萬~150萬，進(jìn)一步 優(yōu)選為15萬~120萬，更進(jìn)一步優(yōu)選為25萬~100萬。
[0065] 從由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜對(duì)晶片等被粘附物的粘接性的觀點(diǎn)、W及 提高得到的帶有保護(hù)膜的忍片的可靠性的觀點(diǎn)考慮，丙締酸類聚合物(Al)的玻璃化轉(zhuǎn)變溫 度(Tg)優(yōu)選為-60~50°C，更優(yōu)選為-50~40°C，進(jìn)一步優(yōu)選為-40~30°C，更進(jìn)一步優(yōu)選為-35 ~20°C。
[0066] 需要說明的是，在丙締酸類聚合物(Al)由多種丙締酸類聚合物形成的情況下，將 各丙締酸類聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的加權(quán)平均值作為丙締酸類聚合物(Al)的玻璃化轉(zhuǎn) 變溫度。
[0067] 另外，在本發(fā)明中，丙締酸類聚合物(Al)的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)是將由下述式（1) 計(jì)算出的絕對(duì)溫度(單位:K)的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度巧巧)換算為攝氏溫度(單位;°C)的值。
[0068] 數(shù)學(xué)式1
[0070] 讓述式（1)中，胖1、胖2、胖3、胖4...表示構(gòu)成丙締酸類聚合物的單體成分的質(zhì)量分 率（質(zhì)量％)，了邑1、1邑2、1邑3、1邑4*一表示從絕對(duì)溫度(1〇表示的丙締酸類共聚物的單體成 分的均聚物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。）
[0071] 作為丙締酸類聚合物(Al),可W舉出W(甲基)丙締酸烷基醋為主成分的聚合物。
[0072] 其中，優(yōu)選含有源自具有碳原子數(shù)1~18的烷基的（甲基)丙締酸烷基醋（W下，也 稱為"單體(air)的結(jié)構(gòu)單元(al)的丙締酸類聚合物，更優(yōu)選與源自單體(al)的結(jié)構(gòu)單元 (al)-起還含有源自具有官能團(tuán)的單體（W下，也稱為"單體(a2)")的結(jié)構(gòu)單元(a2)的丙締 酸類共聚物。
[0073] 丙締酸類聚合物(Al)可W單獨(dú)使用或組合兩種W上使用。
[0074] 需要說明的是，在丙締酸類聚合物(Al)為共聚物的情況下，該共聚物的形態(tài)可W 是嵌段共聚物、無規(guī)共聚物、交替共聚物、接枝共聚物中的任一種。
[00 巧](單體(al))
[0076] 從對(duì)由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜形成層賦予柔性和成膜性的觀點(diǎn)考慮， 單體(al)所具有的烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~18,更優(yōu)選為1~12,進(jìn)一步優(yōu)選為1~8,更優(yōu) 選為1~4。
[0077] 作為單體(al)，可W列舉例如：（甲基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸乙醋、（甲基）丙 締酸丙醋、（甲基)丙締酸下醋、（甲基）丙締酸戊醋、（甲基）丙締酸2-乙基己醋、（甲基）丙締 酸異辛醋、（甲基）丙締酸正辛醋、（甲基）丙締酸正壬醋、（甲基）丙締酸異壬醋、（甲基）丙締 酸癸醋、（甲基)丙締酸十二烷基醋、（甲基)丙締酸十八烷基醋等。
[0078] 需要說明的是，運(yùn)些單體(al)可W單獨(dú)使用或組合兩種W上使用。
[0079] 從提高由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜的光澤度、提高該保護(hù)膜的激光打印 部分的辨識(shí)性的觀點(diǎn)考慮，在上述單體(al)中，優(yōu)選具有碳原子數(shù)4W上的烷基的（甲基)丙 締酸烷基醋，更優(yōu)選具有碳原子數(shù)4~6的烷基的（甲基)丙締酸烷基醋，進(jìn)一步優(yōu)選使用（甲 基)丙締酸下醋。
[0080] 從上述觀點(diǎn)考慮，相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al)的全部結(jié)構(gòu)單元，源自具有碳原子 數(shù)4W上的烷基的（甲基)丙締酸烷基醋的結(jié)構(gòu)單元的含量?jī)?yōu)選為1~75質(zhì)量％，更優(yōu)選為5 ~70質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為10~65質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為20~60質(zhì)量％。
[0081] 另外，從提高使用保護(hù)膜形成用組合物制成的帶有保護(hù)膜的忍片的可靠性的觀點(diǎn) 考慮，在上述單體(al)中，優(yōu)選使用具有碳原子數(shù)1~3的烷基的（甲基)丙締酸烷基醋，更優(yōu) 選使用（甲基)丙締酸甲醋。
[0082] 從上述觀點(diǎn)考慮，相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al)的全部結(jié)構(gòu)單元，源自具有碳原子 數(shù)1~3的烷基的（甲基)丙締酸烷基醋的結(jié)構(gòu)單元的含量?jī)?yōu)選為1~60質(zhì)量％，更優(yōu)選為3~ 50質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為5~40質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為7~30質(zhì)量％。
[0083] 相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al)的全部結(jié)構(gòu)單元，源自單體(al)的結(jié)構(gòu)單元(al)的含 量?jī)?yōu)選為50質(zhì)量％ ^上，更優(yōu)選為50~99質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為55~90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選 為60~80質(zhì)量％。
[0084] (單體(曰2))
[0085] 作為單體(a2)，可W列舉例如:含徑基單體、含環(huán)氧基單體、含簇基單體、含氨基單 體、含氯基單體、含酬基單體、具有含有氮原子的環(huán)基團(tuán)的單體、含烷氧基娃烷基的單體等。
[0086] 需要說明的是，運(yùn)些單體(al)可W單獨(dú)使用或組合兩種W上使用。
[0087] 在運(yùn)些單體(al)中，優(yōu)選含徑基單體、含環(huán)氧基單體、W及含簇基單體。
[0088] 作為含徑基的單體，可W列舉例如：（甲基)丙締酸2-徑基乙醋、（甲基)丙締酸2-徑 基丙醋、（甲基)丙締酸3-徑基丙醋、（甲基）丙締酸2-徑基下醋、（甲基)丙締酸3-徑基下醋、 (甲基)丙締酸4-徑基下醋等（甲基)丙締酸徑基烷基醋類;乙締醇、締丙醇等不飽和醇類等。
[0089] 其中，優(yōu)選（甲基)丙締酸2-徑基乙醋。
[0090] 作為含環(huán)氧基單體，可W列舉例如：（甲基)丙締酸縮水甘油醋、（甲基)丙締酸0-甲 基縮水甘油醋、（甲基)丙締酸(3,4-環(huán)氧環(huán)己基）甲醋、（甲基)丙締酸3-環(huán)氧基-2-徑基丙醋 等含有環(huán)氧基的（甲基)丙締酸醋;縮水甘油基己豆酸醋、締丙基縮水甘油酸等非丙締酸類 含有環(huán)氧基的單體。
[0091 ]其中，優(yōu)選含有環(huán)氧基的（甲基)丙締酸醋，更優(yōu)選(甲基)丙締酸縮水甘油醋。
[0092] 在構(gòu)成丙締酸類聚合物(Al)的結(jié)構(gòu)單元中包含源自含有環(huán)氧基的單體的結(jié)構(gòu)單 元時(shí)，可W提高由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜的光澤度，從而能夠提高保護(hù)膜的激 光打印部分的辨識(shí)性。
[0093] 相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al)的全部結(jié)構(gòu)單元，源自含有環(huán)氧基的單體的結(jié)構(gòu)單元 的含量?jī)?yōu)選為1~30質(zhì)量％，更優(yōu)選為5~27質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為10~24質(zhì)量％。
[0094] 如果該含量為1質(zhì)量％ ^上，則可W提高由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜的 光澤度，能夠提高保護(hù)膜的激光打印部分的辨識(shí)性。另一方面，如果在該含量為30質(zhì)量％ W 下，則使用保護(hù)膜形成用組合物制成的帶有保護(hù)膜的忍片的可靠性良好。
[00M]作為含簇基單體，可W列舉例如：（甲基)丙締酸、馬來酸、富馬酸、衣康酸等。
[0096] 通過使用含簇基單體，可W向丙締酸類聚合物(Al)中導(dǎo)入簇基，在含有作為固化 性成分(B)的能量線固化性成分的情況下，可提高(B)成分和(A)成分的相容性。
[0097] 需要說明的是，作為固化性成分(B)，在使用環(huán)氧系熱固化性成分的情況下，簇基 與環(huán)氧系熱固化性成分中的環(huán)氧基發(fā)生反應(yīng)，因此優(yōu)選源自含簇基單體的結(jié)構(gòu)單元的含量 較少。
[0098] 作為固化性成分(B)，在使用環(huán)氧系熱固化性成分時(shí)，相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al) 的全部結(jié)構(gòu)單元，源自含簇基單體的結(jié)構(gòu)單元的含量?jī)?yōu)選為0~10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0~5質(zhì) 量％，進(jìn)一步優(yōu)選為0~2質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為0質(zhì)量％。
[0099] 相對(duì)于丙締酸類聚合物(Al)的全部結(jié)構(gòu)單元，源自單體(a2)的結(jié)構(gòu)單元(a2)的含 量?jī)?yōu)選為I~50質(zhì)量％，更優(yōu)選為5~45質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為10~40質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選 為20~40質(zhì)量％。
[0100] (其它單體）
[0101] 在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)，丙締酸類聚合物(Al)可W含有源自上述單體(al) 和(a2) W外的其它單體的結(jié)構(gòu)單元。
[0102] 作為其它單體，可W列舉例如：乙酸乙締醋、苯乙締、乙締、a-締控等。
[0103] [(A2)成分:非丙締酸類樹脂(A2)]
[0104] 本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物還可W含有非丙締酸類樹脂(A2)作為上述(Al)丙 締酸類聚合物W外的樹脂成分。
[0105] 作為非丙締酸類樹脂(A2)，可W列舉例如：聚醋、苯氧基樹脂、聚碳酸醋、聚酸、聚 氨醋、聚硅氧烷、橡膠類樹脂等。
[0106] 運(yùn)些樹脂可W單獨(dú)使用或組合兩種W上使用。
[0107] 作為非丙締酸類樹脂(A2)的重均分子量，優(yōu)選為2萬W上，更優(yōu)選為2萬~10萬，進(jìn) 一步優(yōu)選為2萬~8萬。
[010引 <(B)成分：固化性成分>
[0109] 作為(B)成分的固化性成分是承擔(dān)使由本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù) 膜形成層固化而形成硬質(zhì)保護(hù)膜的作用的成分，是重均分子量(Mw)小于2萬的化合物。
[0110] 作為(B)成分，優(yōu)選使用熱固化性成分(BI)和能量線固化性成分(B2)中的至少一 者，從抑制待形成的保護(hù)膜著色的觀點(diǎn)、使固化反應(yīng)充分進(jìn)行的觀點(diǎn)、W及降低成本的觀點(diǎn) 考慮，更優(yōu)選至少使用熱固化性成分(BI)。
[0111] 作為熱固化性成分(BI),優(yōu)選含有至少具有通過加熱而發(fā)生反應(yīng)的官能團(tuán)的化合 物，更優(yōu)選含有具有環(huán)氧基的化合物(BllK W下，也稱為"環(huán)氧類化合物(Blir),進(jìn)一步優(yōu) 選還含有熱固化劑(B12)和/或固化催化劑(B13)。
[0112] 作為能量線固化性成分(B2)，優(yōu)選含有具有通過紫外線、電子束等能量線照射而 發(fā)生反應(yīng)的官能團(tuán)的化合物(B21K W下，也稱為"能量線反應(yīng)性化合物(B21)")，更優(yōu)選還 含有光聚合引發(fā)劑(B22)。
[0113] 需要說明的是，在本發(fā)明中，（B)成分包括作為熱固化性成分(BI)的環(huán)氧類化合物 (B11)、熱固化劑(B12)和固化催化劑(B13)，W及作為能量線固化性成分(B2)的能量線反應(yīng) 性化合物(B21)和光聚合引發(fā)劑(B22)。本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物中含有的(B)成分可 W含有選自上述成分(Bll)~(B13)及(B21)~(B22)中的1種W上，而且還可W含有上述成 分W外的固化性成分。
[0114] 相對(duì)于保護(hù)膜形成用組合物的總量，（B)成分的含量?jī)?yōu)選為3~45質(zhì)量％，更優(yōu)選 為4~40質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為5~35質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為6~30質(zhì)量％。
[0115] (環(huán)氧類化合物(Bll))
[0116] 作為環(huán)氧類化合物(Bll)，可W列舉例如:多官能類環(huán)氧樹脂、雙酪A二縮水甘油酸 及其氨化物、鄰甲酪酪醒清漆環(huán)氧樹脂、雙環(huán)戊二締型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、雙酪A型 環(huán)氧樹脂、雙酪F型環(huán)氧樹脂、亞苯基骨架型環(huán)氧樹脂等分子中具有2個(gè)W上官能團(tuán)的環(huán)氧 類化合物等。
[0117] 運(yùn)些環(huán)氧類化合物(Bll)可W單獨(dú)使用或組合兩種W上使用。
[0118] 其中，優(yōu)選雙酪A型環(huán)氧樹脂及雙環(huán)戊二締型環(huán)氧樹脂。
[0119] 作為環(huán)氧類化合物(Bll)的環(huán)氧當(dāng)量，優(yōu)選為70~700,更優(yōu)選為100~500,進(jìn)一步 優(yōu)選為130~400,更進(jìn)一步優(yōu)選為150~300。
[0120] 作為環(huán)氧類化合物(Bll)的重均分子量(Mw),通常小于20,000,從抑制得到的保護(hù) 膜形成用組合物的粘度增加、使操作性良好的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為l〇,〇〇〇W下，更優(yōu)選為100 ~10,000。
[0121] 相對(duì)于(A)成分100質(zhì)量份，環(huán)氧化合物(Bll)的含量?jī)?yōu)選為1~500質(zhì)量份，更優(yōu)選 為10~350質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為30~200質(zhì)量份，更進(jìn)一步優(yōu)選為50~140質(zhì)量份。
[0122] (熱固化劑(B12))
[0123] 熱固化劑(B12)作為對(duì)環(huán)氧類化合物(Bll)的固化劑而發(fā)揮作用。
[0124] 作為熱固化劑(B12)，優(yōu)選1分子中具有2個(gè)W上能與環(huán)氧基發(fā)生反應(yīng)的官能團(tuán)的 化合物。
[0125] 作為該官能團(tuán)，可W列舉:酪徑基、醇徑基、氨基、簇基、酸酢等。
[0126] 其中，優(yōu)選酪徑基或氨基，更優(yōu)選氨基。
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