掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，包括底板、固定在底板兩端的定位側(cè)板，位于所述定位側(cè)板之間的底板上相距設(shè)有：一對(duì)可作相近或相遠(yuǎn)移動(dòng)而吸附住待檢測(cè)掩膜板的吸盤(pán)體，所述吸盤(pán)體之間的底板上設(shè)有背光源，吸盤(pán)體內(nèi)設(shè)有氣體通道，吸盤(pán)體側(cè)面連接有若干個(gè)與氣體通道相通的氣接頭，擱置掩膜板處的吸盤(pán)體上表面具有與氣體通道相通的長(zhǎng)凹槽，所述的定位側(cè)板上設(shè)有從吸盤(pán)體兩端將吸盤(pán)體夾緊固定的緊固旋鈕。本實(shí)用新型通過(guò)吸盤(pán)體作相遠(yuǎn)或相近的移動(dòng)及內(nèi)設(shè)的背光源,滿(mǎn)足了不同尺寸規(guī)格掩模板光刻檢測(cè)的定位和背景光要求，實(shí)現(xiàn)了真空吸附不同規(guī)格掩膜板及背景采光目的，節(jié)省了作業(yè)時(shí)間，提高了檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種用于掩膜板光刻檢測(cè)的帶背光多功能吸盤(pán)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]吸盤(pán)裝置是半導(dǎo)體光刻檢測(cè)設(shè)備中用于吸附固定掩模板或硅片，以便對(duì)其進(jìn)行初步定位，保證在光刻檢測(cè)過(guò)程中，掩模板能隨工件臺(tái)以正確的路線和速度移動(dòng)，并準(zhǔn)確到達(dá)設(shè)定的位置。常用的吸盤(pán)裝置一般都是只能吸附一種尺寸規(guī)格的掩模板，不同尺寸規(guī)格的掩模板則需要更換不同規(guī)格的吸盤(pán)裝置才能使用。另外，常用的吸盤(pán)裝置都不帶背光結(jié)構(gòu)，對(duì)部分掩模板或硅片無(wú)法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)，或者使得檢測(cè)質(zhì)量大幅下降。而目前半導(dǎo)體光刻檢測(cè)行業(yè)發(fā)展的實(shí)際狀況是小批量、多樣化生產(chǎn)及多種檢測(cè)要求等逐漸增多，需要能夠在同一套吸盤(pán)裝置上對(duì)多種不同尺寸規(guī)格和特殊背光要求的掩模板進(jìn)行光刻檢測(cè)。而相關(guān)光刻檢測(cè)設(shè)備價(jià)值不菲，在實(shí)際光刻檢測(cè)生產(chǎn)過(guò)程中，設(shè)備的調(diào)試過(guò)程和調(diào)整工藝復(fù)雜而繁瑣，如果一套吸盤(pán)裝置只能對(duì)應(yīng)一種尺寸規(guī)格或要求的掩模板或硅片，將給實(shí)際光刻檢測(cè)生產(chǎn)加工帶來(lái)很大困擾，并且將嚴(yán)重降低生產(chǎn)加工效率。并且頻繁的部件更換還會(huì)給光刻檢測(cè)設(shè)備帶來(lái)不同程度的損害。因此迫切需要一種能夠適應(yīng)多種尺寸規(guī)格掩模板檢測(cè)需要且具有背光的吸盤(pán)裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:克服現(xiàn)有技術(shù)中之不足，提供一種掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，既能有效可靠吸附掩模板，提供必要的背景光需求，滿(mǎn)足掩模板加工或檢測(cè)工藝條件，又能非常便捷開(kāi)閉背光源和可靠地更換不同規(guī)格的掩模板。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，具有底板，所述的底板兩端分別設(shè)有定位側(cè)板，位于所述定位側(cè)板之間的底板上相距設(shè)有:一對(duì)可作相近或相遠(yuǎn)移動(dòng)而吸附住待檢測(cè)掩膜板的吸盤(pán)體，所述吸盤(pán)體之間的底板上設(shè)有背光源，吸盤(pán)體內(nèi)設(shè)有氣體通道，吸盤(pán)體側(cè)面連接有若干個(gè)與氣體通道相通的氣接頭，擱置掩膜板處的吸盤(pán)體上表面具有與氣體通道相通的長(zhǎng)凹槽，所述的定位側(cè)板上設(shè)有從吸盤(pán)體兩端將已定位好位置的吸盤(pán)體夾緊固定的緊固旋鈕。
[0005]具體說(shuō)，所述的底板上位于吸盤(pán)體兩端分設(shè)有直線導(dǎo)軌，吸盤(pán)體底面與直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。
[0006]為方便不同規(guī)格掩膜板的定位，所述的定位側(cè)板上開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)不同規(guī)格掩膜板的限位孔，吸盤(pán)體兩端具有與所述限位孔對(duì)應(yīng)的凹坑，限位孔內(nèi)設(shè)有卡入凹坑而定位吸盤(pán)體的限位銷(xiāo)。
[0007]進(jìn)一步地，所述的定位側(cè)板上對(duì)應(yīng)限位孔位置具有長(zhǎng)槽孔，緊固旋鈕通過(guò)長(zhǎng)槽孔與吸盤(pán)體兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體固定。
[0008]為更好地定位掩膜板，所述的吸盤(pán)體上位于長(zhǎng)凹槽兩端設(shè)有通過(guò)位置移動(dòng)而定位不同規(guī)格掩膜板的定位擋銷(xiāo)。
[0009]所述的吸盤(pán)體上位于長(zhǎng)凹槽外側(cè)設(shè)有確保吸盤(pán)體上表面氣體通道密封性的吸盤(pán)至
ΠΠ O
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過(guò)兩個(gè)相距設(shè)置的吸盤(pán)體在底板上作相遠(yuǎn)或相近的移動(dòng)，滿(mǎn)足了不同尺寸規(guī)格掩模板或硅片光刻檢測(cè)的定位要求，而設(shè)置在兩個(gè)吸盤(pán)體之間的背光源，可以為掩模板檢測(cè)過(guò)程提供背景光照明，便于掩模板實(shí)時(shí)清晰的檢測(cè)要求，從而實(shí)現(xiàn)了真空吸附不同規(guī)格掩膜板或硅片的目的，減少了諸如更換機(jī)臺(tái)或零部件以及安裝調(diào)整的麻煩，也解決了因?yàn)槿鄙俦彻鈱?dǎo)致的檢測(cè)失敗難題，節(jié)省了作業(yè)時(shí)間，提高了檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中1.底板2.定位側(cè)板3.吸盤(pán)體4.背光源5.氣接頭6.長(zhǎng)凹槽7.緊固旋鈕8.直線導(dǎo)軌9.限位孔10.限位銷(xiāo)11.長(zhǎng)槽孔12.定位擋銷(xiāo)13.吸盤(pán)蓋
【具體實(shí)施方式】
[0014]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0015]如圖1所示的一種掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，具有底板I，所述的底板I兩端分別固定有定位側(cè)板2，位于所述定位側(cè)板2之間的底板I上相距設(shè)有一對(duì)吸盤(pán)體3，所述吸盤(pán)體3垂直定位側(cè)板2且對(duì)稱(chēng)于底板I中心設(shè)置，底板I上位于吸盤(pán)體3兩端分固定有直線導(dǎo)軌8，吸盤(pán)體3底面與直線導(dǎo)軌8滑動(dòng)連接，從而使得吸盤(pán)體3在直線導(dǎo)軌8可作相近或相遠(yuǎn)的移動(dòng)，以吸附住不同規(guī)格的待檢測(cè)掩膜板，位于吸盤(pán)體3之間的底板I上通過(guò)螺釘固定有檢測(cè)時(shí)發(fā)光的背光源4，保證相關(guān)光刻檢測(cè)采圖的可靠穩(wěn)定與可行性。
[0016]所述吸盤(pán)體3內(nèi)設(shè)有氣體通道，吸盤(pán)體3側(cè)面連接有若干個(gè)與氣體通道相通的氣接頭5，放置掩膜板處的吸盤(pán)體3上表面具有與氣體通道相通的長(zhǎng)凹槽6，所述的定位側(cè)板2上設(shè)有從吸盤(pán)體3兩端將已定位好位置的吸盤(pán)體3夾緊固定的緊固旋鈕7，同時(shí)，在吸盤(pán)體3上位于長(zhǎng)凹槽6外側(cè)設(shè)有確保吸盤(pán)體3上表面氣體通道密封性的吸盤(pán)蓋13。
[0017]本實(shí)施方式中，選用了四英寸、五英寸以及六英寸三種規(guī)格的掩膜板，因此，在所述定位側(cè)板2上開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)這三種規(guī)格掩膜板的三個(gè)限位孔9，吸盤(pán)體3兩端分別具有與所述限位孔9對(duì)應(yīng)的凹坑，限位孔9內(nèi)設(shè)有卡入凹坑而定位吸盤(pán)體3的限位銷(xiāo)10。
[0018]所述的定位側(cè)板2上對(duì)應(yīng)三個(gè)限位孔9位置開(kāi)有長(zhǎng)槽孔11，緊固旋鈕7通過(guò)長(zhǎng)槽孔11與吸盤(pán)體3兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體3固定。
[0019]為了更好地定位上述三種規(guī)格的掩膜板，所述的吸盤(pán)體3上位于長(zhǎng)凹槽6兩端分別設(shè)有三個(gè)通過(guò)位置移動(dòng)而定位三種規(guī)格掩膜板的定位擋銷(xiāo)12，檢測(cè)哪種規(guī)格掩膜板，就把定位擋銷(xiāo)12放置在對(duì)應(yīng)位置的銷(xiāo)孔內(nèi)，從側(cè)面對(duì)掩膜板進(jìn)行定位。
[0020]如果需要光刻檢測(cè)四英寸規(guī)格的掩模板，則先將定位擋銷(xiāo)12放置于吸盤(pán)體3上對(duì)應(yīng)四英寸規(guī)格掩膜板的最里面的銷(xiāo)孔中，以便掩模板在吸盤(pán)體3上準(zhǔn)確定位;然后將兩個(gè)吸盤(pán)體3沿直線導(dǎo)軌8向內(nèi)移動(dòng)，靠近離底板I中心最近的第一個(gè)限位孔9位置，將限位銷(xiāo)10通過(guò)該限位孔9插入吸盤(pán)體3兩端的凹坑內(nèi)初步定位，然后將緊固旋鈕7通過(guò)長(zhǎng)槽孔11與吸盤(pán)體3兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體3固定牢靠，最后打開(kāi)真空栗抽取長(zhǎng)凹槽6內(nèi)真空，吸附住掩膜板，開(kāi)啟背光源4即可進(jìn)行四英寸掩模板的光刻檢測(cè)工作。
[0021]如果需要光刻檢測(cè)五英寸規(guī)格的掩模板，則先將定位擋銷(xiāo)12放置于吸盤(pán)體3上對(duì)應(yīng)五英寸規(guī)格掩膜板的中間的銷(xiāo)孔中，以便掩模板在吸盤(pán)體3上準(zhǔn)確定位;然后將兩個(gè)吸盤(pán)體3沿直線導(dǎo)軌8向外移動(dòng)，靠近中間的第二個(gè)限位孔9位置，將限位銷(xiāo)10通過(guò)該限位孔9插入吸盤(pán)體3兩端的凹坑內(nèi)初步定位，然后將緊固旋鈕7通過(guò)長(zhǎng)槽孔11與吸盤(pán)體3兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體3固定牢靠，最后打開(kāi)真空栗抽取長(zhǎng)凹槽6內(nèi)真空，吸附住掩膜板，開(kāi)啟背光源4即可進(jìn)行五英寸掩模板的光刻檢測(cè)工作。
[0022]如果需要光刻檢測(cè)六英寸規(guī)格的掩模板，則先將定位擋銷(xiāo)12放置于吸盤(pán)體3上對(duì)應(yīng)六英寸規(guī)格掩膜板的最外的銷(xiāo)孔中，以便掩模板在吸盤(pán)體3上準(zhǔn)確定位;然后將兩個(gè)吸盤(pán)體3沿直線導(dǎo)軌8繼續(xù)向外移動(dòng)，靠近最外邊的第三個(gè)限位孔9位置，將限位銷(xiāo)10通過(guò)該限位孔9插入吸盤(pán)體3兩端的凹坑內(nèi)初步定位，然后將緊固旋鈕7通過(guò)長(zhǎng)槽孔11與吸盤(pán)體3兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體3固定牢靠，最后打開(kāi)真空栗抽取長(zhǎng)凹槽6內(nèi)真空，吸附住掩膜板，開(kāi)啟背光源4即可進(jìn)行六英寸掩模板的光刻檢測(cè)工作。
[0023]當(dāng)然本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)還可以依據(jù)實(shí)際需要，設(shè)計(jì)出更多符合不同尺寸規(guī)格掩模板的結(jié)構(gòu)，以便用于吸附不同尺寸規(guī)格的掩模板，滿(mǎn)足市場(chǎng)需求的多樣性。
[0024]本實(shí)用新型通過(guò)兩個(gè)相距設(shè)置的吸盤(pán)體3在底板I上作相遠(yuǎn)或相近的移動(dòng)，滿(mǎn)足了不同尺寸規(guī)格掩模板或硅片光刻檢測(cè)的定位要求，而設(shè)置在兩個(gè)吸盤(pán)體3之間的背光源4，可以為掩模板檢測(cè)過(guò)程提供背景光照明，便于掩模板實(shí)時(shí)清晰的檢測(cè)要求，背光源4通過(guò)電控來(lái)實(shí)現(xiàn)即時(shí)開(kāi)啟，使用便捷方便，從而實(shí)現(xiàn)了真空吸附不同規(guī)格掩膜板或硅片的目的，減少了諸如更換機(jī)臺(tái)或零部件以及安裝調(diào)整的麻煩，也解決了因?yàn)槿鄙俦彻鈱?dǎo)致的檢測(cè)失敗難題，節(jié)省了作業(yè)時(shí)間，提高了檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量。
[0025]上述實(shí)施方式只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，具有底板(I)，其特征是:所述的底板(I)兩端分別設(shè)有定位側(cè)板(2)，位于所述定位側(cè)板(2)之間的底板(I)上相距設(shè)有:一對(duì)可作相近或相遠(yuǎn)移動(dòng)而吸附住待檢測(cè)掩膜板的吸盤(pán)體(3)，所述吸盤(pán)體(3)之間的底板(I)上設(shè)有背光源(4)，吸盤(pán)體(3)內(nèi)設(shè)有氣體通道，吸盤(pán)體(3)側(cè)面連接有若干個(gè)與氣體通道相通的氣接頭(5)，擱置掩膜板處的吸盤(pán)體(3)上表面具有與氣體通道相通的長(zhǎng)凹槽(6)，所述的定位側(cè)板(2)上設(shè)有從吸盤(pán)體(3)兩端將已定位好位置的吸盤(pán)體(3)夾緊固定的緊固旋鈕(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，其特征是:所述的底板(I)上位于吸盤(pán)體(3)兩端分設(shè)有直線導(dǎo)軌(8)，吸盤(pán)體(3)底面與直線導(dǎo)軌(8)滑動(dòng)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，其特征是:所述的定位側(cè)板(2)上開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)不同規(guī)格掩膜板的限位孔(9)，吸盤(pán)體(3)兩端具有與所述限位孔(9)對(duì)應(yīng)的凹坑，限位孔(9)內(nèi)設(shè)有卡入凹坑而定位吸盤(pán)體(3)的限位銷(xiāo)(10)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，其特征是:所述的定位側(cè)板(2)上對(duì)應(yīng)限位孔(9)位置具有長(zhǎng)槽孔(11)，緊固旋鈕(7)通過(guò)長(zhǎng)槽孔(11)與吸盤(pán)體(3)兩端螺紋連接而將吸盤(pán)體(3)固定。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，其特征是:所述的吸盤(pán)體(3)上位于長(zhǎng)凹槽(6)兩端設(shè)有通過(guò)位置移動(dòng)而定位不同規(guī)格掩膜板的定位擋銷(xiāo)(12)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板檢測(cè)用帶背光多功能吸盤(pán)裝置，其特征是:所述的吸盤(pán)體(3)上位于長(zhǎng)凹槽(6)外側(cè)設(shè)有確保吸盤(pán)體(3)上表面氣體通道密封性的吸盤(pán)蓋(13)。
【文檔編號(hào)】G03F1/84GK205485272SQ201620229308
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年3月23日
【發(fā)明人】陳新宏
【申請(qǐng)人】常州鴻開(kāi)電子科技有限公司