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一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置的制造方法

文檔序號:8564552閱讀:210來源:國知局
一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及激光器安裝裝置,特別是一種太陽能硅片缺陷檢測線陣激光器安
【背景技術】
[0002]光伏產(chǎn)業(yè)在清潔能源中扮演著越來越重要的角色,太陽電池的制造商正在花大力氣提高生產(chǎn)效率,在增大產(chǎn)能的同時降低生產(chǎn)成本。這樣,在生產(chǎn)過程中的檢測系統(tǒng)就變得至關重要。太陽電池的原始電池硅片在生產(chǎn)過程中就存在黑芯、黑邊、裂紋、位錯、厚度不均、含雜質(zhì)等問題,由于它非常脆弱,在生產(chǎn)過程中,很容易造成肉眼無法察覺的破損,所以盡早發(fā)現(xiàn)不合格的電池硅片,避免它流入下一道工藝,不僅可以減少浪費,還可以盡早發(fā)現(xiàn)工藝中存在的問題。
[0003]現(xiàn)在使用的PL檢測系統(tǒng),是根據(jù)光致發(fā)光原理,采集原始太陽電池硅片熒光信號并用相機成像,通過圖像分析來檢測原始太陽電池硅片的裂紋、黑芯、黑邊、位錯、含雜質(zhì)等缺陷,判斷硅片的質(zhì)量。一種線陣激光器在檢測太陽能電池硅片缺陷系統(tǒng)中得到廣泛的應用。線陣激光光斑聚焦在一條很窄的線上,使用線陣掃描相機拍攝激光照射的光線位置,對線陣掃描的圖像進行線性分析,從而大大提高了檢測速度。但線陣激光器的安裝定位、對位調(diào)節(jié)等問題一直困擾著太陽電池硅片PL檢測整機的檢測精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是提供一種線陣激光器的安裝裝置,其可以實現(xiàn)線陣激光器及的x、y軸方向的單向調(diào)節(jié),同時可以實現(xiàn)線陣光斑在xy面的轉(zhuǎn)動,入射角度的調(diào)整,入射偏角的調(diào)整。裝置很好的實現(xiàn)線陣激光器對激光光斑的姿態(tài)調(diào)整,安裝快捷,調(diào)節(jié)方便、定位精確。
[0005]本實用新型的技術解決方案是:
[0006]一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置,其包括上安裝支板、軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組;其中所述的軸向調(diào)節(jié)組在水平面任一軸方向上移動,轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組繞z軸方向上的轉(zhuǎn)動軸發(fā)生轉(zhuǎn)動,入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組繞其底座偏轉(zhuǎn);所述的軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組以任意順序依次相連,位于連接關系一端的與上安裝支板連接,位于連接關系另一端的設置有將所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器固定在其上的激光器固定構件。
[0007]優(yōu)選地,所述的安裝支板上開設有若干個安裝孔。
[0008]或者優(yōu)選地,所述的軸向調(diào)節(jié)組,轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組分別設有移動卡死機構,轉(zhuǎn)動卡死機構和偏轉(zhuǎn)卡死機構。
[0009]更優(yōu)選地,所述的上安裝支板上設有水平軸向滑軌,軸向調(diào)節(jié)組滑動地吊裝在滑軌中;轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組吊裝在軸向調(diào)節(jié)組上并與軸向調(diào)節(jié)組轉(zhuǎn)動連接;入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組吊裝在轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組上并與轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組偏轉(zhuǎn)相連,所述的入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組設有激光器固定構件。
[0010]本實用新型解決了現(xiàn)有技術中線陣激光器照射線型光斑的位置及角度調(diào)節(jié)問題,可以實現(xiàn)調(diào)節(jié)精度高且穩(wěn)定性好的線陣激光器安裝。裝置調(diào)整位置精確,性能穩(wěn)定,結(jié)構緊湊,安裝與拆卸方便。
【附圖說明】
[0011]圖1為實施例一的y軸向視圖。
[0012]圖2為實施例一的X軸向視圖。
[0013]圖3為實施例一的軸測圖。
[0014]I一上安裝支板;2—y軸向調(diào)節(jié)機構;3—轉(zhuǎn)向定位機構;4一偏轉(zhuǎn)定位機構;5—激光器固定構件;6—線陣激光器;7—入射角調(diào)節(jié)機構;8—轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步描述。
[0016]如附圖所示,所述一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置包括上安裝支板l、y軸向調(diào)節(jié)機構2、轉(zhuǎn)向定位機構3、偏轉(zhuǎn)定位機構4、激光器固定構件5、線陣激光器6、入射角調(diào)節(jié)機構7、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8。
[0017]所述上安裝支板I通過螺釘連接線陣激光器安裝裝置整體到太陽電池硅片缺陷檢測整機,其上開設有若干個安裝孔,調(diào)整安裝孔位可以實現(xiàn)激光器安裝裝置整體的X軸方向的位置控制;并提供I軸向調(diào)節(jié)機構2的安裝位置;
[0018]上安裝支板I上設有y軸滑軌,y軸向調(diào)節(jié)機構2滑動地吊裝在滑軌中。所述y軸向調(diào)節(jié)機構2實現(xiàn)整體安裝裝置在I軸方向的定位調(diào)節(jié)。此外I軸向調(diào)節(jié)機構2還設有移動定位機構,實現(xiàn)I軸向移動的微調(diào)及定位鎖緊。
[0019]轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8吊裝在y軸向調(diào)節(jié)機構2上并與y軸向調(diào)節(jié)機構2轉(zhuǎn)動連接。y軸向調(diào)節(jié)機構2的轉(zhuǎn)動軸在z軸方向上。轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8設有轉(zhuǎn)向定位機構3。
[0020]所述的轉(zhuǎn)向定位機構3對轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8在xy平面的轉(zhuǎn)向進行轉(zhuǎn)動角度微調(diào)及定位鎖緊,實現(xiàn)整機的檢測激光線形光斑與線陣掃描相機的掃描線角度對正。
[0021]入射角調(diào)節(jié)機構7吊裝在轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8上并與轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8偏轉(zhuǎn)相連,入射角調(diào)節(jié)機構7設有偏轉(zhuǎn)定位機構4。
[0022]所述的偏轉(zhuǎn)定位機構4實現(xiàn)對入射角調(diào)節(jié)機構7的入射角度微調(diào)及定位鎖緊功能,實現(xiàn)激光器入射角度的調(diào)節(jié)。
[0023]所述的激光器固定構件5安裝在入射角調(diào)節(jié)機構7的調(diào)節(jié)板上,連接入射角調(diào)節(jié)機構7與線陣激光器6,實現(xiàn)線陣激光器在同角度下不同偏轉(zhuǎn)角度的調(diào)整,保證線形光斑的強度在線陣掃描相機掃描區(qū)域的一致性。
[0024]所述線陣激光器6提供一定頻譜的線形光斑照射到待檢測太陽電池硅片上,以促使娃片產(chǎn)生光致發(fā)光效應。
[0025]所述入射角調(diào)節(jié)機構7安裝到轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8上,結(jié)合偏轉(zhuǎn)定位機構4實現(xiàn)線陣激光器的入射角度的調(diào)節(jié)。
[0026]所述轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)機構8安裝在y軸向調(diào)節(jié)機構2上,結(jié)合轉(zhuǎn)向定位機構3的作用,實現(xiàn)整體機構在xy平面的角度調(diào)節(jié)功能,實現(xiàn)整機的檢測激光線形光斑與線陣掃描相機的掃描線角度對正。
[0027]本實用新型解決了現(xiàn)有技術中線陣激光器安裝位置調(diào)節(jié)問題,可以實現(xiàn)調(diào)節(jié)精度高、調(diào)節(jié)角度靈活且穩(wěn)定性好的線陣激光器安裝。裝置調(diào)整位置精確,性能穩(wěn)定,結(jié)構緊湊,安裝與拆卸方便。
[0028]以上所述,僅是本實用新型的實施例,并非對本實用新型作任何限制,凡是根據(jù)本實用新型技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構變化,均仍屬于本實用新型技術方案的保護范圍內(nèi)。
【主權項】
1.一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置,其特征在于其包括上安裝支板(1)、軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組;其中所述的軸向調(diào)節(jié)組在水平面任一軸方向上移動,轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組繞Z軸方向上的轉(zhuǎn)動軸發(fā)生轉(zhuǎn)動,入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組繞其底座偏轉(zhuǎn);所述的軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組以任意順序依次相連,位于連接關系一端的與上安裝支板(I)連接,位于連接關系另一端的設置有將所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器(6)固定在其上的激光器固定構件(5)。
2.如權利要求1所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置,其特征在于所述的安裝支板上開設有若干個安裝孔。
3.如權利要求1所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置,其特征在于所述的軸向調(diào)節(jié)組,轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組分別設有移動定位機構,轉(zhuǎn)向定位機構(3 )和偏轉(zhuǎn)定位機構(4 )。
4.如權利要求2或3所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置,其特征在于所述的上安裝支板(I)上設有水平軸向滑軌,軸向調(diào)節(jié)組滑動地吊裝在滑軌中;轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組吊裝在軸向調(diào)節(jié)組上并與軸向調(diào)節(jié)組轉(zhuǎn)動連接;入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組吊裝在轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組上并與轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組偏轉(zhuǎn)相連,所述的入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組設有激光器固定構件。
【專利摘要】本實用新型一種太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器安裝裝置涉及激光器安裝裝置。其包括上安裝支板、軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組;其中所述的軸向調(diào)節(jié)組在水平面任一軸方向上移動,轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組繞z軸方向上的轉(zhuǎn)動軸發(fā)生轉(zhuǎn)動,入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組繞其底座偏轉(zhuǎn);所述的軸向調(diào)節(jié)組、轉(zhuǎn)向調(diào)節(jié)組和入射角偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)組以任意順序依次相連,位于連接關系一端的與上安裝支板連接,位于連接關系另一端的設置有將所述的太陽電池硅片缺陷檢測線陣激光器固定在其上的激光器固定構件。本實用新型可以實現(xiàn)調(diào)節(jié)精度高且穩(wěn)定性好的線陣激光器安裝。裝置調(diào)整位置精確,性能穩(wěn)定,結(jié)構緊湊,安裝與拆卸方便。
【IPC分類】H02S50-15
【公開號】CN204272022
【申請?zhí)枴緾N201420848318
【發(fā)明人】黃國保, 李美川, 楊暢民, 李輝, 曾祥超
【申請人】陜西眾森電能科技有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年12月29日
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