一種基板承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器設(shè)計(jì)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在液晶顯示器領(lǐng)域，對(duì)于基板的濺射一般均采用豎式濺射法，其節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)空間且派射速度快。然而，目前的玻璃基板屬于超薄基板，只有0.5mm甚至于0.4或0.3mm，由于玻璃基板很薄，并且濺射腔內(nèi)在基板的濺射時(shí)是處于真空狀態(tài)的，因此無法利用真空吸附；目前用于運(yùn)輸基板的承載裝置主要利用夾具將玻璃基板夾在裝置內(nèi)，然而使用夾持器將基板固定在承載裝置上容易出現(xiàn)基板變形的問題，使得基板上鍍膜的均勻性較差，影響基板的質(zhì)量;另外使用夾持器固定基板，基板在運(yùn)輸過程中容易晃動(dòng)，存在脫落的風(fēng)險(xiǎn)，并且在基板厚度、變形有較大余量或間隙的情況下也很容易出現(xiàn)基板掉落的問題，若增大夾持器的加持能力，將很容易損壞基板，基板會(huì)出現(xiàn)碎片的可能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:傳統(tǒng)采用夾持器固定基板的方式存在基板變形、脫落的風(fēng)險(xiǎn)，因此需要提供一種能夠增加基板固定穩(wěn)定性的基板承載裝置。
[0005](二)技術(shù)方案
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種基板承載裝置，包括基臺(tái)及設(shè)于基臺(tái)上的壓合吸附機(jī)構(gòu)和粘性吸附機(jī)構(gòu)，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)由粘性材料制成，所述壓合吸附機(jī)構(gòu)用于使基板壓緊粘性吸附機(jī)構(gòu)。
[0007]可選地，所述壓合吸附機(jī)構(gòu)為真空吸附組件。
[0008]可選地，所述基臺(tái)上設(shè)有多個(gè)通孔，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)為多個(gè)能夠穿過所述通孔的粘性吸頭，所述粘性吸頭的下端設(shè)有由粘性材料構(gòu)成的吸盤。
[0009]可選地，所述吸盤的下表面上設(shè)有一圈凸起，所述凸起與吸盤的下表面之間構(gòu)成吸附腔，所述真空吸附組件包括設(shè)于所述粘性吸頭內(nèi)并與所述吸附腔連通的真空管道。
[0010]可選地，所述基臺(tái)上設(shè)有多個(gè)通孔，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)為設(shè)于基臺(tái)表面的第一粘性吸附層，所述第一粘性吸附層上對(duì)應(yīng)設(shè)有多個(gè)通孔，所述真空吸附組件包括支撐架和能夠穿過所述通孔的真空管，所述真空管靠近第一粘性吸附層的一端設(shè)有真空吸頭，另一端與支撐架相連。
[0011]可選地，還包括用于將基板從基臺(tái)上剝離的剝離頂針，所述基臺(tái)上設(shè)有供所述剝離頂針穿過的通孔。
[0012]可選地，還包括位于支撐架與基臺(tái)之間的支撐座，所述剝離頂針固定在所述支撐座上，且所述支撐座上還設(shè)有供所述真空管道穿過的通孔。
[0013]可選地，所述第一粘性吸附層的表面設(shè)有多個(gè)第一吸附凸塊。
[0014]可選地，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)為設(shè)于基臺(tái)上的第二粘性吸附層，所述壓合吸附機(jī)構(gòu)為設(shè)于基臺(tái)與第二粘性吸附層之間的靜電吸附層。
[0015]可選地，所述靜電吸附層由金屬電極材料制成。
[0016]可選地，在所述靜電吸附層和第二粘性吸附層之間還設(shè)有壓力測(cè)量層，所述壓力測(cè)量層用于測(cè)量靜電吸附層對(duì)于基板的吸附力。
[0017]可選地，所述第二粘性吸附層為設(shè)于基臺(tái)表面的多個(gè)由粘性材料制成的第二吸附凸塊，多個(gè)所述第二吸附凸塊的上表面位于同一平面內(nèi)。
[0018]可選地，所述粘性材料為丁腈橡膠。
[0019]可選地，所述基臺(tái)上還設(shè)有用于控制基板溫度的溫度控制機(jī)構(gòu)。
[0020](三)有益效果
[0021]本發(fā)明的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明提供了一種基板承載裝置，包括基臺(tái)及設(shè)于基臺(tái)上的壓合吸附機(jī)構(gòu)和粘性吸附機(jī)構(gòu)，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)由粘性材料制成，所述壓合吸附機(jī)構(gòu)用于使基板壓緊粘性吸附機(jī)構(gòu)。在使用機(jī)械手將基板放置基臺(tái)上時(shí)，通過壓合吸附機(jī)構(gòu)吸附基板，并將基板壓緊在粘性吸附機(jī)構(gòu)上，由粘性材料制成的粘性吸附機(jī)構(gòu)通過分子間作用力對(duì)基板進(jìn)行吸附，將基板固定在基臺(tái)上，解決了在濺射過程中無法進(jìn)行真空吸附，而使用夾持器進(jìn)行固定帶來的基板變形的、基板上鍍膜的均勻性較差的問題；與傳統(tǒng)的使用三角夾持器的固定方式相比，對(duì)于基板的固定更加穩(wěn)定牢固，基板的形變量更低，鍍膜的均一度得到很大的提高，同時(shí)也解決了基板因變形而脫落的缺陷。
【附圖說明】
[0022]本發(fā)明上述和/或附加方面的優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0023]圖1是采用本發(fā)明提供的基板承載裝置進(jìn)行基板鍍膜的示意圖；
[0024]圖2是本發(fā)明實(shí)施例一種基臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是本發(fā)明實(shí)施例一種吸頭吸附基板的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0026]圖4是本發(fā)明實(shí)施例二所述基板承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5是本發(fā)明實(shí)施例三所述基板承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6是本發(fā)明實(shí)施例三中第二粘性吸附層的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]其中圖1至圖6中附圖標(biāo)記與部件名稱之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為:
[0030]1、基臺(tái)，11、粘性吸頭，111、吸盤，112、凸起，113、吸附腔，114、真空管道，12、通孔，
13、第一粘性吸附層，131、支撐架，132、真空管，133、真空吸頭，134、支撐座，135、剝離頂針，136、第一吸附凸塊，14、第二粘性吸附層，141、靜電吸附層，142、壓力測(cè)量層，143、第二吸附凸塊，2、基板。
【具體實(shí)施方式】
[0031]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0032]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0033]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0034]如圖1所示，本發(fā)明提供了一種基板承載裝置，包括基臺(tái)I及設(shè)于基臺(tái)I上的壓合吸附機(jī)構(gòu)和粘性吸附機(jī)構(gòu)，所述粘性吸附機(jī)構(gòu)由粘性材料制成，所述壓合吸附機(jī)構(gòu)用于使基板壓緊粘性吸附機(jī)構(gòu)。
[0035]本發(fā)明提供的基板承載裝置，在進(jìn)行基板濺射工藝時(shí)，先使用機(jī)械手將基板放置基臺(tái)I上，通過壓合吸附機(jī)構(gòu)吸附基板，并將基板壓緊在粘性吸附機(jī)構(gòu)上，由粘性材料制成的粘性吸附機(jī)構(gòu)通過分子間作用力對(duì)基板進(jìn)行吸附，將基板固定在基臺(tái)I上，解決了在濺射過程中無法進(jìn)行真空吸附，而使用夾持器進(jìn)行固定帶來的基板變形的、基板上鍍膜的均勻性較差的問題;與傳統(tǒng)的使用三角夾持器的固定方式相比，對(duì)于基板的固定更加穩(wěn)定牢固，基板的形變量更低，鍍膜的均一度得到很大的提高，同時(shí)也解決了基板因變形而脫落的缺陷。
[0036]實(shí)施例一
[0037]如圖1所示，本實(shí)施例提供基板承載裝置，包括基臺(tái)I及設(shè)于基臺(tái)I上的壓合吸附機(jī)構(gòu)和粘性吸附機(jī)構(gòu)，所述壓合吸附機(jī)