圖案缺陷檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種圖案缺陷檢查方法，更為詳細(xì)地涉及一種能夠在大面積的基板上形成的圖案中容易地檢查缺陷的存在與否及缺陷位置的圖案缺陷檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]設(shè)備用基板的表面有時(shí)會(huì)有將單位圖案周期性地排列以形成重復(fù)圖案的情況。此類的單位圖案本來是有規(guī)則地排列的，但是有規(guī)則地排列的圖案有時(shí)會(huì)包括無意中產(chǎn)生的具有另一規(guī)則性的缺陷(defect)。
[0003]當(dāng)產(chǎn)生此類缺陷時(shí)，此類缺陷在后續(xù)工藝中會(huì)被轉(zhuǎn)印到設(shè)備用基板上形成的圖案上，從而最終會(huì)產(chǎn)生設(shè)備用基板不良的問題，因此有必要事先檢查重復(fù)圖案是否產(chǎn)生有缺陷。
[0004]通過檢查每個(gè)圖案的形狀的方法來檢查此類缺陷，在時(shí)間和成本的角度來看幾乎不可能。因此通過在整個(gè)區(qū)域上具有周期性的其他圖案中檢查沒有周期性的部分，并且將沒有周期性的部分確定為缺陷的方式來進(jìn)行檢查。
[0005]另外，最近的設(shè)備用基板具有大面積化的傾向，而在這種大面積化的基板表面上排列的整個(gè)圖案區(qū)域中，難以執(zhí)行對是否存在缺陷的精密的檢查。因此對整個(gè)圖案區(qū)域拍攝低倍率圖像并確認(rèn)推定為缺陷的圖案，即沒有周期性的圖案的大概位置，并通過高倍率的光學(xué)系統(tǒng)，對包括該沒有周期性的圖案的區(qū)域進(jìn)行圖像拍攝，并進(jìn)行沒有周期性的圖案是否為缺陷的分析過程，從而判斷缺陷的產(chǎn)生與否。
[0006]S卩，對整個(gè)基板的圖案形狀進(jìn)行低倍率拍攝，并且確認(rèn)是否存在沒有周期性的圖案后，當(dāng)存在沒有周期性的圖案時(shí)，對該沒有周期性的圖案通過高倍率的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行放大拍攝，從而判斷該沒有周期性的圖案是否為缺陷。
[0007]然而，在所述方法中，在通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)拍攝的部分中有時(shí)會(huì)產(chǎn)生只拍攝到有周期性圖案的一部分的情況，從而會(huì)產(chǎn)生將其認(rèn)為沒有周期性的圖案的問題。而且，在通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)拍攝的部分的圖案中無法確認(rèn)周期性，從而會(huì)產(chǎn)生無法確認(rèn)通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)拍攝的部分在基板中相當(dāng)于哪一部分的問題。
[0008]當(dāng)產(chǎn)生此類問題時(shí)，嘗試了通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)重新拍攝先前所拍攝部分的周圍區(qū)域后進(jìn)行結(jié)合，從而消除所述的問題，但是進(jìn)一步產(chǎn)生在缺陷的分析過程中所需的時(shí)間顯著增加的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明是為了解決所述的以往的問題而提出的，其目的是提供一種圖案缺陷檢查方法，該圖案缺陷檢查方法通過對檢查圖像和已登記的主圖像推定進(jìn)行匹配，從而能夠容易地檢查基板上形成的缺陷。其中，所述主圖像為通過用于檢查基板的光學(xué)系統(tǒng)來登記的，所述檢查圖像為通過光學(xué)系統(tǒng)對檢查對象基板中推定為存在缺陷的區(qū)域進(jìn)行拍攝而形成的圖像。
[0010]所述目的通過本發(fā)明的圖案缺陷檢查方法來實(shí)現(xiàn)，該圖案缺陷檢查方法的特征在于，包括:準(zhǔn)備步驟，準(zhǔn)備不存在缺陷的主板；登記步驟，利用光學(xué)系統(tǒng)，對所述主板的彼此不同的區(qū)域進(jìn)行多次拍攝并進(jìn)行結(jié)合后，登記為主圖像；拍攝步驟，對在檢查對象基板中推定為存在缺陷(defect)的檢查區(qū)域，通過所述光學(xué)系統(tǒng)以與所述主圖像相同的倍率進(jìn)行拍攝后，登記為檢查圖像；及匹配步驟，對所述主圖像與所述檢查圖像進(jìn)行匹配后，檢索所述檢查區(qū)域內(nèi)的缺陷(defect)。
[0011]在此，優(yōu)選所述登記步驟及所述拍攝步驟分別進(jìn)行多次，所述登記步驟在所述拍攝步驟之前至少進(jìn)行一次。
[0012]此外，優(yōu)選所述匹配步驟通過將所述主圖像上的與所述檢查圖像對應(yīng)的區(qū)域取代為所述檢查圖像，從而檢索所述缺陷。
[0013]此外，優(yōu)選所述光學(xué)系統(tǒng)具有可轉(zhuǎn)換的多個(gè)倍率，所述登記步驟按照所述光學(xué)系統(tǒng)的各個(gè)倍率，登記所述主圖像。
[0014]此外，優(yōu)選在所述匹配步驟之后進(jìn)一步包括確定步驟，利用在所述主圖像上的所述檢查圖像的位置及所述檢查圖像上的所述缺陷的位置中的至少一個(gè)來確定所述缺陷的位置。
[0015]此外，優(yōu)選進(jìn)一步包括缺陷處理步驟，當(dāng)通過所述確定步驟檢索到所述缺陷的位置時(shí)，在所述檢查對象基板上處理所述缺陷。
[0016]此外，優(yōu)選所述確定步驟將所述主圖像上的所述缺陷的位置設(shè)定為第一坐標(biāo)值，指定所述主圖像上的所述檢查圖像的位置并將其設(shè)定為第二坐標(biāo)值，通過所述第一坐標(biāo)值及所述第二坐標(biāo)值之間的變位，確定在所述檢查圖像上的所述缺陷的位置。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，提供一種圖案缺陷檢查方法，該圖案缺陷檢查方法能夠迅速且簡單地檢查到在基板上形成的缺陷。
[0018]此外，通過將主圖像事先或?qū)崟r(shí)登記，從而能夠最大限度地減少在檢查每個(gè)缺陷所需的時(shí)間。
[0019]此外，當(dāng)在基板上形成有缺陷時(shí)，能夠準(zhǔn)確地確認(rèn)缺陷的位置。
【附圖說明】
[0020]圖1為示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施例的基板缺陷的檢查方法的順序圖，
[0021]圖2為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法中的準(zhǔn)備步驟中所需的主板的圖，
[0022]圖3為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法中，對主板進(jìn)行多次拍攝，并登記為主圖像的登記步驟的圖，
[0023]圖4為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法的拍攝步驟中的檢查對象基板的圖，
[0024]圖5為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法中通過拍攝步驟拍攝的檢查圖像的圖，
[0025]圖6為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法中將檢查圖像匹配到主圖像上的匹配步驟的圖，
[0026]圖7為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法中用于檢查缺陷位置的確定步驟的圖。
[0027]附圖標(biāo)記說明
[0028]100:主圖像200:檢查圖像
[0029]S100:圖案缺陷檢查方法S110:準(zhǔn)備步驟
[0030]S120:登記步驟S130:拍攝步驟
[0031]S140:匹配步驟S150:確定步驟
[0032]S160:缺陷處理步驟
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面，參照附圖對本發(fā)明的一實(shí)施例的圖案缺陷的檢查方法S100進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0034]圖1為示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施例的基板缺陷的檢查方法S100的順序圖。
[0035]參照圖1，本發(fā)明的一實(shí)施例的基板缺陷的檢查方法S100即使在檢查對象基板為大面積的狀態(tài)下，也能夠迅速簡單地檢查到在檢查對象基板上是否形成有缺陷，該方法包括準(zhǔn)備步驟S110、登記步驟S120、拍攝步驟S130、匹配步驟S140、確定步驟S150及缺陷處理步驟S160。
[0036]圖2為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法S100中的準(zhǔn)備步驟中所需的主板的圖。
[0037]參照圖1，所述準(zhǔn)備步驟S110為準(zhǔn)備不存在缺陷的主板Μ的步驟。S卩，所謂的主板Μ意味著，用戶所要印刷的圖案印刷為超出用戶所要求的準(zhǔn)確性的基板。
[0038]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，主板Μ上的圖案10包括橫向和縱向排列的形狀圖案11及在形狀圖案11的上側(cè)形成的點(diǎn)圖案12。當(dāng)將形狀圖案11和在形狀圖案11的上側(cè)配置的點(diǎn)圖案12視作一組(set)時(shí)，以六組圖案作為一個(gè)單位來重復(fù)并具有周期性。
[0039]圖3為示意地表示在圖1的基板缺陷的檢查方法S100中，對主板進(jìn)行多次拍攝，并登記為主圖像的登記步驟的圖。
[0040]參照圖3，所述登記步驟S120為，利用第一倍率的光學(xué)系統(tǒng)，對主板Μ的彼此不同的區(qū)域進(jìn)行多次拍攝后進(jìn)行結(jié)合，并且登記為主板Μ的整體圖像即主圖像100的步驟。
[0041]在此，主圖像100為拍攝所述主板Μ而形成的圖像，在后述步驟中，該主圖像100成為判斷推定在檢查對象基板S上形成的缺陷是否為實(shí)質(zhì)上的缺陷的基準(zhǔn)，并且成為當(dāng)確認(rèn)為缺陷時(shí)檢索缺陷的準(zhǔn)確位置在哪個(gè)位置的基準(zhǔn)。
[0042]此外，主圖像100通過對主板Μ的彼此不同的區(qū)域進(jìn)行多次拍攝后，對其進(jìn)行結(jié)合而形成。進(jìn)一步，主圖像100可表示主板Μ的整體形貌，也可表示推定在主板Μ上形成有缺陷的區(qū)域的周邊區(qū)域的部分形貌。
[0043]在此，所謂的彼此不同的區(qū)域包括各區(qū)域設(shè)置為彼此獨(dú)立的區(qū)域的情況，也包括各區(qū)域邊緣的部分區(qū)域重疊設(shè)置的情況。
[0044]另外，在實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施例中使用的光學(xué)系統(tǒng)可以多個(gè)倍率轉(zhuǎn)換，并且可在各個(gè)倍率下，對主板Μ的彼此不同的區(qū)域分別進(jìn)行拍攝后進(jìn)行結(jié)合，從而登記多個(gè)主圖像。
[0045]例如，當(dāng)本發(fā)明的一實(shí)施例中的光學(xué)系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換為10倍、20倍及30倍中的一個(gè)倍率時(shí)，可登記分別在10倍、20倍及30倍下的主圖像。
[0046]此外，為了登記主圖像而對主板Μ進(jìn)行拍攝的光學(xué)系統(tǒng)，與在后述的拍攝步驟S130中針對檢查對象基板拍攝檢查圖像的裝置相同，最終主圖像100和檢查圖像200被拍攝為相同倍率的圖像。
[0047]在圖3所示的本發(fā)明的一實(shí)施例中，光學(xué)系統(tǒng)對主板Μ共四次進(jìn)行拍攝并進(jìn)行結(jié)合，從而登記主圖像。即，對左側(cè)上端的第一圖像110、右側(cè)上端的第二圖像120、左側(cè)下端的第三圖像130及右側(cè)下端的第四圖像140進(jìn)行結(jié)合，在各圖像之間的邊界都包括部分重疊的區(qū)域。
[0048]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，主圖像100具有與主板Μ相同地沿行和列排列的形狀圖案11及在形狀圖案11的上側(cè)形成的點(diǎn)圖案12，所