專利名稱：基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置和基板貼合裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置和基板貼合裝置。本發(fā)明特別是涉及保持基板的基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置。本申請是與下述的日本申請相關聯(lián)、主張來自下述日本申請的優(yōu)先權的申請。對于認可基于參照文獻的編入的指定國，通過參照將下述申請所記載的內(nèi)容編入本申請，作為本申請的一部分。日本特愿2008-64926 申請日2008年3月13日
背景技術：
已知有對保持基板的基板保持進行搬送的基板搬送裝置(例如參照專利文獻I)。該基板搬送裝置例如用于在將被基板保持架保持的基板和被貼合在該基板的其他基板相互對位的對位裝置中搬送基板和基板保持架?；灏崴脱b置通過真空吸附等的吸附機構(gòu)保持基板保持架。此外，在保持基板的靜電卡盤中，有設置有脫落防止用支承部件的靜電卡盤(例如參照專利文獻2)。該脫落防止用支承部件從靜電卡盤的周邊部朝向內(nèi)側(cè)延伸，繞與基板平行的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，在以非接觸狀態(tài)覆蓋基板的脫落防止位置和開放基板的載置面的退避位置之間進行移動。專利文獻1:日本特開2006-332563號公報專利文獻2:日本特開平8-340683號公報但是，在專利文獻2中，靜電卡盤固定在離子注入裝置等的裝置主體上。因此，無法在利用該靜電卡盤的靜電力保持基板的狀態(tài)下搬送到裝置外。

發(fā)明內(nèi)容
因此，在本發(fā)明的一個側(cè)面，其目的在于提供一種能夠解決上述課題的基板搬送裝置。該目的是通過權利要求中的獨立權項所記載的特征的結(jié)合而達成的。此外，從屬權項限定本發(fā)明的更有利的具體例。在本發(fā)明的第一方式中，提供一種基板保持架，其利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持基板，并在保持著基板的狀態(tài)下被搬送，其具備:載置基板的保持架主體；和從保持架主體露出，并相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。在本發(fā)明的第二方式中，提供一種基板保持單元，其在夾著多個基板的狀態(tài)下被搬送，其特征在于，具備:利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持多個基板中的一個基板的第一基板保持架；和利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持多個基板中的另一個基板的第二基板保持架，第一基板保持架和第二基板保持架分別具有載置基板的保持架主體，和從保持架主體露出，并相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。在本發(fā)明的第三方式中，提供一種基板搬送裝置，其用于對利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持基板的基板保持架進行搬送，其特征在于，具備:具有供基板保持架載置的載置面，用于保持基板保持架的載置部；和向載置于載置面的基板保持架供電的電力供給端子。在本發(fā)明的第四方式中，提供一種基板貼合裝置，其具備:上述基板搬送裝置；和貼合被基板搬送裝置搬送的多個基板的貼合部。另外，上述發(fā)明的概要并沒有列舉本發(fā)明的全部必要技術特征，這些特征組的子組合也成為發(fā)明。


圖1是示意地表示本實施方式涉及的半導體層疊裝置200的俯視圖。圖2是作為基板搬送裝置的一例的基板搬送部300的立體圖。圖3是表示基板搬送部300的翻轉(zhuǎn)姿勢的立體圖。圖4是被基板搬送部300保持的基板保持架100的立體圖。圖5是平板部362、382在基板10上進出的狀態(tài)的立體圖。圖6是從軸部352的延伸 方向觀察基板搬送部300的主視圖。圖7示出說明電力供給端子340的俯視圖。圖8示出圖7的截面圖。圖9是示意地表示對位部202的側(cè)視圖。圖10是為了說明而將下載臺210上下翻轉(zhuǎn)加以表示的局部立體圖。圖11是說明下載臺210中的脫落防止塊230、240的動作的側(cè)視圖。附圖標記說明10…基板;12…背面;14…表面;20…基板;100…基板保持架；110…保持架主體；
112…另一個面；114----個面；124…導電部件；126…導電部件；128…電極基部;130…電
極基部；132…電極前端部；134…電極前端部；136…退避槽；138…退避槽;140…側(cè)面；142…側(cè)面孔；150…基板保持架；164…導電部件；166…導電部件；168…電極基部；170…電極基部；172…電極前端部；174…電極前端部；176…退避槽；178…退避槽；200…半導體層疊裝置；202…對位部；210…下載臺；212…下載臺主體；214…球面座；216…支承部；218…升降部；220…上載臺；222…上載臺主體；224…吸附板；226…吸附孔；228…吸附槽；230…脫落防止塊；232…銷；240…脫落防止塊；242…銷；250…加熱擠壓部;300…基板搬送部；310…載置部；311…載置面；312…基部；314…托架部；316…托架部；320…載置側(cè)突出部；322…載置側(cè)突出部；324…載置側(cè)突出部；326…載置側(cè)突出部；330…吸附部；332…吸附部；334…吸附部；340…電力供給端子；342…下側(cè)電力供給端子；344…下側(cè)電力供給端子；346…上側(cè)電力供給端子；348…上側(cè)電力供給端子；350…旋轉(zhuǎn)部；352…軸部;360…脫離防止部;362…平板部；364…平板側(cè)突出部；366…平板側(cè)突出部；368…凹部；372…折回部；374…前端部；376…致動器；377…引導部；378…可動部；382…平板部；384…平板側(cè)突出部；386…平板側(cè)突出部；388…凹部；392…折回部；394…前端部；396…致動器。
具體實施例方式以下通過發(fā)明的實施方式對本發(fā)明的(一)側(cè)面進行說明，但以下的實施方式并不對權利要求的范圍所涉及的發(fā)明造成限定，而且，實施方式中所說明的特征的全部組合并不是發(fā)明的解決方法所必須的。圖1是示意地表示本實施方式涉及的半導體層疊裝置200的俯視圖。半導體層疊裝置200，通過重合層疊多個基板10、20，制造三維實際安裝的半導體裝置。基板10、20的一例是具有形成有半導體元件的多個半導體裝置的晶片。圖1所示的半導體層疊裝置200具有:對位部202，其使將基板10、20分別保持的基板保持架100、150相互對位重合；和加熱擠壓部250，其通過對由對位部202重合過的基板保持架100、150進行加熱擠壓而對保持于基板保持架100、150上的基板10和基板20進行層疊。該半導體層疊裝置200是基板貼合裝置的一例。進而，半導體層疊裝置200具有在上述對位部202和加熱擠壓部250之間搬送基板10、20以及基板保持架100、150的基板搬送部300。另外，基板搬送部300，可以搬送基板保持架100和基板保持架150的雙方，也可以搬送任一方。圖2是作為基板搬送裝置的一例的基板搬送部300的立體圖?；灏崴筒?00具備:載置并保持基板保持架100、150的載置部310 ;將載置部310沿圖中箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部350 ;和相對于載置部310在圖中箭頭B的方向上進退的脫落防止部360。此外，旋轉(zhuǎn)部350具有與載置部310連結(jié)的軸部352。載置部310通過與軸部352連 結(jié)的基部312，以及從基部312中的與軸部352的延伸方向正交的方向的兩端沿與軸部352的延伸方向平行地延伸的一對托架部314、316，而具有大致〕字的形狀。這些基部312和托架部314、316的一個面(圖中的上表面)形成載置基板保持架100的載置面311。以下，將載置面相對于基板保持架100處于下的姿勢亦即載置面311朝向上方的姿勢稱為正姿勢，將載置面相對于基板保持架100處于上的姿勢亦即載置面311朝向下方的姿勢稱為翻轉(zhuǎn)姿勢。此外，基部312和軸部352通過連結(jié)部件連結(jié)，隨著軸部352的旋轉(zhuǎn)，基部312也旋轉(zhuǎn)，但在圖中省略表示連結(jié)部件。載置部310具有在載置部310的正姿勢時向上方突出的多個載置側(cè)突出部。在圖示的例子中，載置部310具有四個載置側(cè)突出部320、322、324、326，分別由銷部件構(gòu)成。在圖2所示的方式中，四個載置側(cè)突出部320、322、324、326中的兩個載置側(cè)突出部322、324分別設置在各托架部314、316的前端，余下的兩個載置側(cè)突出部322、326分別設置在各托架部314、316的基端。進而，載置部310具有配置于基部312的吸附部330、配置于一個托架部314的前端的吸附部322、以及配置在另一個托架部316的前端的吸附部334。這些吸附部330、332、334利用真空吸附載置于載置面的基板保持架100。此外，進而，載置部310，在設置有吸附部330的區(qū)域具有電力供給端子340。脫落防止部360具有與載置部310的載置面大致平行地配置的一對平板部362、382。各平板部362、382，在圖示的例子中，分別形成沿著軸部352的延伸方向延伸的矩形形狀，橫跨軸部352并且以與載置面向上方隔開間隔的方式配置在該載置面的上方。各平板部362、382之間的間隔設定成比基板10、20的直徑小。脫落防止部360還具有一對致動器376、396。各致動器376、396分別由目前眾所周知的氣缸構(gòu)成，該氣缸具有從基部312的兩端沿與各托架部314、316的延伸方向相反的方向相互平行地延伸的一對引導部377、和可沿著該各引導部移動的一對活動部378 (在該圖中致動器396側(cè)的引導部和活動部藏平板部382后而無法看到)。各平板部362、382各自的一端部固定于各活動部，通過該各活動部沿著各引導部移動而使各平板部362、382沿著各托架部314、316的延伸方向相互平行地進退。各引導部的長度尺寸被設定為，當各活動部分別移動到各引導部的前端部時載置面不被平板部362、382覆蓋而露出、且當各活動部分別移動到各引導部的基端部時各平板部362、382分別配置在載置面311上。如上所述，各平板部362、382之間的間隔，由于比基板10、20的直徑小，所以當各平板部362、382分別在載置面311上移動時，基板10的表面14和基板保持架100的一個面114 (參照圖4)的各自的一部分，被各平板部362、382以非接觸狀態(tài)覆蓋。即，各平板部362、382能夠分別在覆蓋基板10以及基板保持架100的一部分的脫落防止位置和不妨礙沿著載置部310的上下方向的基板10以及基板保持架100的移動的退避位置之間移動。各平板部362、382分別具有在載置部310的正姿勢時向下方突出的多個平板側(cè)突出部。在圖示的例子中，一個平板部362具有兩個平板側(cè)突出部364、366，另一個平板部382具有兩個平板側(cè)突出部384、386。在圖2所示的方式中，各平板側(cè)突出部364、384分別設置在各平板部362、382的另一端部，各平板側(cè)突出部366、386分別設置在各平板部362、382的中央附近。進而，在各平板部362、382的在各自的寬度方向面對的兩個緣部之中位于與在相對的平板部362、382之間相互對置的各緣部相反一側(cè)的各緣部，分別形成有從該各緣部朝向載置面延伸的折回部372、392。兩折回部372、392之間的間隔設定得比各基板保持架100、150的直徑大。此外，在各平板部362、382的另一端部形成有以從該各另一端部相互接近的方式延伸的前端部374、394。圖3是表示基板搬送部300的翻轉(zhuǎn)姿勢的立體圖。如圖3所示，在與各平板部362、382的載置面相對置的 面即內(nèi)面，以及與各前端部374、394的載置面相對置的面，設置有與基板10的大小對應的凹部368、388。各凹部368、388，分別以在各平板部362、382分別置于上述脫落防止位置的狀態(tài)下與載置面上的基板10、20相對置的方式形成在各平板部362、382上。由此，在翻轉(zhuǎn)姿勢下基板10脫離基板保持架100而被平板部362、382支承的情況下，基板10嵌入該凹部368、388，而能夠防止基板10在面內(nèi)的落下。圖4示出被基板搬送部300保持的基板保持架100的立體圖。在此，由于基板保持架150和基板保持架100為相同形狀，所以對基板保持架100進行說明，省略基板保持架150的說明?；灞３旨?00具有比基板10直徑大的的圓盤形狀的保持架主體110。基板保持架100，以在表面14形成有元件的基板10的背面12與保持架主體110的一個面114相接的朝向，載置并保持基板10。在該情況下，基板保持架100，利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力吸附并保持基板10。此外，基板保持架100，以其另一個面112與載置部310的載置面相接的朝向，載置于載置部310。在此，外部是指不是與基板保持架100 —體地移動的基板保持架100的一部分，而是基板保持架100的外部即半導體層疊裝置200的基板搬送部300 等。基板保持架100還具有:貫通保持架主體110的厚度方向、從側(cè)面140向徑向內(nèi)側(cè)凹陷的退避槽136、138 ;和相對于這些退避槽136、138配置在徑向內(nèi)側(cè)的導電部件124、126。在基板保持架100的側(cè)面140形成有一對側(cè)面孔142，該一對側(cè)面孔142向保持架主體110的徑向內(nèi)側(cè)凹陷且在保持架主體110的周向上隔開間隔地配置。另外，雖然從圖4的方向無法看見，但在相對于表面14的中心與各側(cè)面孔142對稱的位置上還設置有一對側(cè)面孔142。圖5是表示各平板部362、382分別在上述脫落防止位置進出的狀態(tài)的立體圖。在圖5所示的狀態(tài)下，在保持有基板保持架100的載置部310被旋轉(zhuǎn)到翻轉(zhuǎn)姿勢的情況下，當因某種理由載置部310保持基板保持架100的力變?nèi)趿藭r、或者當基板保持架100保持基板10的力變?nèi)趿藭r，各平板部362、382從下方支承脫離了載置部310的基板保持架100或脫離了基板保持架100的基板10，因此能夠防止基板100以及基板10脫落而落到地面。另外，如圖2所示，在旋轉(zhuǎn)部350旋轉(zhuǎn)到載置部310的正姿勢的狀態(tài)下，在基板保持架100被載置部310裝卸的情況下，各平板部362、382分別退避到上述退避位置。由此，不會被平板部362、382妨礙，就能夠?qū)灞３旨?00等進行裝卸。圖6是從軸部352的延伸方向觀察基板搬送部300時的主視圖。如圖6所示，各平板部362、382相對于載置面，配置在比重合了兩個基板保持架100、150的高度高的位置。由此，在各平板部362、382進行進退的情況下，能夠防止其與基板保持架100、150接觸。此外，各載置側(cè)突出部320、322、324、326分別在面方向上配置在基板保持架150的外側(cè)。由此，在正姿勢下能夠防止基板保持架150在面內(nèi)移動。進而，各載置側(cè)突出部320、322、324、326分別具有當各平板部362、382進退時不與各平板部362、382接觸的突出尺寸H1。在圖6所示的方式中，突出尺寸Hl比配置在接近載置面的一側(cè)的基板保持架150的厚度H2小。由此，各平板部362、382能夠不與各載置側(cè)突出部320、322、324、326接觸就順暢地進退。進而，各平板側(cè)突出部364、366、384、386，分別在面方向上配置在基板保持架100的外側(cè)。由此，在翻轉(zhuǎn)姿勢下基板保持架100被平板部362、382支承的情況下，能夠防止基板保持架100在面內(nèi)移動。此外，各平板側(cè)突出部364、366、384、386分別具有在各平板部362、382進退時不與基板保持架100接觸的突出尺寸H3。在圖6所示的方式中，突出尺寸H3比配置在接近各平板部362、382的一側(cè)的基板保持架100與各平板部362、382之間的間隙H4小。由此，各平板側(cè)突出部364、366、384、386不與基板保持架100接觸，而各平板部362、382能夠順暢地進退。此外，各折回部392、372分別位于各基板保持架100、150的外側(cè)。各折回部392、372具有向比配置在載置面?zhèn)鹊幕灞３旨?50的一個面114向載置面?zhèn)妊由斓某叽鏗5。由此，無論在翻轉(zhuǎn)姿勢以及旋轉(zhuǎn)中的任一個情況下，都能夠防止基板保持架100、150在面方向移動、脫落。 根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，能夠防止載置在基板搬送部300的基板10和基板保持架100在基板搬送部300的翻轉(zhuǎn)姿勢下脫落。特別是，由于脫落防止部360的各平板部362、382沿著軸部352的軸向、即基板10的面方向進退，所以與沿基板10的面方向轉(zhuǎn)動的情況相比，能夠縮小用于進退的空間。此外，即使在基板搬送部300上重合載置了基板保持架100和基板保持架150的情況下，在基板搬送部300的翻轉(zhuǎn)姿勢下，能夠防止基板保持架100和基板保持架150脫落。進而，當基板搬送部300的搬送時，能夠防止基板10、20以及基板保持架100、150在面內(nèi)產(chǎn)生錯位。圖7示出說明電力供給端子340的俯視圖，圖8 Ca)示出以圖7 Ca)的點劃線為切斷線切斷了電力供給端子340時從箭頭方向觀察的截面圖。電力供給端子340與被吸附部330吸附的基板保持架100、150的電極電連接。如圖7 (a)和圖8 (a)所示，電力供給端子340具有在正姿勢下從基部312向上方突出的一對下側(cè)電力供給端子342、344以及一對上側(cè)電力供給端子346、348。這些下側(cè)電力供給端子342、344以及上側(cè)電力供給端子346、348配置在載置面?zhèn)燃磮D2的吸附部330的上表面，且向圖中上方突出。下側(cè)電力供給端子342、344具有比下側(cè)的基板保持架150的厚度低的高度，分別設置在相對于載置部310的旋轉(zhuǎn)軸(圖中的虛線)對稱的位置。另一方面，上側(cè)電力供給端子346、348具有比下側(cè)的基板保持架150的厚度高的高度，分別設置在相對于載置部310的旋轉(zhuǎn)軸非對稱的位置。如圖8(a)所示，基板保持架150，在與下側(cè)電力供給端子342、344對應的位置具有導電部件164、166，并且在與上側(cè)電力供給端子346、348對應的位置具有退避槽176、178。進而，如圖7 (b)所示，基板保持架150具有與基板保持架150的內(nèi)部電極電連接的電極基部168、170以及配置在上述電極基部168、170的前端的電極前端部172、174。如圖8 (a)所示，電極基部168、170與導電部件164、166電連接。此外，電極前端部172、174分別設置在與退避槽176、178相反一側(cè)的非對稱的位置,在設置有導電部件164、166的面的背面(圖8 (a)的上表面)露出。在此，導電部件124、126、電極基部168、170以及電極前端部172、174是連接端子的一例。同樣地，如圖7 (C)、圖8 (b)和圖8 (C)所示，基板保持架100也具有導電部件124、126，退避槽136、138，電極基部128、130，電極前端部132、134?；灞３旨?00中的導電部件124、126，退避槽136、138，電極基部128、130，電極前端部132、134的配置，在使之與基板保持架150朝向相同的情況下，即在使將基板位于不同位置的面為相同朝向的情況下，與該基板保持架150中的導電部`件164、166，退避槽176、178，電極基部168、170以及電極前端部172、174的配置相同。如圖7 (b)和圖8 (b)所示，在將基板保持架150載置于基板搬送部300的情況下，下側(cè)電力供給端子342、344與導電部件164、166接觸。由此，下側(cè)電力供給端子342、344經(jīng)由導電部件164、166與電極基部168、170電連接，供給用于靜電吸附的電力。在該情況下，上側(cè)電力供給端子346、348被收納在退避槽176、178中，而與基板保持架150電絕緣。進而，如圖7 (C)和圖8 (C)所示，在將基板保持架100載置于基板保持架150上的情況下，由于退避槽176、178使基板保持架100的電極前端部132、134露出，所以上側(cè)電力供給端子346、348與電極前端部132、134抵接。由此，上側(cè)電力供給端子346、348與電極前端部132、134電連接，供給用于靜電吸附的電力。在該情況下，下側(cè)電力供給端子342、344被收納在基板保持架150內(nèi)，而與基板保持架100電絕緣。另外，優(yōu)選上側(cè)電力供給端子346、348以及下側(cè)電力供給端子342、344，例如為彈簧探針或彈性板簧等，與基板保持架100、150的連接端子彈性抵接。由此能夠使電連接更可靠。優(yōu)選利用上側(cè)電力供給端子346、348以及下側(cè)電力供給端子342、344的彈性維持與基板保持架100、150的連接端子抵接的沖程，比圖6的高度H4長。由此，即使在基板保持架100、150脫落到平板部362、382上的情況下，也能夠防止基板10、20進一步從基板保持架100、150脫落。此外，優(yōu)選導電部件164、166以及電極前端部132、134的露出面積，比基板搬送部300保持基板保持架100、150時以及保持過程中所容許的誤差范圍大。由此，在基板搬送部300保持基板保持架100、150時以及搬送過程中也能夠進行更可靠地電連接。根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，在將具有相同結(jié)構(gòu)的基板保持架100、150的一個翻過來重疊的情況下，能夠獨立地向基板保持架100和基板保持架150供給電力。具體而言，在基板保持架100和基板保持架150夾著基板重合了的情況下，基板保持架150的導電部件164、166向基部312側(cè)(圖中下方)露出，并且在面上與基板保持架150的導電部件164、166不同的位置，基板保持架100的導電部件164、166從保持架主體向基部312側(cè)(圖中下方)露出，并且基板保持架100的電極前端部132、134也從保持架主體經(jīng)由退避槽176、178向基部312露出。因此，能夠在重疊了基板保持架100、150的狀態(tài)下向這兩個基板保持架100、150供電。因而，在向基板保持架100、150供電的狀態(tài)下，能夠搬送該基板保持架100、150。另外，在僅保持基板保持架150的情況下也能夠向該基板保持架150供電，這是不言而喻的。此外，在使載置基板的面面對重合著的情況下，由于基板保持架150的退避槽176、178配置在與基板保持架100的電極前端部132、134重疊的位置，所以通過將退避槽、電極前端部等的配置相同的兩個基板保持架中的一個翻過來重疊，能夠使兩個基板的兩方的連接端子露出。因此，能夠使部件及其制造工序通用而降低成本。另外，在圖7和圖8中，說明了在將基板保持架150載置于基板搬送部300后，將基板保持架100載置在基板保持架150上，但載置的順序并不限定于此。例如，也可以在基板保持架100和基板保持架150被重合之后，將基板保持架100和基板保持架150 —次載置在基板搬送部300上。此外， 退避槽176、178具有從周圍切入的切口形狀，但也可以將該切口形狀改變成孔。優(yōu)選在任一情況下都在保持架主體的厚度方向上貫通。這些退避槽和孔是露出部和貫通部的一例。 圖9是示意地表示對位部202的側(cè)視圖。對位部202具有保持基板保持架100的上載臺220，和保持基板保持架150的下載臺210。下載臺210，按照接近上載臺220起的順序、即從上起的順序，具有下載臺主體212、球面座214、支承部216和升降部218。下載臺主體212吸附并保持對被基板搬送部300搬送來的基板20進行保持的基板保持架150。下載臺主體212通過真空吸附對基板保持架150進行吸附。另外，也可以真空吸附或在真空吸附的基礎上，下載臺主體212通過靜電吸附對基板保持架150進行吸附。下載臺主體212利用球面座214，與球面座214連結(jié)。進而，升降部218使球面座214相對于下載臺210接近和遠離，S卩，在上下方向升降。此外，下載臺210能夠相對于上載臺220在基板20的面方向即水平方向移動并定位。上載臺220具有:上載臺主體222 ;和安裝在上載臺主體222上，用于對保持著基板10的基板保持架100進行吸附的吸附板224。吸附板224通過真空吸附對被基板搬送部300搬送的基板保持架100進行吸附。另外，也可以代替真空吸附或在真空吸附的基礎上，吸附板224通過靜電吸附對基板保持架100進行吸附。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，對位部202使被基板搬送部300搬送的基板保持架100和基板保持架150相互對位并重疊?；灏崴筒?00將由對位部202重合的基板保持架100和基板保持架150的組向加熱擠壓部250搬送。圖10是為了說明而將下載臺210上下翻轉(zhuǎn)加以表示的局部立體圖。如圖10所示，在上載臺主體222上安裝有吸附板224。吸附板224具有與基板保持架100的外形大致相同的外形，具有吸附孔226和與該吸附孔226連結(jié)的吸附槽228。通過使上述吸附孔226和吸附槽228成為負壓，能夠?qū)⒒灞３旨?00真空吸附在吸附板224上。下載臺210還具有一對脫落防止塊230、240，該一對脫落防止塊230、240在下載臺210的橫向上夾著吸附板224并設置在該吸附板224的兩側(cè)。脫落防止塊230、240分別具有向下載臺210的橫向延伸的一對銷232、242。圖11是說明脫落防止塊230、240的動作的側(cè)視圖。脫落防止塊230、240，在吸附板224保持基板保持架100的情況下，利用氣缸等致動器向基板保持架100接近移動，各銷232、242分別插入基板保持架100的對應的側(cè)面孔142中。在銷232、242插入到側(cè)面孔142中后，開放基于吸附部330等的真空吸附，基板搬送部300從下載臺210退避。由此，在吸附板224保持基板保持架100之外，脫落防止塊230、240也保持基板保持架100。因此，吸附板224的吸附力變?nèi)?，在基板保持?00從吸附板224脫落的情況下，脫落防止塊230、240也保持基板保持架100，能夠防止基板保持架100脫落。在上述圖1至圖11所示的實施方式中，示出了脫落防止部360具有一對平板部362、382的例子，但取而代之，能夠應用具有單一的平板部的脫落防止部。此外，在上述圖1至圖11所示的實施方式中，基板10被保持在基板保持架100上，基板保持架100被載置在基板搬送部300上進行搬送。但是，基板10的搬送并不限定于使用基板保持架100的情況，也可以 將基板10直接載置在基板搬送部300的載置面上。在該情況下，通過在基板搬送部300上設置與基板10的面平行地進退的脫落防止部360，從而能夠防止在翻轉(zhuǎn)姿勢下基板10脫落。以上，根據(jù)本實施方式，由于在基板保持架100、150上設置有連接端子，所以在通過基板搬送部300搬送基板保持架100、150中的一個或者重疊了基板保持架100、150的兩者的情況下，能夠維持從基板搬送部300向該基板保持架100、150的供電。因此，能夠在利用靜電力將基板10、20吸附在基板保持架100、150上的狀態(tài)下可靠地進行搬送。以上，使用實施方式對本發(fā)明進行了說明，但本發(fā)明的技術范圍并不限定于上述實施方式所記載的范圍。本領域技術人員可清楚地明白能夠?qū)ι鲜鰧嵤┓绞竭M行多樣的變更或加以改良。從權利要求的記載可知加以這樣的變更或改良的方式也包含于本發(fā)明的技術范圍內(nèi)。就應該注意到在權利要求的范圍、說明書和附圖中表示的裝置、系統(tǒng)、程序、以及方法中的動作、順序、步驟和階段等各處理的執(zhí)行順序，沒有特別地明示為“更早之前”、“事先”等，而且，只要不是將前的處理的輸出在后面的處理中使用，就能夠以任意的順序?qū)崿F(xiàn)。關于權利要求的范圍、說明書和附圖中的動作流程，為了方便而使用“首先”、“接著”等加以說明，但這并不意味著就必須按照該順序?qū)嵤?br> 權利要求
1.一種基板保持架，其利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持基板，并在保持著基板的狀態(tài)下被搬送，其特征在于，具備: 載置所述基板的保持架主體；和 從所述保持架主體露出，并相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板保持架，其特征在于: 所述基板保持架在與具有相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子的其他基板保持架重合的狀態(tài)下被搬送， 所述基板保持架還具備露出部，該露出部在所述基板保持架與所述其他基板保持架重合的狀態(tài)下使所述其他基板保持架的所述連接端子露出。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板保持架，其特征在于: 所述露出部朝向與該基板保持架的所述連接端子露出的面相同的面使所述其他基板保持架的所述連接端子露出。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的基板保持架，其特征在于: 所述露出部是切口或孔。
5.一種基板保持單元，在夾著多個基板的狀態(tài)下被搬送，其特征在于，具備: 利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持所述多個基板中的一個基板的第一基板保持架；和 利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持所述多個基板中的另一個基板的第二基板保持架， 所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分別具有載置所述基板的保持架主體，和從所述保持架主體露出、并相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。
6.根據(jù)權利要求5所述的基板保持單元，其特征在于: 所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方還具有露出部，該露出部在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的狀態(tài)下使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的另一方的所述連接端子露出。
7.根據(jù)權利要求6所述的基板保持單元，其特征在于: 在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的狀態(tài)下，所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，朝向相同的面露出。
8.根據(jù)權利要求6或7所述的基板保持單元，其特征在于: 所述露出部是切口或孔。
9.根據(jù)權利要求5至8中任一項所述的基板保持單元，其特征在于: 所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，當使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的載置基板的面為相同朝向時相互配置在相同的位置。
10.根據(jù)權利要求9所述的基板保持單元，其特征在于: 所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，在使載置基板的面面對并重合的情況下配置在面上的不同的位置。
11.根據(jù)權利要求5所述的基板保持單元，其特征在于: 所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分別具有從載置基板的面貫通至另一個面的貫通部， 當使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的載置基板的面為相同朝向時，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述連接端子相互配置在相同的位置，并且所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述貫通部相互配置在相同的位置， 當使所述載置基板的面面對并重合的情況下，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方的所述貫通部配置在與所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的另一方的所述連接端子重疊的位置。
12.一種基板搬送裝置，用于對利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持著基板的基板保持架進行搬送，其特征在于，具備: 載置部，其具有載置所述基板保持架的載置面，用于保持所述基板保持架；和 向載置于所述載置面的所述基板保持架供電的電力供給端子。
13.根據(jù)權利要求12所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述電力供給端子具 有相互重合了兩個所述基板保持架時的、與下側(cè)的所述基板保持架的連接端子電連接的下側(cè)電力供給端子和與上側(cè)的所述基板保持架的連接端子電連接的上側(cè)電力供給端子。
14.根據(jù)權利要求13所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述下側(cè)電力供給端子和所述上側(cè)電力供給端子配置在所述載置面?zhèn)取?br> 15.根據(jù)權利要求13或14所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述下側(cè)電力供給端子具有比所述下側(cè)的基板保持架的厚度低的高度，所述上側(cè)電力供給端子具有比所述下側(cè)的基板保持架的厚度高的高度。
16.根據(jù)權利要求13至15中任一項所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板搬送裝置還具備旋轉(zhuǎn)部，該旋轉(zhuǎn)部在所述載置面處于所述基板保持架之下的正姿勢，和所述載置面處于所述基板保持架之上的翻轉(zhuǎn)姿勢之間旋轉(zhuǎn)所述載置部， 所述下側(cè)電力供給端子分別設置在相對于所述載置部的旋轉(zhuǎn)軸對稱的位置，所述上側(cè)電力供給端子分別設置在相對于所述載置部的旋轉(zhuǎn)軸非對稱的位置。
17.根據(jù)權利要求16所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板搬送裝置還具備脫落防止部，所述脫落防止部在以非接觸狀態(tài)覆蓋所述基板和所述基板保持架的一個面的各自的至少一部分的脫落防止位置、和不妨礙沿著所述載置部的上下方向的所述基板和所述基板保持架的移動的退避位置之間進退， 所述脫落防止部與所述基板保持架的所述一個面平行地進退。
18.根據(jù)權利要求17所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述脫落防止部具有分別覆蓋所述基板和所述基板保持架的所述一個面且與所述基板平行的平板部， 所述平板部具有多個平板側(cè)突出部，所述多個平板側(cè)突出部配置在所述基板和所述基板保持架的外側(cè)且在所述載置部的所述正姿勢下向下方突出。
19.根據(jù)權利要求18所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述多個平板側(cè)突出部具有在所述脫落防止部進退時不與所述基板和所述基板保持架接觸的突出尺寸。
20.根據(jù)權利要求18或19所述的基板搬送裝置，其特征在于:在所述平板部的與所述基板相對置的面設置有與所述基板對應的大小的凹部。
21.根據(jù)權利要求18至20中任一項所述的基板搬送裝置，其特征在于: 在所述平板部的位于所述基板和所述基板保持架的外側(cè)的端部形成有從該端部朝向所述載置面延伸的折回部， 該折回部延伸至比所述基板保持架的所述一個面更靠所述載置面?zhèn)取?br> 22.根據(jù)權利要求16至21中任一項所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述載置部具有多個載置側(cè)突出部，所述多個載置側(cè)突出部配置在所述基板和所述基板保持架的外側(cè)且在所述載置部的所述正姿勢下向上方突出。
23.根據(jù)權利要求22所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述多個載置側(cè)突出部具有當所述脫落防止部進退時不與該脫落防止部接觸的突出尺寸。
24.根據(jù)權利要求17至23中任一項所述的基板搬送裝置，其特征在于: 所述載置部具有利用真空對所述基板保持架進行吸附的吸附部。
25.—種基板貼合裝置，其特征在于，具備: 權利要求12至24中任一項所述的基板搬送裝置；和 貼合被所述基板搬送 裝置搬送的多個基板的貼合部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置和基板貼合裝置，在基板保持架上保持基板的狀態(tài)下可靠地搬送?；灞３旨埽糜蓙碜酝獠康墓╇姰a(chǎn)生的靜電力保持基板，并在保持基板的狀態(tài)下被搬送，具備載置基板的保持架主體；和從保持架主體露出，并相對于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。此外，基板搬送裝置，用于對利用由來自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持基板的基板保持架進行搬送，具備具有供基板保持架載置的載置面，用于保持基板保持架的載置部；和向載置于載置面的基板保持架供電的電力供給端子。
文檔編號H01L21/683GK103227136SQ201310020980
公開日2013年7月31日 申請日期2009年3月13日 優(yōu)先權日2008年3月13日
發(fā)明者前田榮裕, 吉橋正博 申請人:株式會社尼康