專利名稱：形成導(dǎo)電圖案和制備陶瓷多層基材的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用光敏性導(dǎo)電漿料形成導(dǎo)電圖案的方法和制備陶瓷多層基材的方法。
近年來(lái)，日益要求用于移動(dòng)通信設(shè)備、衛(wèi)星廣播接收設(shè)備、計(jì)算機(jī)等的高頻電子元件具有小體積和高性能。同時(shí)，要求高頻電子元件的布線圖案提高密度和信號(hào)速度。為了提高布線圖案中的密度和信號(hào)速度，導(dǎo)電圖案(如布線和電極)必須制成較精細(xì)，從而形成較稠密的膜。
形成高頻電子元件的導(dǎo)電圖案的常規(guī)方法包括先使用導(dǎo)電漿料在絕緣底材上形成圖案，所述導(dǎo)電漿料包含多價(jià)金屬(如銅)粉末和有機(jī)載體(含有有機(jī)粘合劑和有機(jī)溶劑)。接著，干燥并燒制所得圖案。在該方法中，通常通過(guò)絲網(wǎng)印刷形成導(dǎo)電圖案，如此形成的導(dǎo)電圖案的寬度和間距下限約為50微米。
日本專利申請(qǐng)公開(kokai)No.99596/1998揭示了一種轉(zhuǎn)印方法，其中導(dǎo)電圖案形成于多個(gè)載體上，將這些圖案再轉(zhuǎn)印到生坯片上。與通過(guò)絲網(wǎng)印刷在生坯片上形成的導(dǎo)電圖案相比，通過(guò)該轉(zhuǎn)印方法可以抑制溢劑和模糊，以高精確度形成精密的導(dǎo)電圖案。然而，在該轉(zhuǎn)印方法中，導(dǎo)電圖案是通過(guò)絲網(wǎng)印刷形成在載體上的，因此導(dǎo)電圖案的寬度和間距的下限如所述常規(guī)方法一樣，約為50微米。
另外，日本專利申請(qǐng)公開(kokai)75039/1998和200260/1998和209334/1998揭示了一種方法，該方法使用上述轉(zhuǎn)印方法，用光敏性導(dǎo)電漿料通過(guò)光刻法在載體上形成導(dǎo)電圖案，將所得圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上。通過(guò)該方法，可以抑制導(dǎo)電圖案的溢劑和模糊，并形成非常精細(xì)的圖案，其寬度和間距為50微米或更小。
近來(lái)考慮到環(huán)境問(wèn)題，要求開發(fā)使用水和堿的光刻法。因此，光敏性有機(jī)粘合劑包含具有釋放質(zhì)子性能的酸性官能團(tuán)，如羧基。
在將該光敏性有機(jī)粘合劑用于上述轉(zhuǎn)印方法的情況下，尤其是當(dāng)多價(jià)金屬(如銅)的粉末用作導(dǎo)電材料時(shí)，多價(jià)金屬的離子會(huì)與有機(jī)粘合劑的陰離子反應(yīng)，這些陰離子形成于釋放質(zhì)子之后，由此通過(guò)離子交聯(lián)形成三維網(wǎng)絡(luò)。此外，光敏性導(dǎo)電漿料會(huì)變成凝膠。
當(dāng)光敏性導(dǎo)電漿料成為凝膠時(shí)，漿料具有高粘度，變得難以施涂在載體上。即使在膠凝作用之前將漿料施涂到載體上，在曝光和顯影過(guò)程中漿料中未曝光的部分會(huì)不溶解于顯影劑。此外，轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上的能力下降了。
為了防止光敏性導(dǎo)電漿料的膠凝作用，日本專利申請(qǐng)公開(kokai)218509/1997揭示了一種向漿料中混入含磷化合物(如磷酸)的方法，日本專利申請(qǐng)公開(kokai)218508/1997和209334/1998揭示了一種向漿料中混入具有吡咯結(jié)構(gòu)的化合物(如苯并三唑)的方法。然而，這些方法在實(shí)踐中只能稍微阻止?jié){料的膠凝作用，用上述轉(zhuǎn)印方法難以形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
此外，為了有效地防止光敏性漿料的膠凝作用，日本專利申請(qǐng)公開(kokai)171107/1998揭示了一種向漿料中加入3-甲基-3-甲氧基丁醇的方法。然而，3-甲基-3-甲氧基丁醇的沸點(diǎn)低至174℃，因此當(dāng)將形成于載體上的膜干燥時(shí)，3-甲基-3-甲氧基丁醇會(huì)從膜中汽化，阻止膠凝作用的效果會(huì)大大地降低。如上所述，當(dāng)涂膜在干燥后變成凝膠時(shí)，該膜的未曝光部分可能不溶于顯影劑，由此轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上的能力可能下降。
為了克服上述問(wèn)題，本發(fā)明的較佳實(shí)施方案提供了一種形成導(dǎo)電圖案的方法，該方法能夠充分地抑制光敏性導(dǎo)電涂料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，能夠以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
此外，本發(fā)明的較佳實(shí)施方案提供了一種陶瓷多層基材，它通過(guò)在陶瓷生坯片上以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案而具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度。
因此，本發(fā)明提供一種形成導(dǎo)電圖案的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇(mono-ol)化合物；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；和將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到基材上。下文中本方法將被稱為本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第一種方法。
本發(fā)明還提供了一種形成導(dǎo)電圖案的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和能夠吸附有機(jī)粘合劑中的陰離子的陰離子吸附用物質(zhì)；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；和將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到基材上。下文中本方法將被稱為本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第二種方法。
本發(fā)明還提供了一種形成導(dǎo)電圖案的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和觸變劑；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；和將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到基材上。下文中本方法將被稱為本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第三種方法。
本發(fā)明還提供了一種制備陶瓷多層基材的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上；和將多塊具有導(dǎo)電圖案的陶瓷生坯片疊放起來(lái)，燒制所得的疊層件。下文中本方法被稱為本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第一種方法。
本發(fā)明還提供了一種制備陶瓷多層基材的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和能夠吸附有機(jī)粘合劑中的陰離子的陰離子吸附用物質(zhì)；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上；和將多塊具有導(dǎo)電圖案的陶瓷生坯片疊放起來(lái)，燒制所得的疊層件。下文中本方法被稱為本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第二種方法。
本發(fā)明還提供了一種制備陶瓷多層基材的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和觸變劑；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上；和將多塊具有導(dǎo)電圖案的陶瓷生坯片疊放起來(lái)，燒制所得的疊層件。下文中本方法被稱為本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第三種方法。
在本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第一種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含一種或多種沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
在本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第一種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度在陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。結(jié)果，能夠制得具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度的陶瓷多層基材。
與有機(jī)粘合劑的酸性官能團(tuán)(特別是羧基)相比，一元醇化合物中的羥基具有非常強(qiáng)的與多價(jià)金屬離子結(jié)合的能力。因此，一元醇化合物與多價(jià)金屬離子之間的反應(yīng)優(yōu)先于有機(jī)粘合劑與離子間的反應(yīng)，因此阻礙了有機(jī)粘合劑和多價(jià)金屬離子間的離子交聯(lián)和三維網(wǎng)絡(luò)的形成。由于一元醇化合物只具有一個(gè)羥基，因此當(dāng)它與多價(jià)金屬離子結(jié)合時(shí)不會(huì)由離子交聯(lián)形成三維網(wǎng)絡(luò)。此外，該一元醇化合物的沸點(diǎn)約為178℃或更高，因此即使在施涂并干燥光敏性導(dǎo)電漿料之后，該化合物還大量地保留在經(jīng)干燥的組合物中，顯示充足的阻止膠凝作用的能力。由此可以進(jìn)行穩(wěn)定的顯影處理。
在本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第二種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含一種或多種陰離子吸附用物質(zhì)，如羥基磷灰石，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
在本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第二種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含陰離子吸附用物質(zhì)，如羥基磷灰石，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度在陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。結(jié)果，能夠制得具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度的陶瓷多層基材。
能形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案的原因在于當(dāng)具有吸附陰離子性能的陰離子吸附用物質(zhì)與含有能夠釋放質(zhì)子的酸性官能團(tuán)(如羧基)的有機(jī)粘合劑混合時(shí)，陰離子吸附用物質(zhì)吸附有機(jī)粘合劑釋放質(zhì)子后產(chǎn)生的陰離子，由此在所得混合物中形成微結(jié)構(gòu)，如微相分離的物質(zhì)。結(jié)果，該混合物在宏觀上是均勻的，盡管在微觀上不均勻，難以由離子交聯(lián)形成三維網(wǎng)絡(luò)。
在本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的第三種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含一種或多種觸變劑(觸變調(diào)節(jié)劑)，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
在本發(fā)明制備陶瓷多層基材的第三種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含觸變劑，由此能夠充分地抑制漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，以高精確度在陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。結(jié)果，能夠制得具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度的陶瓷多層基材。
能形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案的原因在于當(dāng)觸變劑混入含有光敏性有機(jī)粘合劑的光敏性導(dǎo)電漿料時(shí)，觸變劑與有機(jī)粘合劑的聚合物鏈發(fā)生纏結(jié)，由此形成所謂的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。光敏性導(dǎo)電漿料和膜的膠凝作用是通過(guò)有機(jī)粘合劑的陰離子和多價(jià)金屬離子間的離子結(jié)合來(lái)進(jìn)行。然而，陰離子和金屬離子必須足夠靠近以使得這些離子的庫(kù)侖力互相作用而形成離子鍵。此外，當(dāng)通過(guò)混入觸變劑形成網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)時(shí)，需要額外的能量來(lái)打破該結(jié)構(gòu)并形成離子鍵。因此，難以通過(guò)離子交聯(lián)形成多價(jià)金屬的三維網(wǎng)絡(luò)，能夠抑制光敏性導(dǎo)電漿料和膜的膠凝作用。


圖1A至1E示出了本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法的一個(gè)實(shí)施方案的進(jìn)程圖；圖2是用本發(fā)明方法制得的陶瓷多層基材的剖面示意圖。
以下說(shuō)明本發(fā)明的形成導(dǎo)電圖案的第一種方法和制備陶瓷多層基材的第一種方法。
在本發(fā)明的形成導(dǎo)電圖案的第一種方法和制備陶瓷多層基材的第一種方法中，沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物的例子包括1-辛醇、2-辛醇、壬醇、癸醇、1-甲基環(huán)己醇、三甲基環(huán)己醇、乙二醇單醋酸酯、二甘醇一丁醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一己醚、二甘醇一甲醚、二甘醇一甲醚、二甘醇一乙烯基醚、雙丙甘醇一甲醚、雙丙甘醇一乙醚、雙丙甘醇一丁醚、乙二醇異戊醚、乙二醇苯基醚、乙二醇芐基醚、三甲基己醇、四氫糠醇、甲酚、乳酸丁酯、芐醇、丙烯酸羥乙酯、苯乙醇、巰基丁醇、甲基丙烯酸羥乙酯、羥乙基哌嗪、環(huán)己酮肟、羥基甲氧基烯丙基苯、羥基甲氧基苯甲醛、羥基甲基哌嗪、羥基丙腈、羥基乙酰萘、羥基苯甲醛、羥基乙酰苯、羥基苯并咪唑、苯基苯酚、羥基苯甲酸、羥基二苯甲酮、苯偶姻、百里酚、羥基甲氧基苯甲酸、羥基甲基苯甲酸、羥基甲基吡喃酮、羥基萘甲酸、羥基萘醌、羥基降冰片烯二羧酰亞胺、羥基苯乙酸、羥基苯基甘氨酸、羥基鄰苯二甲酰亞胺、羥基新戊酸新戊二醇酯、羥基苯基乙基甲酮、羥基硬脂酸、羥基丁二酸酰亞胺、羥基甲苯甲酸、季戊四醇二丙烯酸酯—硬脂酸酯，以及它們的混合物。
一元醇化合物的摩爾量較好是光敏性導(dǎo)電漿料中釋放于溶液部分的多價(jià)金屬離子量的至少兩倍。當(dāng)一元醇化合物的摩爾量少于兩倍時(shí)，難以充分地阻止?jié){料的膠凝作用。釋放的多價(jià)金屬離子的摩爾量可以用已知技術(shù)進(jìn)行測(cè)量，例如在通過(guò)離心和過(guò)濾將漿料的固相部分和溶液部分彼此分離之后，用原子吸收分光光度法ICP和ICP-MS進(jìn)行測(cè)量。
當(dāng)光敏性導(dǎo)電漿料包含有機(jī)溶劑時(shí)，該漿料的一元醇化合物含量較好約為10-92％(重量)，以一元醇化合物和有機(jī)溶劑的總量計(jì)。當(dāng)一元醇化合物的量低于約10％(重量)時(shí)，難以充分地抑制漿料的膠凝作用；而當(dāng)其含量高于約92％(重量)時(shí)，漿料的粘度顯著下降，漿料的可涂覆性能變差。一元醇化合物可用作光敏性導(dǎo)電漿料中的有機(jī)溶劑。
接著說(shuō)明形成導(dǎo)電圖案的第二種方法和制備陶瓷多層基材的第二種方法。
在形成導(dǎo)電圖案的第二種方法和制備陶瓷多層基材的第二種方法中，上述陰離子吸附用物質(zhì)是平均粒度較好約為0.01-50微米的微粒形式。具有如此粒度的微粒形式的陰離子吸附用物質(zhì)能有效地吸附有機(jī)粘合劑的陰離子。
上述陰離子吸附用物質(zhì)可以是無(wú)機(jī)微?；蛴袡C(jī)微粒形式。合適的無(wú)機(jī)微粒材料的例子包括羥基磷灰石、水滑石、磷酸鋯和水合氧化銻。有機(jī)微粒材料的例子包括陰離子交換樹脂。具體例子包括(1)二乙烯基苯與丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物，其中引入了伯、仲、叔或季氨基作為離子交換基團(tuán)；(2)三乙烯基苯與丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物，其中引入了伯、仲、叔或季氨基作為離子交換基團(tuán)；(3)三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯與丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物，其中引入了伯、仲、叔或季氨基作為離子交換基團(tuán)；和(4)乙二醇二甲基丙烯酸酯與丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物，其中引入了伯、仲、叔或季氨基作為離子交換基團(tuán)。
接著說(shuō)明形成導(dǎo)電圖案的第三種方法和制備陶瓷多層基材的第三種方法。
在形成導(dǎo)電圖案的第三種方法和制備陶瓷多層基材的第三種方法中，光敏性導(dǎo)電漿料包含用量約為0.001-30％(重量)的上述觸變劑，以漿料的總量計(jì)，較好約為0.1-10％(重量)。當(dāng)該用量低于約0.001％(重量)時(shí)，難以充分地阻止膠凝作用，而當(dāng)該用量超過(guò)約30％(重量)時(shí)，漿料由于粘度過(guò)高而難以處理。
一般來(lái)說(shuō)，任何用于增稠、阻止流動(dòng)和阻止沉降的試劑，用于阻止流動(dòng)和阻止沉降的試劑，用于潤(rùn)濕和分散顏料并阻止沉降的試劑都可以用作上述觸變劑。用于增稠、阻止流動(dòng)和阻止沉降的試劑的例子包括聚合的植物油、聚醚酯表面活性劑、氫化蓖麻油、氫化蓖麻油/酰胺的混合物和脂肪酸酰胺蠟。可以使用的用于阻止流動(dòng)和阻止沉降的試劑的例子包括特定脂肪酸、硫酸酯型陰離子表面活性劑、聚環(huán)氧乙烷和聚環(huán)氧乙烷/酰胺的混合物?？梢允褂玫挠糜跐?rùn)濕和分散顏料并阻止沉降的試劑的例子包括脂族多價(jià)羧酸、高分子量聚酯的胺鹽、聚醚酯陰離子表面活性劑、高分子量聚羧酸的長(zhǎng)鏈胺鹽、長(zhǎng)鏈聚氨基酰胺和高分子量聚酯酸的鹽、長(zhǎng)鏈聚氨基酰胺和磷酸的鹽、特定的改性聚酰胺、磷酸酯表面活性劑、高分子量聚酯酸的酰氨基胺鹽。
在本發(fā)明中，已知的可光聚合化合物或可光轉(zhuǎn)變化合物可用作上述光敏性有機(jī)組分。例子包括
(1)具有反應(yīng)性官能團(tuán)(如不飽和基團(tuán))的單體或低聚物與光自由基引發(fā)劑(如芳族羰基化合物)的混合物；(2)重氮樹脂，如芳族雙疊氮化物(bisazide)和甲醛的縮合物；(3)可加成聚合的化合物(如環(huán)氧化合物)與光致成酸劑(photo-acid-generator)(如二芳基碘鎓鹽)的混合物；和(4)萘醌二疊氮化物(naphthoquinonediazide)。其中，特別好的是具有反應(yīng)性官能團(tuán)(如不飽和基團(tuán))的單體或低聚物與光自由基引發(fā)劑(如芳族羰基化合物)的混合物。
具有反應(yīng)性官能團(tuán)的單體或低聚物的例子包括己二醇三丙烯酸酯、三丙二醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙烯酸十八烷基酯、丙烯酸四氫糠酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸異辛酯、丙烯酸十三烷基酯、丙烯酰己內(nèi)酯、乙氧基化壬基苯酚丙烯酸酯、1，3-丁二醇丙烯酸酯、1，4-丁二醇丙烯酸酯、1，9-壬二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯三丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化甘油三丙烯酸酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、羥基五丙烯酸二季戊四醇酯、乙氧基化四丙烯酸季戊四醇酯、甲基丙烯酸四氫糠酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸異癸酯、甲基丙烯酸月桂酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、EO改性的異氰脲酸二丙烯酸酯、乙氧基化對(duì)枯基苯酚丙烯酸酯、乙基己基卡必醇丙烯酸酯、N-乙烯基-2-吡咯烷酮、丙烯酸異冰片酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、五丙烯酸二季戊四醇酯和六丙烯酸二季戊四醇酯。
上述光自由基生成劑的例子包括偶苯酰、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻異丙醚、二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯甲酰-4′-甲基二苯硫、芐基二甲基縮酮、2-正丁氧基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、2-氯噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、對(duì)二甲基氨基苯甲酸乙酯、對(duì)二甲基氨基苯甲酸異戊酯、3，3′-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、2，4-二甲基噻噸酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、甲基苯甲酰甲酸酯、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、二(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，4-三甲基戊基氧化膦和二(2，4，6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦。
在本發(fā)明中，上述具有酸性官能團(tuán)(如羧基)的有機(jī)粘合劑可以是具有羧酸側(cè)鏈(carboxylic side chain)的丙烯酸類共聚物。上述多價(jià)金屬粉末的材料可以是選自銅、鋁、鈀、鎳和鐵中的至少一種。術(shù)語(yǔ)“多價(jià)金屬”是指化合價(jià)至少為2的金屬。
用于制備導(dǎo)電漿料的常用導(dǎo)電材料包括Cu、Al、Pd、Ni、Fe、Pt、Au、Ag、Mo、W，以及它們的合金。尤其是當(dāng)導(dǎo)電金屬粉末混入光敏性導(dǎo)電漿料中時(shí)，由Cu、Al、Pd、Ni和Fe，或者它們的合金形成的多價(jià)金屬粉末在漿料或漿料涂膜中釋放相應(yīng)的離子，而這些被釋放的離子與含有具備釋放質(zhì)子性能的酸性官能團(tuán)(如羧基)的有機(jī)粘合劑反應(yīng)，從而導(dǎo)致膠凝。然而，當(dāng)根據(jù)本發(fā)明采取措施阻止膠凝時(shí)，膠凝可以被有效地阻止，并可以得到優(yōu)良的性能，例如對(duì)載體的可施涂性、顯影時(shí)的溶解性和向生坯片的可轉(zhuǎn)印性。
具體而言，當(dāng)上述有機(jī)粘合劑是具有羧酸側(cè)鏈的丙烯酸類共聚物，上述導(dǎo)電金屬粉末是多價(jià)金屬(如銅、鋁、鈀、鎳或鐵)粉末時(shí)，往往特別容易形成由離子交聯(lián)產(chǎn)生的三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。上述一元醇化合物、陰離子吸附用化合物和/或觸變劑可加入該體系中以顯著地阻止該體系的膠凝作用。
上述丙烯酸類共聚物可以通過(guò)共聚不飽和羧酸和烯鍵式不飽和化合物來(lái)制得。不飽和羧酸的例子包括丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來(lái)酸、富馬酸、乙酸乙烯酯，以及它們的酐。烯鍵式不飽和化合物的例子包括丙烯酸酯類，如丙烯酸甲酯和丙烯酸乙酯；甲基丙烯酸酯類，如甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸乙酯；富馬酸酯類，如富馬酸一乙酯?；蛘?，也可以使用引入了如下形式不飽和鍵的上述丙烯酸類共聚物(1)通過(guò)具有能與上述丙烯酸類共聚物的側(cè)鏈中的羧基反應(yīng)的官能團(tuán)(如環(huán)氧基)的丙烯酸類單體的加成得到的丙烯酸類共聚物，和(2)通過(guò)使不飽和一元羧酸與側(cè)鏈上具有環(huán)氧基而不是羧基的丙烯酸類共聚物反應(yīng)，再加入飽和或不飽和的多元羧酸酐得到的丙烯酸類共聚物。
本發(fā)明的光敏性導(dǎo)電漿料可含有任選的添加劑，包括貯存穩(wěn)定劑(如阻聚劑)；抗氧化劑；染料；顏料；消泡劑和表面活性劑。上述有機(jī)溶劑可選自已知的有機(jī)溶劑。
參照?qǐng)D1A-1E具體說(shuō)明本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法的一種模式。
如圖1A所示，通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布、絲網(wǎng)印刷或刮刀涂布將光敏性導(dǎo)電漿料施涂到載體1上，該漿料于50-150℃干燥10分鐘至2小時(shí)，由此形成漿料膜2。
接著，如圖1B所示，將來(lái)自曝光量為20-5,000mJ/cm2的高壓汞燈的激活光束通過(guò)具有所需圖案的掩膜(mask)5射向形成于載體1上的膜2，如此膜2曝光于預(yù)定的圖案。結(jié)果，該膜被光束射到的部分(曝光部分)3a和3b被固化，這些部分在隨后的顯影處理中變成不被顯影的區(qū)域。
接著，如圖1C所示，通過(guò)噴淋器向具有曝光部分3a和3b與未曝光部分2a、2b和2c的膜噴灑被廣泛應(yīng)用的堿水溶液(如碳酸鈉水溶液)。結(jié)果，未曝光的部分2a、2b和2c溶解在堿水溶液中(發(fā)生顯影)，在載體1上形成導(dǎo)電圖案3a和3b。
隨后，如圖1D所示，使用典型的熱壓儀器于1-200MPa和50-150℃熱壓5秒種至5分鐘，將形成于載體1上的導(dǎo)電圖案3a和3b熱轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片6上。
然后，如圖1E所示，將載體1從陶瓷生坯片6上剝離，由此以高精確度在生坯片6上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案3a和3b。
因此，在本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法中，可以抑制光敏性導(dǎo)電漿料的膠凝作用，因此將漿料施涂到載體上可以平穩(wěn)地進(jìn)行。此外，可以充分地抑制經(jīng)干燥的漿料膜的膠凝作用，從而可以穩(wěn)定地進(jìn)行曝光和顯影。因此，可以以高精確度在任意基材上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
適合用作轉(zhuǎn)印用載體1的典型的膜型載體包括聚酯膜、聚丙烯膜和尼龍膜。為了增強(qiáng)導(dǎo)電圖案的可轉(zhuǎn)印性，可以對(duì)膜型載體進(jìn)行模剝離處理，如施涂硅涂層、蠟涂層或蜜胺涂層。然而，本發(fā)明的光敏性導(dǎo)電漿料顯示特別優(yōu)良的可轉(zhuǎn)印性，因此載體很少需要該剝離處理。載體和陶瓷生坯片之間的可剝離性會(huì)變小，這取決于用于生坯片的有機(jī)粘合劑類型。在這種情況下，載體可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行已知的表面處理。
在上述方法中，陶瓷生坯片可用作導(dǎo)電圖案形成于其上的基材，但是本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法不限于在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。該方法可應(yīng)用于多種基材，包括在絕緣陶瓷層、介電陶瓷層和印刷基材上形成導(dǎo)電圖案。此外，光敏性導(dǎo)電漿料可以是負(fù)像漿料或正像漿料。
參見(jiàn)圖2說(shuō)明用本發(fā)明制備陶瓷多層基材的方法制得的陶瓷多層基材。
如圖2所示，陶瓷多層基材11是多層電路基材，它包含絕緣層12a、12b、12c、12d、12e和12f，以及介電層13a和13b。在陶瓷多層基材11中，使用內(nèi)層導(dǎo)電圖案15和通孔16形成電容器圖案、線圈圖案和條線。此外，在陶瓷多層基材11的主要表面上放置著片形元件20(如片形電容器)、厚膜電阻器21和半導(dǎo)體集成電路22，這些元件與表層導(dǎo)電圖案17和內(nèi)層導(dǎo)電圖案15相連。
陶瓷多層基材11可以用例如以下方法制得。
混合玻璃粉末、陶瓷粉末和有機(jī)載體，制備用于絕緣陶瓷生坯片的漿料。用同樣的方法制備用于介電陶瓷生坯片的漿料。用刮刀方法將如此制備的各漿料形成片，于50-150℃干燥，如此形成絕緣陶瓷生坯片和介電陶瓷生坯片。
在如此形成的各陶瓷生坯片上形成用作電容器圖案、線圈圖案等的導(dǎo)電圖案。根據(jù)需要，在各生坯片上形成通孔。在這種情況下，用圖1A-1E所示的本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法形成導(dǎo)電圖案。
隨后，將形成有導(dǎo)電圖案和通孔的陶瓷生坯片疊放起來(lái)，加壓并于預(yù)定的溫度進(jìn)行燒制。用同樣的方法(即本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法)在表面層上形成導(dǎo)電圖案。此后，將片形元件20和半導(dǎo)體集成電路22放在表面層上，將厚膜電阻器21印刷在表面層上。
在本發(fā)明制備陶瓷多層基材的方法中，可以抑制光敏性導(dǎo)電漿料的膠凝作用，因此將漿料施涂到載體上可以平穩(wěn)地進(jìn)行。此外，可以充分地抑制經(jīng)干燥的漿料膜的膠凝作用，從而可以穩(wěn)定地進(jìn)行曝光和顯影。因此，可以以高精確度在用作基材的陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。結(jié)果，可以制得具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度的陶瓷多層基材。
上述陶瓷多層基材可以用作多層基材，用于高頻片形電子元件(如片形電感器和片形層狀電容器)，高頻模塊(如PLL模塊和電壓控制振蕩器)，或者用于混合集成電路。
接著通過(guò)實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明。
實(shí)施例1混合下述各組成材料，用三輥磨機(jī)捏合所得混合物，由此制備光敏性導(dǎo)電漿料。有機(jī)粘合劑甲基丙烯酸和甲基丙烯酸甲酯的共聚物，其中甲基丙烯酸與甲基丙烯酸甲酯的重量比為25/75(重均分子量＝50,000)∶2.0克導(dǎo)電材料銅粉末9.0克含反應(yīng)性官能團(tuán)的單體三羥甲基丙烷三丙烯酸酯1.0克光聚合引發(fā)劑2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮0.4克2，4-二乙基噻噸酮0.1克有機(jī)溶劑二甘醇一乙醚乙酸酯4.0克一元醇化合物雙丙甘醇一甲醚4.0克隨后，用旋轉(zhuǎn)涂布裝置將如此制得的光敏性導(dǎo)電漿料施涂到聚酯膜上，于50℃干燥1小時(shí)，由此形成厚度為20微米的膜。此后，將高壓汞燈光束以250mJ/cm2通過(guò)具有線寬/間距(line/space，L/S)＝20/20(μm)的圖案的掩膜射到如此形成的膜上。用碳酸鈉水溶液對(duì)所得膜進(jìn)行顯影，在聚酯膜上形成L/S＝20/20(μm)的導(dǎo)電圖案。使其靜置200個(gè)小時(shí)，將聚酯膜疊放在陶瓷生坯片上，于10MPa和60℃熱壓該疊層件1分鐘。隨后，剝?nèi)ゾ埘ツ?，?dǎo)電圖案熱轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上。此后，對(duì)該生坯片進(jìn)行脫脂處理，于900℃在空氣中燒制，由此形成L/S＝15/20(μm)、厚度為8微米的導(dǎo)電圖案。
實(shí)施例2重復(fù)實(shí)施例1的方法，不同的是用1-庚醇代替雙丙甘醇一甲醚來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
實(shí)施例3重復(fù)實(shí)施例1的方法，不同的是用2-辛醇代替雙丙甘醇一甲醚來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
實(shí)施例4重復(fù)實(shí)施例1的方法，不同的是用乳酸丁酯代替雙丙甘醇一甲醚來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
比較例1重復(fù)實(shí)施例1的方法，不同的是用3-甲氧基-3-甲基丁醇代替雙丙甘醇一甲醚來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
比較例2重復(fù)實(shí)施例1的方法，不同的是用4-甲基環(huán)己醇代替雙丙甘醇一甲醚來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
測(cè)量實(shí)施例1-4和比較例1-2中形成的導(dǎo)電圖案的在陶瓷生坯片上的轉(zhuǎn)印百分率。結(jié)果示于表1。各一元醇化合物的沸點(diǎn)也示于表1。術(shù)語(yǔ)“轉(zhuǎn)印百分率(percenttransfer)”是指轉(zhuǎn)印后在陶瓷生坯片上的導(dǎo)電圖案面積與轉(zhuǎn)印前在聚酯膜上的導(dǎo)電圖案面積的比。在這種情況下，轉(zhuǎn)印百分率小意味著導(dǎo)電圖案留在了聚酯膜上。
由表1可見(jiàn)，實(shí)施例1-4將包含沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物的光敏性導(dǎo)電漿料用于形成導(dǎo)電圖案，圖案在陶瓷生坯片上的轉(zhuǎn)印百分率非常高。結(jié)果表明，通過(guò)上述轉(zhuǎn)印方法以高精確度在陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。于此相反，在比較例1和2的情況下，使用的漿料所含的一元醇化合物的沸點(diǎn)低于約178℃，圖案在陶瓷生坯片上的轉(zhuǎn)印百分率非常低。結(jié)果表明，在聚酯膜上可能發(fā)生了膜或?qū)щ妶D案的膠凝作用。
將實(shí)施例1制得的光敏性導(dǎo)電漿料于20℃在空氣中貯存，以評(píng)定其貯存穩(wěn)定性。結(jié)果是該漿料在剛制備后未膠凝，在制備后1天、3天、1周和1個(gè)月也未膠凝。在上述每段時(shí)間之后，該漿料能夠用旋轉(zhuǎn)涂覆裝置施涂到聚酯膜上，可以用該漿料通過(guò)光刻法形成導(dǎo)電圖案。
實(shí)施例5混合下述各組成材料，用三輥磨機(jī)捏合所得混合物，由此制備光敏性導(dǎo)電漿料。有機(jī)粘合劑甲基丙烯酸和甲基丙烯酸甲酯的共聚物，其中甲基丙烯酸與甲基丙烯酸甲酯的重量比為25/75(重均分子量＝50,000)∶2.0克陰離子吸附用微粒羥基磷灰石(平均粒度5微米)0.1克導(dǎo)電材料銅粉末9.0克含反應(yīng)性官能團(tuán)的單體三羥甲基丙烷三丙烯酸酯1.0克光聚合引發(fā)劑2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮0.4克2，4-二乙基噻噸酮0.1克有機(jī)溶劑二甘醇一乙醚乙酸酯4.0克丙二醇一甲醚乙酸酯1.0克隨后，用旋轉(zhuǎn)涂布裝置將如此制得的光敏性導(dǎo)電漿料施涂到聚酯膜上，于50℃干燥1小時(shí)，由此形成厚度為20微米的膜。此后，將高壓汞燈光束以250mJ/cm2通過(guò)具有線寬/間距(L/S)＝20/20(μm)的圖案的掩膜射到如此形成的膜上。用碳酸鈉水溶液對(duì)所得膜進(jìn)行顯影，在聚酯膜上形成L/S＝20/20(μm)的導(dǎo)電圖案。使其靜置200個(gè)小時(shí)，將聚酯膜疊放在陶瓷生坯片上，于10MPa和60℃熱壓該疊層件1分鐘。隨后，剝?nèi)ゾ埘ツ?，?dǎo)電圖案熱轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上。此后，對(duì)該生坯片進(jìn)行脫脂處理，于900℃在空氣中燒制，由此形成L/S＝15/20(μm)、厚度為8微米的導(dǎo)電圖案。
實(shí)施例6重復(fù)實(shí)施例5的方法，不同的是用觸變劑(Disparlon 305，Kusumoto Chemicals，Ltd.的產(chǎn)品氫化蓖麻油型)(0.1克)代替羥基磷灰石來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例5的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
比較例3重復(fù)實(shí)施例5的方法，不同的是不加入羥基磷灰石，制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例5的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
比較例4重復(fù)實(shí)施例5的方法，不同的是用磷酸(0.1克)代替羥基磷灰石來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例5的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
比較例5重復(fù)實(shí)施例5的方法，不同的是用苯并三唑(0.02克)代替羥基磷灰石來(lái)制備光敏性導(dǎo)電漿料。此外，使用由此制得的漿料重復(fù)實(shí)施例5的過(guò)程，由此在陶瓷生坯片上形成導(dǎo)電圖案。
評(píng)定實(shí)施例5和6以及比較例3-5中形成的導(dǎo)電圖案在陶瓷生坯片上的轉(zhuǎn)印百分率，結(jié)果示于表2。
由表2可見(jiàn)，實(shí)施例5將含有作為陰離子吸附用物質(zhì)的羥基磷灰石的光敏性導(dǎo)電漿料用于形成導(dǎo)電圖案，在陶瓷生坯片上的圖案轉(zhuǎn)印百分率非常高。同樣，實(shí)施例6使用了含有觸變劑的光敏性導(dǎo)電漿料，在陶瓷生坯片上的圖案轉(zhuǎn)印百分率非常高。結(jié)果表明，通過(guò)上述轉(zhuǎn)印方法能以高精確度在陶瓷生坯片上形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。于此相反，比較例3-5中的在陶瓷生坯片上的圖案轉(zhuǎn)印百分率非常低。結(jié)果表明，在聚酯膜上可能發(fā)生了膜的膠凝作用。
將實(shí)施例5和6制得的光敏性導(dǎo)電漿料于20℃在空氣中貯存，以評(píng)定其貯存穩(wěn)定性。結(jié)果是該漿料在剛制備后未膠凝，在制備后1天、3天、1周和1個(gè)月也未膠凝。在上述每段時(shí)間之后，任一種漿料都能用旋轉(zhuǎn)涂覆裝置施涂到聚酯膜上，可以用每種漿料通過(guò)光刻法形成導(dǎo)電圖案。用與這些漿料所用相同的方法，評(píng)定比較例3制得的光敏性導(dǎo)電漿料的貯存穩(wěn)定性。然而，該漿料在制備后24個(gè)小時(shí)就發(fā)生膠凝，不能用該漿料在聚酯膜上形成導(dǎo)電圖案。
如上所述，當(dāng)使用所述轉(zhuǎn)印方法時(shí)，能夠阻止光敏性導(dǎo)電漿料的膠凝，在陶瓷生坯片上以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
在本發(fā)明形成導(dǎo)電圖案的方法中，光敏性導(dǎo)電漿料含有沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物，陰離子吸附用物質(zhì)(如羥基磷灰石)和/或觸變劑，因此充分地抑制了漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，可以以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。
在本發(fā)明制備陶瓷多層基材的方法中，光敏性導(dǎo)電漿料含有沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物，陰離子吸附用物質(zhì)(如羥基磷灰石)和/或觸變劑，因此充分地抑制了漿料和經(jīng)干燥膜的膠凝作用，可以在陶瓷生坯片上以高精確度形成精細(xì)的導(dǎo)電圖案。結(jié)果，可以制得具有充分提高的信號(hào)速度和布線密度的陶瓷多層基材。
權(quán)利要求
1.一種形成導(dǎo)電圖案的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和選自以下物質(zhì)組中的至少一種物質(zhì)(a)沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物；(b)能夠吸附有機(jī)粘合劑中的陰離子的陰離子吸附用物質(zhì)和(c)觸變劑；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；和將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到基材上。
2.如權(quán)利要求1所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述一元醇。
3.如權(quán)利要求2所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中所述一元醇選自雙丙甘醇一甲醚、庚醇和辛醇。
4.如權(quán)利要求1所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述陰離子吸附用物質(zhì)。
5.如權(quán)利要求4所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中所述陰離子吸附用物質(zhì)是羥基磷灰石。
6.如權(quán)利要求1所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述觸變劑。
7.如權(quán)利要求6所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中所述觸變劑是以平均粒度約為0.01-50微米的微粒形式存在。
8.如權(quán)利要求7所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中所述觸變劑是氫化蓖麻油。
9.如權(quán)利要求1所述的形成導(dǎo)電圖案的方法，其中多價(jià)金屬粉末是選自銅、鋁、鈀、鎳和鐵中的至少一種金屬或者它們的合金的粉末。
10.一種制備陶瓷多層基材的方法，該方法包括以下步驟在載體上施涂光敏性導(dǎo)電漿料，所述光敏性導(dǎo)電漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末和選自以下物質(zhì)組中的至少一種物質(zhì)(a)沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物；(b)能夠吸附有機(jī)粘合劑中的陰離子的陰離子吸附用物質(zhì)和(c)觸變劑；通過(guò)光敏性導(dǎo)電漿料的曝光和顯影形成預(yù)定的導(dǎo)電圖案；將形成于載體上的導(dǎo)電圖案轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片上；和將多塊具有導(dǎo)電圖案的陶瓷生坯片疊放起來(lái)，燒制所得的疊層件。
11.如權(quán)利要求10所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述一元醇。
12.如權(quán)利要求11所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中所述一元醇選自雙丙甘醇-甲醚、庚醇和辛醇。
13.如權(quán)利要求10所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述陰離子吸附用物質(zhì)。
14.如權(quán)利要求13所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中所述陰離子吸附用物質(zhì)是羥基磷灰石。
15.如權(quán)利要求10所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中選自所述物質(zhì)組中的物質(zhì)是所述觸變劑。
16.如權(quán)利要求15所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中所述觸變劑是以平均粒度約為0.01-50微米的微粒形式存在。
17.如權(quán)利要求16所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中所述觸變劑是氫化蓖麻油。
18.如權(quán)利要求10所述的制備陶瓷多層基材的方法，其中多價(jià)金屬粉末是選自銅、鋁、鈀、鎳和鐵中的至少一種金屬或者它們的合金的粉末。
全文摘要
揭示了一種形成導(dǎo)電圖案的方法,它包括:將光敏性導(dǎo)電漿料施涂到載體1上,形成膜2,所述漿料包含具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑、光敏性有機(jī)組分、多價(jià)金屬粉末,以及沸點(diǎn)約為178℃或更高的一元醇化合物、陰離子吸附用材料和/或觸變劑;對(duì)膜2進(jìn)行曝光和顯影,由此形成導(dǎo)電圖案3a和3b;將形成于載體1上的導(dǎo)電圖案3a和3b轉(zhuǎn)印到陶瓷生坯片6上。本發(fā)明還揭示了制備陶瓷多層基材的方法。
文檔編號(hào)H05K3/20GK1270494SQ0010485
公開日2000年10月18日 申請(qǐng)日期2000年3月27日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月25日
發(fā)明者久保田正博, 伊波通明, 渡邊靜晴 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所