專利名稱：多級(jí)羅茨式無(wú)油真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空泵技術(shù)領(lǐng)域，特別是用于多級(jí)羅茨真空泵。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的羅茨真空泵一般采用單級(jí)結(jié)構(gòu)，雖然抽速較大，但極限真空不高，不能直排大氣，消耗功率也很大，轉(zhuǎn)子一般采用兩葉輪葉型，逆流氣冷效果不佳，而且工作時(shí)多需要連前級(jí)泵，因此真空環(huán)境會(huì)不同程度受到油蒸汽的污染。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述已知技術(shù)的不足之處，本實(shí)用新型提供一種多級(jí)羅茨式無(wú)油真空泵，該泵轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)可根據(jù)需要制成兩級(jí)或兩級(jí)以上，轉(zhuǎn)子端面形線采用三葉形線方案，以達(dá)到使該泵具有抽速高、耗電少、極限真空度高的目的。
本實(shí)用新型之結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是這樣實(shí)現(xiàn)的該泵由主、從動(dòng)軸、主、從動(dòng)轉(zhuǎn)子、兩端側(cè)蓋、泵體、級(jí)間隔板、主從動(dòng)齒輪、齒輪箱構(gòu)成(如圖1、2所示)，其結(jié)構(gòu)是，泵體兩端裝有側(cè)蓋，主從動(dòng)齒輪和主、從動(dòng)轉(zhuǎn)子安裝于主、從動(dòng)軸上，主、從動(dòng)軸兩端裝有端蓋，齒輪箱通過螺栓固定于側(cè)蓋，其中泵體采用上、下兩片分體結(jié)構(gòu)，上、下泵體隨轉(zhuǎn)子級(jí)數(shù)不同分有多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔，每?jī)蓚€(gè)泵腔之間有分體式的級(jí)間隔板分開，根據(jù)真空性能的需要，泵腔長(zhǎng)度從高真空級(jí)開始，逐級(jí)縮短，泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度根據(jù)泵腔長(zhǎng)度確定，并通過級(jí)間氣流通道相連，兩片泵體中有各自的水冷夾層，該泵的冷卻方式采用逆流氣冷；轉(zhuǎn)子端面形線采用三葉形，三葉成對(duì)稱分布(如圖3所示)，轉(zhuǎn)子形狀可通過調(diào)整b/R(轉(zhuǎn)子中心與齒峰圓弧圓心間距離/分度圓半徑)，這種形線使泵的容積利用系數(shù)增大，在抽速相同的情況下，減小了泵的體積；泵腔間的級(jí)間密封采用反螺旋密封結(jié)構(gòu)，該密封屬于動(dòng)密封；該泵的傳動(dòng)方式可以通過聯(lián)軸器直聯(lián)傳動(dòng)，也可以通過皮帶傳動(dòng)；既可以采取立式，也可以采用臥式；安裝在軸上的轉(zhuǎn)子可以是直齒形或是螺旋齒形的。
本實(shí)用新型與已有技術(shù)比較有如下優(yōu)點(diǎn)該泵工作時(shí)經(jīng)過逐級(jí)壓縮，增大壓縮比提高極限真空度，節(jié)約能源，在抽速相同的情況下減小了泵的體積，同時(shí)降低了氣流脈動(dòng)沖擊，減小噪音，并且實(shí)現(xiàn)直排大氣，不需要接前級(jí)泵即可工作，在抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受污染，適用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)剖面圖圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)斷面圖圖3為本實(shí)用新型轉(zhuǎn)子端面形線示意圖圖中1軸承左端蓋 2泵體左側(cè)蓋 3一級(jí)泵腔 4一、二級(jí)泵腔間級(jí)間隔板 5二級(jí)泵腔 6二、三級(jí)泵腔間級(jí)間隔板 7反螺旋密封結(jié)構(gòu) 8三級(jí)泵腔 9泵體右側(cè)蓋10軸承右端蓋 11主從動(dòng)齒輪 12齒輪箱 13上泵體 14從動(dòng)軸 15從動(dòng)轉(zhuǎn)子 16主動(dòng)轉(zhuǎn)子 17主動(dòng)軸 18氣流通道 19下泵體 20水冷夾層具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例為三級(jí)羅茨式無(wú)油真空泵，其結(jié)構(gòu)(如附圖1、2)所示，主從動(dòng)齒輪11和從動(dòng)轉(zhuǎn)子15、主動(dòng)轉(zhuǎn)子16安裝在從動(dòng)軸14和主動(dòng)軸17上，齒輪箱12通過螺栓固定于泵體右側(cè)蓋9，主、從動(dòng)軸兩端裝有軸承端蓋10和1，端蓋內(nèi)側(cè)為泵體左側(cè)蓋2和泵體右側(cè)蓋9，上泵體13與下泵體19通過螺栓聯(lián)接，形成三個(gè)密閉的泵腔3、5、8，兩級(jí)泵腔之間有兩片分體式的級(jí)間隔板4、6分開，并通過級(jí)間氣流通道18相連，泵腔間的級(jí)間密封采用反螺旋密封結(jié)構(gòu)7，其中上、下泵體13、19采用兩片分體結(jié)構(gòu)，兩片泵體13、19中有各自的水冷夾層20；轉(zhuǎn)子端面形線(如附圖3)所示，采取三葉形，三葉成對(duì)稱分布，每?jī)扇~間夾角120°，每個(gè)葉型由一段內(nèi)圓弧AB、一段外圓弧CD、及兩段擺線BC、DE構(gòu)成，轉(zhuǎn)子形狀可通過調(diào)整參數(shù)b/R的值而改變。
真空泵工作時(shí)，氣體先經(jīng)過高真空級(jí)壓縮，排出后通過氣流通道18進(jìn)入下一級(jí)，最后由低真空級(jí)排出，可實(shí)現(xiàn)直排大氣；該泵的轉(zhuǎn)子冷卻采用逆流氣冷方式，在氣流通道18上加回流通道，工作時(shí)，排出的氣體經(jīng)冷卻后有一部分從回流通道18返回本級(jí)泵腔，冷卻轉(zhuǎn)子，防止轉(zhuǎn)子因過熱膨脹，發(fā)生卡死；在級(jí)間的轉(zhuǎn)子軸段上加工螺旋槽，當(dāng)軸高速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，此結(jié)構(gòu)相當(dāng)于螺桿真空泵的作用，利用泵送效應(yīng)抽氣，實(shí)現(xiàn)密封效果。
權(quán)利要求1.一種多級(jí)羅茨式無(wú)油真空泵，由主從動(dòng)軸(14、17)、主從動(dòng)轉(zhuǎn)子(15)(16)、泵體左右端蓋(2)(9)、上下泵體(13)(19)、主從動(dòng)齒輪(11)、齒輪箱(12)組成，其特征在于，泵體采用兩片分體結(jié)構(gòu)，泵體隨轉(zhuǎn)子級(jí)數(shù)不同分有多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔(3)(5)(8)，每?jī)蓚€(gè)泵腔之間有分體式的級(jí)間隔板(4)(6)分開，并通過級(jí)間氣流通道(18)相連。
2.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔長(zhǎng)度從高真空級(jí)開始，逐級(jí)縮短。
3.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于轉(zhuǎn)子端面形線采用三葉形，三葉片成對(duì)稱分布，轉(zhuǎn)子形狀可通過調(diào)整參數(shù)b/R的值而改變，每個(gè)葉型由一段內(nèi)圓弧AB、一段外圓弧CD、及兩段擺線BC、DE構(gòu)成。
4.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于安裝在軸上的轉(zhuǎn)子為直齒形或螺旋齒形。
5.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于上、下泵體(13)(19)中有各自的水冷夾層(20)，轉(zhuǎn)子冷卻方式采用逆流氣冷。
6.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔間的級(jí)間密封為反螺旋密封結(jié)構(gòu)(7)。
7.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于該泵的傳動(dòng)方式為a通過聯(lián)軸器直聯(lián)傳動(dòng)，b通過皮帶傳動(dòng)。
8.按權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于泵體采取a立式，b臥式。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多級(jí)羅茨式無(wú)油真空泵，該泵由主從動(dòng)軸、主從動(dòng)轉(zhuǎn)子、兩端側(cè)蓋、泵體、級(jí)間隔板、主從動(dòng)齒輪構(gòu)成，其中泵體采用兩片分體結(jié)構(gòu)，兩片泵體中有各自的水冷夾層，泵體隨轉(zhuǎn)子級(jí)數(shù)不同分有多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔，兩極泵腔之間有兩片分體式的級(jí)間隔板分開，并通過級(jí)間氣流通道相連，轉(zhuǎn)子端面形成采用三葉形，本實(shí)用新型與已有技術(shù)比較有如下優(yōu)點(diǎn)工作時(shí)經(jīng)過逐級(jí)壓縮，增大壓縮比提高極限真空度，節(jié)約能源，在抽速相同的情況下減小了泵的體積，同時(shí)降低了氣流脈動(dòng)沖擊，減小噪音，并且實(shí)現(xiàn)直排大氣，不需要接前級(jí)泵即可工作，在抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受污染，適用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。
文檔編號(hào)F04C23/00GK2667203SQ20032010519
公開日2004年12月29日 申請(qǐng)日期2003年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月6日
發(fā)明者巴德純 申請(qǐng)人:巴德純