觸摸面板以及制造觸摸面板的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的示例性實施方式涉及觸摸面板，并且更具體地，涉及觸摸面板以及制造觸摸面板的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]觸摸面板是能夠通過將物體的觸摸轉(zhuǎn)換成電信號來接收信息的裝置。觸摸面板可被分為電阻型觸摸面板、電容型觸摸面板、電磁型觸摸面板、表面聲波(SAW)型觸摸面板或者紅外型觸摸面板。
[0003]在制造觸摸面板或使用觸摸面板時，在觸摸面板中可能出現(xiàn)靜電流。靜電流在感測電極和配線彼此直接接觸的部分處可能擊穿。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的示例性實施方式提供一種具有增加的可靠性的觸摸面板。
[0005]本發(fā)明的示例性實施方式提供一種制造具有增加的可靠性的觸摸面板的方法。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的一方面，提供了一種觸摸面板。觸摸面板包括多個感測電極、多條配線以及靜電放電圖案。多個感測電極布置在基板上。多條配線從多個感測電極延伸。多條配線的底部表面具有與多個感測電極的底部表面相同的高度。靜電放電圖案電連接至多條配線。
[0007]在本發(fā)明的示例性實施方式中，觸摸面板可進(jìn)一步包括布置在靜電放電圖案與感測電極之間的絕緣層圖案。靜電放電圖案可包括直接接觸配線的第一端部以及與感測電極重疊的第二端部。
[0008]在本發(fā)明的示例性實施方式中，靜電放電圖案的第二端部可與配線或感測電極分開。
[0009]在本發(fā)明的示例性實施方式中，靜電放電圖案可布置為鄰近于其中感測電極直接接觸配線的部分。
[0010]在本發(fā)明的示例性實施方式中，可調(diào)整靜電放電圖案與感測電極的上邊緣之間的距離。
[0011]在本發(fā)明的示例性實施方式中，感測電極和配線可包括多條金屬納米線。靜電放電圖案可包括依次堆疊的第一導(dǎo)電圖案和第二導(dǎo)電圖案。
[0012]在本發(fā)明的示例性實施方式中，感測電極和配線可包括多條銀(Ag)納米線。第一導(dǎo)電圖案的電阻可低于第二導(dǎo)電圖案的電阻。第二導(dǎo)電圖案的抗氧化性可高于第一導(dǎo)電圖案的抗氧化性。
[0013]在本發(fā)明的示例性實施方式中，第一導(dǎo)電圖案可包括銅(Cu)，并且第二導(dǎo)電圖案可包括鈦(Ti)。
[0014]在本發(fā)明的示例性實施方式中，多條配線可具有第一寬度。靜電放電圖案可具有第二寬度。第二寬度可小于第一寬度。
[0015]在本發(fā)明的示例性實施方式中，第一寬度可在第二寬度的兩倍到十倍的范圍內(nèi)。
[0016]在本發(fā)明的示例性實施方式中，基板可包括第一區(qū)域和圍繞第一區(qū)域的至少一側(cè)的第二區(qū)域。感測電極可布置在第一區(qū)域中。
[0017]在本發(fā)明的示例性實施方式中，配線可布置在第一區(qū)域和第二區(qū)域中。配線在第一區(qū)域中可具有第一寬度并在第二區(qū)域中具有第三寬度。第一寬度可小于第三寬度。
[0018]在本發(fā)明的示例性實施方式中，觸摸面板可進(jìn)一步包括布置在第二區(qū)域中的焊盤部分。第二區(qū)域可圍繞第一區(qū)域的一側(cè)。
[0019]在本發(fā)明的示例性實施方式中，感測電極可排布在可平行于基板的頂部表面的第一方向和第二方向上。配線可在第一區(qū)域中沿第一方向延伸。
[0020]在本發(fā)明的示例性實施方式中，觸摸面板可進(jìn)一步包括布置在基板上的相對電極。相對電極可具有平坦的形狀，從而使相對電極與感測電極不重疊。
[0021]在本發(fā)明的示例性實施方式中，相對電極可在第一方向上延伸，并且多個感測電極可對應(yīng)于單個相對電極。
[0022]在本發(fā)明的示例性實施方式中，相對電極的頂部表面和底部表面可具有與感測電極的頂部表面和底部表面相同的高度。
[0023]在本發(fā)明的示例性實施方式中，感測電極可排布在平行于基板的頂部表面的第一方向和第二方向上。配線可在第一區(qū)域中沿相對于第一方向傾斜的傾斜方向延伸。
[0024]在本發(fā)明的示例性實施方式中，多個靜電放電圖案可對應(yīng)于單條配線。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的一方面，提供了一種制造觸摸面板的方法。在該方法中，在基板上形成感測電極和從感測電極延伸的配線。絕緣層圖案形成為與感測電極和配線部分重疊。在絕緣層圖案上形成靜電放電圖案。靜電放電圖案通過穿透絕緣層圖案的接觸孔接觸配線。
[0026]在本發(fā)明的示例性實施方式中，形成靜電放電圖案可包括依次形成第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層并部分地去除第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層以形成第一導(dǎo)電圖案和第二導(dǎo)電圖案。第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層可覆蓋感測電極和配線。第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層相對于感測電極和配線均具有蝕刻選擇性。
[0027]在本發(fā)明的示例性實施方式中，形成感測電極和配線包括同時形成相對電極。相對電極可具有平坦的形狀，從而使相對電極與感測電極不重疊。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，靜電放電圖案可具有可小于配線的第一寬度Wl的第二寬度W2。在配線中流動的靜電流可被放電到靜電放電圖案。例如，在靜電放電圖案的端部處可能會導(dǎo)致發(fā)生靜電損壞或靜電擊穿。因此，靜電放電圖案可防止感測電極與配線之間的靜電損壞或靜電擊穿。
【附圖說明】
[0029]從下面結(jié)合附圖進(jìn)行的描述中，可進(jìn)一步詳細(xì)地理解實例實施方式，其中:
[0030]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的平面圖；
[0031]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的圖1的區(qū)域III的平面圖；
[0032]圖3是示出沿根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的圖2中的線IV-1V’截取的截面圖；
[0033]圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的一部分的平面圖；
[0034]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的一部分的平面圖；
[0035]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的一部分的平面圖；
[0036]圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的一部分的平面圖；
[0037]圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的平面圖；以及
[0038]圖9至圖15是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的制造觸摸面板的方法的平面圖和截面圖。
【具體實施方式】
[0039]參照附圖更全面地描述本發(fā)明的示例性實施方式。然而本發(fā)明可體現(xiàn)為很多不同的形式，并且不應(yīng)被解釋為限于在此闡述的實例實施方式。在附圖中，為清晰起見，可放大層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸。
[0040]將理解，當(dāng)元件或?qū)颖环Q為“在”另一元件或?qū)印吧稀?、“連接至”或“耦接至”另一元件或?qū)訒r，其可直接在另一元件或?qū)由稀⒅苯舆B接或耦接至另一元件或?qū)?，或者可存在中間元件或?qū)?。相同或相似的參考編號在全文中可表示相同或相似的元件?br>[0041]本文所用的術(shù)語僅是為了描述特定示例性實施方式的目的，而不旨在限制本發(fā)明。
[0042]在本文中，參考本發(fā)明的理想化實例和中間結(jié)構(gòu)的示意性圖示來描述本發(fā)明的實施方式。因而，可預(yù)期例如因制造技術(shù)和/或容差而產(chǎn)生的圖示的形狀的變化。因此，本發(fā)明的示例性實施方式不應(yīng)被解釋為局限于本文中示出的區(qū)域的特定形狀，而是包括例如因制造而產(chǎn)生的形狀上的偏差。
[0043]圖I是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板的平面圖。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的圖I的區(qū)域III的平面圖。圖3是示出沿著根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的圖2中的線IV-IV’截取的截面圖。
[0044]參考圖I至圖3，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的觸摸面板可包括基板100、多個感測電極111至116、多條配線220以及焊盤部分228。觸摸面板可進(jìn)一步包括電連接至每條配線220的靜電放電（ESD)圖案240。
[0045]基板100可包括透明絕緣基板。例如，基板100可包括玻璃基板、石英基板、透明樹脂基板等。
[0046]基板100可被劃分成第一區(qū)域I和第二區(qū)域II。在本發(fā)明的示例性實施方式中，第一區(qū)域I可以是感測電極111至116可定位于的感測區(qū)域，并且第二區(qū)域II可以是配線220和焊盤部分228可定位于的外圍區(qū)域。例如，第一區(qū)域I可暴露給觸摸面板的用戶，并且第二區(qū)域II可被邊框（bezel)覆蓋。第二區(qū)域II可圍繞第一區(qū)域I的至少一側(cè)。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，第二區(qū)域II可圍繞如圖I中所示的第一區(qū)域I的一側(cè)。
[0047]多個感測電極111至116可布置在基板100上的第一區(qū)域I中。在本發(fā)明的示例性實施方式中，多個感測電極111至116可排布在基本平行于基板100的頂部表面的第一方向Dl上。因此，多個感測電極111至116可組成第一感測電極列110。此外，第一感測電極列110、第二感測電極列120和第三感測電極列130可排布在基本垂直于第一方向Dl的第二方向D2上。因此，多個感測電極列110、120和130可組成感測電極陣列。例如，感測電極陣列可包括排布在第一方向Dl和第二方向D2上的多個感測電極。
[0048]在本發(fā)明的示例性實施方式中，多個感測電極111至116可具有如圖I和圖2中所示的在第二方向D2上延伸的矩形形狀。然而，本發(fā)明并不必限于此。例如，多個感測電極111至116可具有不同的形狀。
[0049]多個感測電極111至116可以預(yù)定方式排布。在本發(fā)明的示例性實施方式中，感測電極111至116的每一個在第二方向D2上可具有相同的長度。此外，感測電極111至116的每一個可在第二方向D2上逐漸地偏移。例如，感測電極111至116的邊緣可沿傾斜方向排布?？商鎿Q地，感測電極111至116