專(zhuān)利名稱(chēng)：石英導(dǎo)流錐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
石英導(dǎo)流錐一、技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型屬于一種單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶硅生產(chǎn)中使用的石英導(dǎo)流錐。二、技術(shù)背景:在現(xiàn)有的單晶硅規(guī)模化生產(chǎn)中，為了贏得并擴(kuò)大市場(chǎng)份額，需要從各方面入手，提高產(chǎn)品的內(nèi)在質(zhì)量，從而生產(chǎn)出高品質(zhì)的單晶硅。通過(guò)產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)化，降低單晶硅中的雜質(zhì)含量，尤其是金屬離子，就可顯著增加單晶硅少子的壽命，由此也可提高硅電池的轉(zhuǎn)換效率。單晶硅直拉是在高溫密閉環(huán)境中進(jìn)行，為了帶走高溫下?lián)]發(fā)的雜質(zhì)，則采用對(duì)爐內(nèi)抽真空進(jìn)行強(qiáng)制排氣，并始終保持低真空狀態(tài)，但單晶爐內(nèi)因結(jié)構(gòu)需要而局部會(huì)存在氣流循環(huán)薄弱部位，形成雜質(zhì)高聚集區(qū)，特別是在單晶硅生產(chǎn)后期，因單晶硅棒頭部進(jìn)入副爐室，而影響氣流循環(huán)，使聚集區(qū)內(nèi)的部分雜質(zhì)擴(kuò)散進(jìn)入單晶硅內(nèi)，這樣就造成了單晶硅雜質(zhì)含量的增加，尤其是爐蓋與石墨加熱系統(tǒng)上保溫蓋之間揮發(fā)并聚集的金屬離子，對(duì)單晶硅少子壽命影響更大。三、發(fā)明內(nèi)容:本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，而研制一種新型的石英導(dǎo)流錐，該石英導(dǎo)流錐可有效地克服現(xiàn)有技術(shù)帶來(lái)的上述不足，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，有效減少了單晶硅直拉過(guò)程中氣流循環(huán)薄弱區(qū)雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散，能夠顯著提高單晶硅品質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)，有較好的經(jīng)濟(jì)效益。其技術(shù)方案 是:這種石英導(dǎo)流錐的特征是根據(jù)單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管，在石英管的頭部設(shè)有帽檐，使用中石墨導(dǎo)流錐的帽檐卡在翻板閥閥口內(nèi)，翻板閥的尾部伸入到石墨導(dǎo)流錐的石英管內(nèi)?！案鶕?jù)單晶爐翻板閥閥口的尺寸是為了使制成的石英導(dǎo)流錐的尺寸大小能和翻板閥閥口的尺寸相互匹配，否則將會(huì)無(wú)法使用。本實(shí)用新型在研究和用于生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)中，石英導(dǎo)流錐的使用就能隔離了爐蓋與石墨加熱系統(tǒng)上保溫蓋之間的雜質(zhì)聞聚集區(qū)，從而有效減少了雜質(zhì)與單晶娃棒的接觸，提聞了單晶娃棒的品質(zhì)。本實(shí)用新型的石英導(dǎo)流錐，可有效地克服現(xiàn)有技術(shù)帶來(lái)的上述不足，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，有效減少了單晶硅直拉過(guò)程中氣流循環(huán)薄弱區(qū)雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散，能夠顯著提高單晶硅品質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)，有較好的經(jīng)濟(jì)效益。

:圖1為石英導(dǎo)流錐的主視結(jié)構(gòu)示意圖。圖1中:1、帽檐；2、石英管。下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。.[0013]五具體實(shí)施方式
:實(shí)施例1:圖1可作為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。先測(cè)得單晶爐翻板閥閥口的尺寸，再以測(cè)得的單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管
(2)，使制成的石英導(dǎo)流錐的尺寸大小能和翻板閥閥口的尺寸相互匹配，在石英管(2)的頭部設(shè)置帽檐(1)，使用中石墨導(dǎo)流錐的帽檐(I)卡在翻板閥閥口內(nèi)，翻板閥的尾部伸入到石墨導(dǎo)流錐的石英管(2)內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種石英導(dǎo)流錐，其特征是根據(jù)單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管，在石英管的頭部設(shè)有帽檐，使用中石英導(dǎo)流錐的帽檐卡在翻板閥閥口內(nèi)，翻板閥的尾部伸入到石墨導(dǎo)流錐的石英管內(nèi)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型屬于單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶硅生產(chǎn)中使用的石英導(dǎo)流錐。石英導(dǎo)流錐的特征是根據(jù)單晶爐翻板閥閥口的尺寸，采用高純石英為原料制作成石英管，在石英管的頭部設(shè)有帽檐，使用中石墨導(dǎo)流錐的帽檐卡在翻板閥閥口內(nèi)，翻板閥的尾部伸入到石墨導(dǎo)流錐的石英管內(nèi)。該石英導(dǎo)流錐可有效地克服現(xiàn)有技術(shù)帶來(lái)的上述不足，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，有效減少了單晶硅直拉過(guò)程中氣流循環(huán)薄弱區(qū)雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散，能夠顯著提高單晶硅品質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)，有較好的經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202989344SQ20122061523
公開(kāi)日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月20日
發(fā)明者閆衛(wèi)東, 李櫟 申請(qǐng)人:陽(yáng)光能源(青海)有限公司