本公開涉及一種具有浮置金屬部分的半導(dǎo)體封裝件及其制造方法。
背景技術(shù):
1、許多應(yīng)用需要僅被流體包圍和/或能夠相對于靜止元件機(jī)械移動的金屬結(jié)構(gòu)。
2、us2015/084139a1公開了用于提供半導(dǎo)體封裝件的精確制造的結(jié)構(gòu)的技術(shù)和機(jī)制。在一個實(shí)施例中,半導(dǎo)體封裝件的堆積載體包括多孔電介質(zhì)材料。在多孔介電材料上設(shè)置籽晶銅和電鍍銅。執(zhí)行后續(xù)蝕刻以移除鄰近多孔介電材料的銅,從而形成將mems結(jié)構(gòu)的懸置部分與多孔介電材料分離的間隙。在另一實(shí)施例中,半導(dǎo)體封裝件包括設(shè)置在絕緣層的一些部分或氮化硅材料層的一些部分之間的銅結(jié)構(gòu)。氮化硅材料層將絕緣層耦合到另一絕緣層。絕緣層中的一個或兩個層均通過相應(yīng)的釋放層結(jié)構(gòu)被保護(hù),免于表面去污處理。
3、然而,us2015/084139a1中公開的技術(shù)不適用于后段制程(beol)處理。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、可能需要一種具有浮置金屬部分的半導(dǎo)體封裝件及一種用于制造適于beol處理的所述封裝件的方法。
2、示例公開一種半導(dǎo)體封裝件,其包括:半導(dǎo)體芯片;包封體,其中所述半導(dǎo)體芯片至少部分地嵌入所述包封體中;金屬結(jié)構(gòu),形成于所述包封體的外表面上,其中所述金屬結(jié)構(gòu)包括浮置部分,其中所述浮置部分浮置于所述包封體上,其中所述金屬結(jié)構(gòu)與所述半導(dǎo)體芯片電耦合。
3、其它示例公開一種用于制造半導(dǎo)體封裝件的方法,所述方法包括:提供至少部分嵌入包封體中的半導(dǎo)體芯片;在所述包封體上提供金屬結(jié)構(gòu);通過在包封體中形成凹陷來形成金屬結(jié)構(gòu)的浮置部分。
1.一種半導(dǎo)體封裝件(1000),包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件(1000),
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體封裝件(1000),其中所述金屬結(jié)構(gòu)(1005、0706)由第一金屬制成,其中所述第一金屬包括以下至少一者:銅cu、鋁al、鎢w、鎳ni、鈀pd、鉑pt。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件(1000),其中所述包封體(0102)包括凹陷(1007),其中所述浮置部分(1005)設(shè)置在所述凹陷(1007)上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體封裝件(1300),其中所述凹陷(1307)至少部分地被第二金屬(1308)覆蓋,其中所述第二金屬(1308)不同于所述第一金屬,或者所述第二金屬與所述第一金屬相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體封裝件(1300),其中所述第二金屬(1308)包括以下至少一者:銅cu、鋁al、鎢w、鎳ni、鈀pd、鉑pt。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件(1000),其中所述金屬結(jié)構(gòu)(0705;1305;1505;1705;1805;1905)是以下至少一者:加熱器(0705)、天線(1305)、揚(yáng)聲器(1505)、開關(guān)、電阻器(1705;1805;1905)、特別是氣體傳感器元件(1705;1805;1905)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件(1900),其中所述金屬結(jié)構(gòu)(1905)由蓋(1913)覆蓋。
9.根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件(1900),其中所述浮置部分(1905)被提供在所述包封體(1901、1902)的凹痕中。
10.根據(jù)權(quán)利要求4至9中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件(1000),其中所述凹陷(1007)具有矩形開口、特別是正方形開口,或者所述凹陷具有圓形開口、特別是圓形開口或橢圓形開口。
11.一種用于制造半導(dǎo)體封裝件(1000)、特別是根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體封裝件的方法,所述方法包括:
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中在所述包封體(0102)上提供所述金屬結(jié)構(gòu)(0705、0706)包括以下至少一項(xiàng):
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中在所述包封體(0102)上提供所述金屬結(jié)構(gòu)(0705、0706)包括結(jié)構(gòu)化所述第一金屬(0404)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的方法,其中在所述包封體(0102)中形成凹陷(1007)包括使用激光來去除所述包封體(0102)的一部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的方法,其中在所述包封體(0102)中形成凹陷(1007)包括蝕刻所述包封體(0102)的一部分。