一種維修裝置及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種維修裝置及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]彩膜基板在制程過(guò)程中，如果受環(huán)境或設(shè)備內(nèi)部粉塵等異物污染，異物會(huì)殘留在彩膜基板各膜層中形成缺陷點(diǎn)，在最終產(chǎn)品中形成兩點(diǎn)、暗點(diǎn)、亮線等不良，所以在實(shí)際生產(chǎn)中必須對(duì)缺陷點(diǎn)進(jìn)行維修，提升良品率。
[0003]常用的彩膜基板不良維修方法為激光鐳射法，此方法利用紅外激光光束，對(duì)缺陷點(diǎn)進(jìn)行鐳射，使不良異物灰化，從而實(shí)現(xiàn)維修。但在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，由于彩膜基板上存在一定的像素和黑框矩陣，維修缺陷點(diǎn)時(shí)必須確保正常的像素和黑框矩陣不受影響，面積較大的缺陷點(diǎn)涉及多個(gè)像素，而現(xiàn)有鐳射技術(shù)只能對(duì)每個(gè)像素的開(kāi)口區(qū)域逐個(gè)維修，以保證黑框矩陣區(qū)域和正常像素不受影響。
[0004]現(xiàn)有的激光鐳射方案存在以下技術(shù)缺陷:
[0005]1、通常，一個(gè)一般大小的缺陷點(diǎn)需要鐳射至少30?40次，平均鐳射一次耗時(shí)約40秒，維修單個(gè)缺陷點(diǎn)耗時(shí)長(zhǎng)。此外，鐳射的同時(shí)需要確保黑框矩陣的完整性，必須對(duì)逐個(gè)開(kāi)口部?jī)?nèi)的黑色不良缺陷點(diǎn)逐一進(jìn)行鐳射，對(duì)于批量性的缺陷點(diǎn)或占像素點(diǎn)較多的缺陷點(diǎn)，維修耗時(shí)約需要30min，維修效率低，無(wú)法滿足實(shí)際生產(chǎn)效率的需求。
[0006]2、在TFT/LCD基板的制造過(guò)程中，最常見(jiàn)的工藝為采用掩膜板曝光制造具有一定像素周期的彩色濾光片，在曝光過(guò)程中如果掩膜板受到異物污染，在曝光中會(huì)產(chǎn)生共同缺陷，即在基板內(nèi)對(duì)稱(chēng)分布的、形態(tài)相同的缺陷。如圖1所示，圖中為一張彩膜基板，黑點(diǎn)表示形態(tài)相同、位置對(duì)稱(chēng)的缺陷點(diǎn)，共同缺陷通常為批量性發(fā)生的缺陷，但由于同一基板內(nèi)不同缺陷需要逐一維修，耗時(shí)長(zhǎng)，效率低，共同缺陷點(diǎn)較多時(shí)不得不放棄維修，造成極大的浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種維修裝置及系統(tǒng)，用以解決激光鐳射的效率低的問(wèn)題。
[0008]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題，采用如下技術(shù)方案:
[0009]本發(fā)明提供一種維修裝置，包括:用于放置彩膜基板的平臺(tái)和至少一組維修部，維修部設(shè)置在平臺(tái)的上方，包括:激光光束分散部件、用于發(fā)射激光的激光發(fā)射器和用于聚攏激光的擋板罩；
[0010]激光發(fā)射器設(shè)置于擋板罩的上方，并借助激光傳導(dǎo)光纖將激光傳導(dǎo)至擋板罩內(nèi)；[0011 ]激光光束分散部件設(shè)置在擋板罩內(nèi)，用于將激光發(fā)射器發(fā)射的激光分散為多個(gè)激光光束，以使所述激光光束分別鐳射彩膜基板的多個(gè)缺陷點(diǎn)。
[0012]優(yōu)選的，所述激光光束分散部件包括相互垂直且高度位置不同的第一擋板組和第二擋板組，第一擋板組包括多個(gè)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的第一擋板，第二擋板組包括多個(gè)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的第二擋板，第一擋板與第二擋板能夠形成多個(gè)開(kāi)口區(qū)域，以使激光通過(guò)所述開(kāi)口區(qū)域，并被分散為多個(gè)激光光束。
[0013]優(yōu)選的，所述第一擋板組還包括第一驅(qū)動(dòng)部，第一驅(qū)動(dòng)部與第一擋板相連，用于驅(qū)動(dòng)第一擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，以使兩兩相鄰的第一擋板之間形成狹縫；
[0014]所述第二擋板組還包括第二驅(qū)動(dòng)部，第二驅(qū)動(dòng)部與第二擋板相連，用于驅(qū)動(dòng)第二擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，以使兩兩相鄰的第二擋板之間形成狹縫；
[0015]兩兩相鄰的第一擋板之間形成的狹縫與兩兩相鄰的第二擋板之間形成狹縫形成所述開(kāi)口區(qū)域，當(dāng)各第一擋板均處于水平狀態(tài)時(shí)，第一擋板組閉合，當(dāng)各第二擋板均處于水平狀態(tài)時(shí)，第二擋板組閉合。
[0016]優(yōu)選的，各第一擋板的寬度相等，各第二擋板的寬度相等。
[0017]優(yōu)選的，在所述擋板罩的側(cè)壁上設(shè)置有一組第一滑軌和一組第二滑軌，第一滑軌相對(duì)設(shè)置于第一擋板的兩端的擋板罩的側(cè)壁上，第二滑軌相對(duì)設(shè)置于第二擋板的兩端的側(cè)壁上；
[0018]第一滑軌內(nèi)設(shè)置有第一滑塊，第一滑塊能夠在第一滑軌內(nèi)滑動(dòng)，設(shè)置在第一擋板兩端的第一滑塊能夠分別帶動(dòng)第一擋板的兩端向相反方向傾斜；
[0019]第二滑軌內(nèi)設(shè)置有第二滑塊，第二滑塊能夠在第二滑軌內(nèi)滑動(dòng)，設(shè)置在第二擋板兩端的第二滑塊能夠分別帶動(dòng)第二擋板的兩端向相反方向傾斜。
[0020]進(jìn)一步的，還包括顯微鏡，顯微鏡設(shè)置于所述激光光束分散部件的下方。
[0021]優(yōu)選的，所述平臺(tái)的上方設(shè)置有至少一個(gè)第一導(dǎo)軌和至少一個(gè)第二導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌與第二導(dǎo)軌相互垂直，第一導(dǎo)軌能夠沿第二導(dǎo)軌移動(dòng)；
[0022]所述激光發(fā)射器固定于第一導(dǎo)軌上，所述激光光束分散部件和擋板罩通過(guò)安裝背板固定于第一導(dǎo)軌上，所述安裝背板能夠沿第一導(dǎo)軌移動(dòng)。
[0023]優(yōu)選的，所述第二導(dǎo)軌為兩個(gè)，兩個(gè)第二導(dǎo)軌平行設(shè)置，第一導(dǎo)軌的兩端能夠分別在所述兩個(gè)第二導(dǎo)軌上移動(dòng)；
[0024]當(dāng)所述第一導(dǎo)軌為多個(gè)，且各第一導(dǎo)軌上均設(shè)置有多個(gè)維修部時(shí)，各第一導(dǎo)軌上的維修部數(shù)量相同且位置對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0025]進(jìn)一步的，所述維修裝置還包括粉塵吸收裝置，粉塵吸收裝置設(shè)置于所述安裝背板上，并位于所述激光光束分散部件與平臺(tái)之間，包括:粉塵回收器、粉塵聚集器和用于產(chǎn)生負(fù)壓的吸收管；
[0026]吸收管的前端設(shè)置有開(kāi)口，吸收管的末端與粉塵回收器相連，能夠利用負(fù)壓吸收激光鐳射缺陷點(diǎn)產(chǎn)生的粉塵；
[0027]粉塵聚集器呈圓弧狀，設(shè)置于吸收管的前端的開(kāi)口處，用于臨時(shí)收集激光鐳射缺陷點(diǎn)產(chǎn)生的粉塵。
[0028]進(jìn)一步的，所述粉塵吸收裝置還包括用于產(chǎn)生氣流的吹氣管，所述吹氣管呈鴨嘴型，且所述吹氣管的開(kāi)口低于所述吸收管的開(kāi)口。
[0029]優(yōu)選的，所述吸收管開(kāi)口向下且呈喇叭口狀。
[0030]本發(fā)明還提供一種維修系統(tǒng)，包括:檢查裝置、控制器和如前所述的維修裝置，
[0031]檢查裝置用于，確定缺陷點(diǎn)的坐標(biāo)；
[0032]控制器用于，根據(jù)所述缺陷點(diǎn)的坐標(biāo)，以及用戶輸入的缺陷點(diǎn)的尺寸，控制所述維修裝置的激光光束分散部件，在所述缺陷點(diǎn)的上方，將激光發(fā)射器發(fā)射的激光分散為與所述缺陷點(diǎn)數(shù)量相同、大小相等的激光光束。
[0033]本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)以下有益效果:
[0034]本發(fā)明利用平臺(tái)放置彩膜基板，在平臺(tái)上方利用擋板罩聚攏激光發(fā)射器發(fā)射的激光，并利用激光光束分散部件將激光分散為多個(gè)激光光束，以使各激光光束分別鐳射彩膜基板的多個(gè)缺陷點(diǎn)，從而實(shí)現(xiàn)利用一個(gè)激光源同時(shí)鐳射彩膜基板上的多個(gè)缺陷點(diǎn)，縮短缺陷點(diǎn)的維修時(shí)間，提高維修效率；即使一張彩膜基板上存在較多缺陷點(diǎn)，也可以同步維修，避免放棄維修帶來(lái)的浪費(fèi)。
【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1為彩膜基板上共同缺陷點(diǎn)的示意圖；
[0036]圖2a為本發(fā)明實(shí)施例提供的維修裝置的主視圖；
[0037]圖2b為本發(fā)明實(shí)施例提供的維修裝置的俯視圖；
[0038]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的激光光束分散部件的立體圖；
[0039]圖4a為本發(fā)明實(shí)施例提供的X方向擋板閉合時(shí)的示意圖；
[0040]圖4b為本發(fā)明實(shí)施例提供的X方向擋板打開(kāi)形成狹縫的示意圖；
[0041 ]圖4c為本發(fā)明實(shí)施例提供的Y方向擋板閉合時(shí)的示意圖；
[0042]圖4d為本發(fā)明實(shí)施例提供的Y方向擋板打開(kāi)形成狹縫的示意圖；
[0043]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的激光光束分散部件的俯視圖；
[0044]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的維修系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0045]圖例說(shuō)明:
[0046]1、平臺(tái)2、維修部3、激光發(fā)射器
[0047]4、擋板罩5、轉(zhuǎn)軸6、第一驅(qū)動(dòng)部
[0048]7、第二驅(qū)動(dòng)部 8、開(kāi)口區(qū)域 9、顯微鏡
[0049]10、安裝背板 11、第一導(dǎo)軌 12、第二導(dǎo)軌
[0050]13、粉塵回收器14、粉塵聚集器15、吹氣管
[0051]16、吸收管 41、第一滑軌 42、第二滑軌
[0052]411、第一滑塊 421、第二滑塊 61、檢查裝置
[0053]62、控制器 63、維修裝置
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面將結(jié)合本發(fā)明中的附圖，對(duì)本發(fā)明中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0055]本