一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于靶材機(jī)械加工裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種大尺寸靶材機(jī)械加工
目.ο
【背景技術(shù)】
[0002]目前大尺寸靶材在平板顯示、太陽能領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。以TFT為代表的大尺寸靶材多采用高純材料，該類材料特點(diǎn)為材料硬度低、厚度薄，形狀尺寸變化大，加工后零件表面不允許存在任何磕碰劃傷；加工中零件的裝夾面小，造成裝夾不牢固等問題。如圖1所示的一種現(xiàn)有的靶材加工方式，加工時需要對零件上下面和外形進(jìn)行加工，故將加工步驟分為兩道工序:首序:銑一側(cè)平面；需要人工找平墊鐵，因?yàn)橛卸鄩K墊鐵，所以必須以首塊墊鐵為基準(zhǔn)，找正其他墊鐵與基準(zhǔn)墊鐵平齊。二序:翻轉(zhuǎn)零件，銑另一側(cè)平面和外形，銑削前需要再次找正零件加工基準(zhǔn)。應(yīng)用中受人為因素影響較大。為解決上述問題，急需設(shè)計一套工裝，可以靈活的適應(yīng)不同零件的裝夾，同時工裝能夠提供足夠的夾緊力防止另加在加工中發(fā)生移動。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供了一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置。
[0004]—種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，該加工裝置中的一體式真空吸盤1、定位塊2、夾緊塊3安裝在底座4上，其中，底座4內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，兩端設(shè)有開口，其頂部設(shè)有一體式真空吸盤1，且一體式真空吸盤1上表面與底座4上表面持平；定位塊2上設(shè)有定位稍2-1，2至多個定位塊2固定在底座4內(nèi)部，使定位稍2-1分別靠近一體式真空吸盤1的一長邊和一短邊，且同一方向上的多個定位稍2-1對齊在同一條直線上，啟動時，定位稍2-1上升伸出底座4表面，關(guān)閉時，定位稍2-1下降沉于底座4表面以下；夾緊塊3上設(shè)有夾緊稍3-1，夾緊稍3-1的頂部為平面結(jié)構(gòu)，且夾緊稍3-1能夠前進(jìn)夾緊工件5，也能夠后退松開工件5，1至多個夾緊塊3固定在底座4頂部，靠近一體式真空吸盤1的另一長邊，且多個夾緊塊3對齊在同一條直線上；
[0005]該加工裝置配置三套輔助氣動裝置，氣動裝置與加工裝置之間采用氣管連接，其中氣動裝置一控制定位稍2-1的上升和下降，氣動裝置二控制夾緊稍3-1的前進(jìn)和后退，氣動裝置三控制一體式真空吸盤1的啟動和關(guān)閉。
[0006]優(yōu)選的，底座4上設(shè)有兩組夾緊塊3的安裝孔位，第二組安裝孔位相對于第一組安裝孔位向后錯開。加工寬度較小的工件5時，將1至多個夾緊塊3安裝在前面一組安裝孔位上；加工寬度較大的工件5時，將1至多個夾緊塊3安裝在后面一組安裝孔位上。
[0007]一體式真空吸盤1包括但不限于2000mmX 180mm和2300mmX 200mm兩種型號。
[0008]優(yōu)選的，一體式真空吸盤1上設(shè)有柔性裝置。柔性裝置可以是但不限于軟橡膠0型密封圈。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果為:
[0010]本實(shí)用新型所提供的一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置增加了一體式真空吸盤，一體式真空吸盤上的柔性裝置有效降低了靶材工件加工過程中的磕碰劃傷，獲得了更好的零件表面質(zhì)量。對一體式真空吸盤進(jìn)行了合理選型以及夾緊塊前后位置的調(diào)整可以實(shí)現(xiàn)不同長度和寬度工件的加工。對定位塊、夾緊塊進(jìn)行了合理布局及設(shè)計，保證工件在加工中定位準(zhǔn)確可靠且不發(fā)生干涉。該大尺寸靶材機(jī)械加工裝置結(jié)構(gòu)簡單，可加工不同長度和寬度的靶材工件，根據(jù)所需加工的工件尺寸快速定位并夾緊在加工裝置上，多道工序可在同一加工裝置上完成，減少了專用加工裝置數(shù)量，降低了加工成本。
【附圖說明】
[0011 ] 圖1為一種現(xiàn)有靶材機(jī)械加工方式示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置示意圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置沿A-A線的剖面圖；
[0014]圖4為本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置的底座示意圖；
[0015]圖5為本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置的夾緊塊示意圖；
[0016]圖6為本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置的定位塊示意圖；
[0017]圖7為實(shí)施例1 一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置靶材加工示意圖；
[0018]圖8為實(shí)施例2 —種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置靶材加工示意圖。
[0019]標(biāo)號說明:1_ 一體式真空吸盤；2_定位塊；2-1-定位稍；3_夾緊塊；3-1_夾緊稍；4-底座；5_工件。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面的實(shí)施例可以使本專業(yè)技術(shù)人員更全面的理解本實(shí)用新型，但不以任何方式限制本實(shí)用新型。
[0021]如圖1所示，本實(shí)用新型一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置包括底座4、定位塊2、夾緊塊3和一體式真空吸盤1，以及氣動裝置。如圖4所示，底座4上設(shè)有兩組夾緊塊3的安裝孔位，第二組安裝孔位相對于第一組安裝孔位向后錯開20mm。通過計算獲得工件5在加工時切向力F為119N，真空度P為0.95Kg，一體式真空吸盤1面積S最小為2000mmX 180mm = 3600cm2。通過吸力W計算公式W = 10.13.P.S/101得出吸力最小值ffnin= 10.13X0.95X3600/101 = 343.0N，安全系數(shù)最小值 K _= W_/F = 343.0/119 =
2.88，滿足安全系數(shù)>2.5的要求?？梢?，該加工裝置安全可靠。
[0022]該大尺寸靶材機(jī)械加工裝置配置三套輔助氣動裝置，氣動裝置與大尺寸靶材機(jī)械加工裝置之間采用氣管連接，其中氣動裝置一用于控制定位稍2-1的上升和下降，氣動裝置二控制夾緊稍3-1的前進(jìn)和后退，氣動裝置三控制一體式真空吸盤1的啟動和關(guān)閉。
[0023]通過調(diào)整夾緊塊3的前后位置以及選擇不同尺寸的一體式真空吸盤1，該加工裝置可用于不同尺寸和形狀的靶材工件5裝夾，并在同一加工裝置上實(shí)現(xiàn)多工序加工。因加工時需要對工件5上下面和外形進(jìn)行加工，故將加工步驟分為兩道工序:首序，銑一側(cè)平面；二序，翻轉(zhuǎn)零件，銑另一側(cè)平面和外形。具體如下:
[0024]首序:粗銑上平面
[0025]開啟氣動裝置一，定位稍2-1升起后，將工件5吊運(yùn)至加工裝置上靠近定位稍2-1。啟動氣動裝置二，夾緊稍3-1將工件5夾緊后(如圖7所示)，開始銑削平面。也可以啟動底座4上的一體式真空吸盤1，增加夾緊力。
[0026]二序:精銑下平面以及側(cè)邊
[0027]如圖8所示，工件5安裝步驟同首序，工件5夾緊后開啟一體式真空吸盤1將工件5牢固的吸附在加工裝置上，然后關(guān)閉氣動裝置一，使定位稍2-1下沉，高度低于底座4表面，同時關(guān)閉氣動裝置二，使夾緊稍3-1后退留出空隙保證刀具安全通過。
[0028]實(shí)施例1 2300_X 190mm、2300_X 210mm革巴材薄板加工
[0029]加工2300mmX 190mm靶材薄板時，夾緊塊3安裝在前面一組安裝孔位上，選擇尺寸為2000mmX 180mm的一體式真空吸盤1，只需要靶材薄板靠緊各定位稍2_1后用夾緊稍3_1夾緊即可進(jìn)行首序加工，銑下平面和四個側(cè)邊時，只需翻轉(zhuǎn)靶材薄板，定位稍2-1定位，夾緊稍3-1夾緊后，開啟一體式真空吸盤1，將靶材薄板吸緊后，關(guān)閉氣動裝置一使定位稍2-1沉于底座4表面之下，同時關(guān)閉氣動裝置二，使夾緊稍3-1后退留出空隙保證刀具安全通過即可進(jìn)行二序的加工。加工的切向力F為119N，真空度P為0.95Kg。通過吸力W計算公式W = 343.0N，安全系數(shù)K = W/F = 2.88，滿足安全系數(shù)>2.5。
[0030]加工2300mmX 210mm靶材薄板時，只需將夾緊塊3安裝在后面的一組安裝孔位上，選擇尺寸為2300mmX 200mm的一體式真空吸盤1，其余步驟與2300mmX 190mm革E材薄板加工方式相同。加工的切向力F為119N，真空度P為0.95Kgo通過吸力W計算公式W = 438.3N，安全系數(shù)K = W/F = 3.68，滿足安全系數(shù)>2.5。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，其特征在于，該加工裝置中的一體式真空吸盤(1)、定位塊(2)、夾緊塊(3)安裝在底座(4)上，其中，所述底座(4)內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，兩端設(shè)有開口，其頂部設(shè)有一體式真空吸盤(1)，且一體式真空吸盤(1)上表面與底座(4)上表面持平；所述定位塊(2)上設(shè)有定位稍(2-1)，2至多個定位塊(2)固定在底座(4)內(nèi)部，使定位稍(2-1)分別靠近一體式真空吸盤(1)的一長邊和一短邊，且同一方向上的多個定位稍(2-1)對齊在同一條直線上，啟動時，定位稍(2-1)上升伸出底座(4)表面，關(guān)閉時，定位稍(2-1)下降沉于底座⑷表面以下；所述夾緊塊(3)上設(shè)有夾緊稍(3-1)，夾緊稍(3-1)的頂部為平面結(jié)構(gòu)，且夾緊稍(3-1)能夠前進(jìn)夾緊工件(5)，也能夠后退松開工件(5)，1至多個夾緊塊(3)固定在底座(4)頂部，靠近一體式真空吸盤(1)的另一長邊，且多個夾緊塊(3)對齊在同一條直線上； 該加工裝置配置三套輔助氣動裝置，氣動裝置與加工裝置之間采用氣管連接，其中氣動裝置一控制定位稍(2-1)的上升和下降，氣動裝置二控制夾緊稍(3-1)的前進(jìn)和后退，氣動裝置三控制一體式真空吸盤(1)的啟動和關(guān)閉。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，其特征在于，所述底座(4)上設(shè)有兩組夾緊塊(3)的安裝孔位，第二組安裝孔位相對于第一組安裝孔位向后錯開。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，其特征在于，所述一體式真空吸盤(1)包括2000mmXI80mm和2300mmX 200mm兩種型號。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，其特征在于，所述一體式真空吸盤(1)上設(shè)有柔性裝置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置，其特征在于，所述柔性裝置為軟橡膠0型密封圈。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種大尺寸靶材機(jī)械加工裝置。該加工裝置中的一體式真空吸盤(1)、定位塊(2)、夾緊塊(3)安裝在底座(4)上。首序加工：開啟氣動裝置一，定位稍(2-1)升起后，將工件吊運(yùn)至加工裝置上靠近定位稍(2-1)，啟動氣動裝置二，夾緊稍(3-1)將工件夾緊后，開始銑削平面；二序加工：工件安裝步驟同首序，工件夾緊后開啟一體式真空吸盤(1)將工件牢固的吸附在加工裝置上，然后關(guān)閉氣動裝置一使定位稍(2-1)下沉于底座4表面以下，同時關(guān)閉氣動裝置二使夾緊稍(3-1)后退留出空隙保證刀具安全通過，精銑下平面以及側(cè)邊。該加工裝置可以實(shí)現(xiàn)不同長度和寬度工件的多道加工工序在同一加工裝置上完成。
【IPC分類】B23Q3/08
【公開號】CN204954431
【申請?zhí)枴緾N201520706899
【發(fā)明人】劉志杰, 王興權(quán), 萬小勇, 徐學(xué)禮, 于海洋, 羅俊鋒, 高巖, 曾浩
【申請人】有研億金新材料有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年9月11日