測印刷連接盤Ila 的位置。掩模識別照相機2 捕獲形成在掩模板14上的掩?；鶞蕵擞汬m(參見圖3(a)) 的圖像。識別處理部43(圖6)對成像結(jié)果進行識別處理，從而檢測空穴部15中的圖案孔 15a的位置。當(dāng)照相機頭單元23不識別單片基板11和掩模板14時，照相機頭單元23位于從承載器定位部1上方的提升位置側(cè)向退回的位置，如圖1所示。現(xiàn)在參照圖6描述控制系統(tǒng)的構(gòu)造。在圖6中，控制部40根據(jù)存儲在存儲部41 中的操作程序、處理程序和各種類型的數(shù)據(jù)，控制下面描述的各個部分。由承載器10保持的單片基板11作為絲網(wǎng)印刷處理的對象。機構(gòu)驅(qū)動部42由控制部40控制，從而致動承載器運送機構(gòu)8、承載器定位部1和絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12。識別處理部43對與工件識別照相機23a捕獲的圖像有關(guān)的數(shù)據(jù)進行識別處理，從而識別工件基準標記Ilm的位置并檢測單片基板11的位置。因此，工件識別照相機23a和識別處理部43構(gòu)成光學(xué)地識別設(shè)置在作為工件的單片基板11上的工件基準標記Ilm的工件識別部。識別處理部43對與掩模識別照相機2 捕獲的圖像有關(guān)的數(shù)據(jù)進行識別處理， 從而識別掩?；鶞蕵擞汬m的位置并檢測空穴部15的位置。因此，掩模識別照相機2 和識別處理部43構(gòu)成光學(xué)地識別設(shè)置在掩模板14上的掩模基準標記Hm的掩模識別部。根據(jù)掩模識別部的識別結(jié)果和工件識別部的識別結(jié)果，控制部40控制承載器定位部1。位于承載器10上的用接觸構(gòu)件7a通過抽吸而保持的單片基板11可以單獨地定位到從掩模板14的下表面突出的空穴部15。具體地，之前已經(jīng)描述過的掩模識別部、工件識別部、承載器定位部1和控制部40構(gòu)成使位于在掩模板14下面的承載器10上的單片基板 11單獨地定位到空穴部15的定位部分?，F(xiàn)在通過參照圖7和8解釋絲網(wǎng)印刷方法，絲網(wǎng)印刷裝置通過該絲網(wǎng)印刷方法使承載器10所保持的多個單片基板11印刷有元件連結(jié)膏劑。在該實施例中，通過使單片基板11順序地、單獨地與具有分配給一個單片基板11的空穴部15的掩模板14接觸，來進行絲網(wǎng)印刷。首先，如圖7(a)所示，由承載器10保持的多個單片基板11連同承載器10—起沿著承載器運送機構(gòu)8的運送軌8a被送至絲網(wǎng)印刷機構(gòu)12的印刷位置，即，位于掩模板14 下方的位置(承載器送入工序)。接下來，如圖7(b)所示，使下接收部7提升，從而通過接觸構(gòu)件7a使由承載器10保持的相應(yīng)單片基板11升起。接觸構(gòu)件7a通過抽吸保持相應(yīng)的單片基板11。隨后，將位于承載器10上的單片基板11單獨地定位到掩模板14的空穴部15 (定位工序)。與定位工序有關(guān)的處理按照下述來進行。具體地，如圖7(c)所示，使照相機頭單元23前進至掩模板14與承載器10之間的位置。照相機頭單元利用掩模識別照相機2 捕獲設(shè)置在掩模板14上的掩?；鶞蕵擞汬m的圖像，從而光學(xué)地識別掩模基準標記。此外， 工件識別照相機23a捕獲設(shè)置在相應(yīng)單片基板11上的工件基準標記Ilm的圖像，從而光學(xué)地識別設(shè)置在單片工件基板11上的工件基準標記11m?？刂撇?0根據(jù)掩模基準標記Hm的識別結(jié)果和工件基準標記Ilm的識別結(jié)果來控制承載器定位部1，從而使單片基板11水平移動并使相應(yīng)的單片基板11水平定位到空穴部15。隨后，致動第一 Z軸工作臺5，從而提升承載器10和下接收部7 (由箭頭“C”表示)， 如圖7(d)所示。由此，使單片基板11從下表面?zhèn)扰c相應(yīng)的空穴部15接觸(工件接觸工序)。從而，如圖8(a)所示，圖案孔1 位于每個單片基板11的上表面上的印刷連接盤 Ila上的位置。使刮板19沿刮擦方向(由箭頭“d”表示)在供應(yīng)有膏劑34的空穴部15上滑動。如圖8(b)所示，空穴部15中的圖案孔1 填充有膏劑34。執(zhí)行包括致動第一 Z軸工作臺5以使單片基板11下降的板釋放操作(如箭頭“e”所示)，從而單片基板11通過印刷圖案印刷有膏劑34，如圖8 (c)所示(印刷工序)。隨后，對另一待印刷的單片基板11重復(fù)執(zhí)行圖7(c)至8(c)所示的操作。在對多
7個單片基板11順序地重復(fù)執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的過程中，膏劑34通過從掩模板14的下表面突出的空穴部15印刷。因此，印刷操作可以連續(xù)地反復(fù)執(zhí)行，而不會出現(xiàn)印刷好的單片基板11 的上表面上的膏劑34接觸并粘附到掩模板14的下表面時可能導(dǎo)致的故障。工件識別照相機23a可以為每個針對一個單片基板11的印刷操作捕獲單片基板 11的圖像?；蛘?，也可以通過伴隨照相機頭單元23的前進的一個成像操作來捕獲全部單片基板11的圖像。只要如上所述的用膏劑34印刷全部單片基板11的操作已經(jīng)結(jié)束，就將印刷好的單片基板11連同承載器10 —起從印刷位置送出(承載器送出工序)。如上所述，本發(fā)明針對以位于承載器10上的多個承載器10為對象的絲網(wǎng)印刷而做出。在印刷操作期間，具有形成為分配給相應(yīng)承載器10的印刷圖案的空穴部15設(shè)置在掩模圖案14上。位于各承載器10上的單片基板11單獨地定位到空穴部15并順序地被印刷。結(jié)果，可以消除位置誤差的出現(xiàn)機率，當(dāng)多個單片基板11通過一個操作定位在掩模板 14上時，因各單片基板11的位置上的不同，可能出現(xiàn)這種位置誤差。因此，當(dāng)需要高度位置精度的類型的工件作為印刷對象時，可以確保所需的印刷位置精度。本專利申請基于2009年8月6日提交的日本專利申請(JP-2009_1^995)，這里將其全部公開內(nèi)容引入作為參考。工業(yè)實用性本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置和絲網(wǎng)印刷方法具有如下優(yōu)點在需要高度定位精度的類型的工件作為對象時，能夠確保所需的印刷位置精度。該絲網(wǎng)印刷裝置和絲網(wǎng)印刷方法在使由承載器保持的單片工件印刷有焊糊和類似導(dǎo)電膏劑的膏劑的絲網(wǎng)印刷等領(lǐng)域中是有
用的。
附圖標記和符號說明
1承載器定位部
8承載器運送機構(gòu)
10承載器
IOa工件安裝部
11單片基板
Ilm工件基準標記
12絲網(wǎng)印刷機構(gòu)
14掩模板
14m掩?；鶞蕵擞?br> 15空穴部
15a圖案孔
權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印刷裝置，使位于承載器上的多個工件順序地、單獨地從掩模板的下表面?zhèn)扰c掩模板接觸，并使刮板在供應(yīng)有膏劑的掩模板上執(zhí)行滑動動作，從而使工件印刷有膏劑，該印刷裝置包括空穴部，設(shè)置成從掩模板的下表面向下突出，并具有分配給單一工件的印刷圖案； 承載器運送機構(gòu)，將工件連同承載器一起送入絲網(wǎng)印刷機構(gòu)的印刷位置，并將印刷好的工件連同承載器一起送出印刷位置；和定位部分，將位于設(shè)置在掩模板下方的位置處的承載器上的工件單獨地定位到空穴部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的絲網(wǎng)印刷裝置，其中，所述定位部分包括 掩模識別部，光學(xué)地識別設(shè)置在掩模板上的掩?；鶞蕵擞?；工件識別部，光學(xué)地識別設(shè)置在各工件上的工件基準標記； 承載器定位部，使承載器保持并定位在預(yù)定位置；和控制部，根據(jù)掩模識別部的識別結(jié)果和工件識別部的識別結(jié)果，控制承載器定位部。
3.一種絲網(wǎng)印刷方法，用于通過使位于承載器上的多個工件順序地、單獨地與具有空穴部的掩模板的下表面接觸而使所述多個工件印刷有膏劑，空穴部從掩模板的下表面向下突出并具有分配給各單一工件的印刷圖案，所述方法包括承載器送入工序，將工件連同承載器一起送入絲網(wǎng)印刷機構(gòu)的印刷位置； 定位工序，將置于承載器上的工件單獨地定位到空穴部； 工件接觸工序，使工件與空穴部的下表面接觸；印刷工序，使刮板在供應(yīng)有膏劑的掩模板上滑動，從而通過印刷圖案使工件印刷有膏劑；和承載器送出工序，將印刷好的工件連同承載器一起運離印刷位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的絲網(wǎng)印刷方法，其中，定位工序包括光學(xué)地識別設(shè)置在掩模板上的掩?；鶞蕵擞浐蜑楦鞴ぜO(shè)置的工件基準標記，并根據(jù)掩?；鶞蕵擞浀淖R別結(jié)果和工件基準標記的識別結(jié)果來控制將承載器保持并定位到預(yù)定位置的承載器定位部。
全文摘要
本發(fā)明提供了絲網(wǎng)印刷裝置和絲網(wǎng)印刷方法，在需要高定位精度的工件的情況下，可以獲得所需的印刷位置精度。在對由承載器(10)保持的多個單片基板(11)的絲網(wǎng)印刷中，掩模板(14)設(shè)置有空穴部(15)，其中形成有對應(yīng)于一個單片基板(11)的印刷圖案，通過照相機頭單元(23)捕獲掩模板(14)和各單片基板(11)的圖像以識別位置，并且基于識別結(jié)果，由承載器(10)保持的單片基板(11)被分別定位以對應(yīng)于空穴部(15)，從而順序執(zhí)行印刷。由此，可以避免多個單片基板(11)同時相對于掩模板(14)定位時，因各單片基板(11)的位置不同而引起的定位誤差。
文檔編號H05K3/34GK102355996SQ20108001211
公開日2012年2月15日 申請日期2010年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月6日
發(fā)明者田中哲矢 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社