保護(hù)膜形成用組合物、保護(hù)膜形成用片、以及帶有保護(hù)膜的芯片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及作為保護(hù)膜的形成材料的保護(hù)膜形成用組合物、具有由該保護(hù)膜形成 用組合物形成的保護(hù)膜形成層的保護(hù)膜形成用片、W及具有對該保護(hù)膜形成層進(jìn)行固化而 得到的保護(hù)膜的帶有保護(hù)膜的忍片，所述保護(hù)膜用于對例如半導(dǎo)體忍片等的與電路面相反 側(cè)的面(忍片背面)進(jìn)行保護(hù)。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，使用被稱為所謂倒裝(face down)方式的安裝法進(jìn)行了半導(dǎo)體裝置的制 造。在倒裝方式中，使用在電路面上具有凸塊等電極的半導(dǎo)體忍片（W下，也簡稱為"忍 片"），該電極與基板接合。因此，與忍片的電路面相反側(cè)的面(忍片背面)會露出。
[0003] 為了保護(hù)露出的忍片背面，有時在忍片背面上設(shè)置由有機材料形成的保護(hù)膜，利 用保護(hù)膜對忍片背面進(jìn)行了保護(hù)的帶有保護(hù)膜的忍片有時會被直接裝入半導(dǎo)體裝置。
[0004] 然而，隨著近年來安裝有半導(dǎo)體忍片的半導(dǎo)體裝置的高密度化及該半導(dǎo)體裝置制 造工序的高速化，來自半導(dǎo)體裝置的放熱成為了問題。由于半導(dǎo)體裝置的放熱有時會使半 導(dǎo)體裝置變形而成為故障、破損的原因，或者會導(dǎo)致半導(dǎo)體裝置運算速度的降低、誤動作而 使半導(dǎo)體裝置的可靠性降低。因此，對于安裝到高性能半導(dǎo)體裝置中的半導(dǎo)體忍片要求具 有有效的散熱特性。因此，對上述帶有保護(hù)膜的忍片的保護(hù)膜要求散熱特性。
[0005] 另外，有時通過激光標(biāo)識法對保護(hù)膜的表面打印文字，對形成的保護(hù)膜還要求激 光打印部分的辨識性。
[0006] 此外，在半導(dǎo)體裝置中安裝有帶有保護(hù)膜的半導(dǎo)體忍片的情況下，存在下述問題： 由于半導(dǎo)體忍片反復(fù)放熱和冷卻而引起的溫度變化，在半導(dǎo)體忍片與保護(hù)膜的接合部產(chǎn)生 浮起、剝離、裂紋，從而使帶有保護(hù)膜的忍片的可靠性降低。
[0007] 為了形成應(yīng)對上述要求的保護(hù)膜，提出了各種保護(hù)膜形成材料。
[000引例如，為了提供保持表面文字的辨識性及與半導(dǎo)體晶片等的粘接性、且具有優(yōu)異 的散熱特性的半導(dǎo)體背面用膜，在專利文獻(xiàn)1中公開了一種用于倒裝片型半導(dǎo)體背面的膜， 其含有樹脂及特定量的導(dǎo)熱性填料，所述導(dǎo)熱性填料的平均粒徑和最大粒徑為給定值W 下。
[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) [0010] 專利文獻(xiàn)
[0011] 專利文獻(xiàn)1:日本特開2012-33638號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 發(fā)明要解決的課題
[0013] 然而，在將保護(hù)膜形成材料成型為片或膜狀時，在使用貼帶機等對晶片進(jìn)行粘貼 操作時，片或膜狀的保護(hù)膜形成材料會發(fā)生斷裂，因此有時采用貼帶機等的粘貼性存在問 題。
[0014] 在專利文獻(xiàn)I中，對于運樣的使用貼帶機等時片或膜狀保護(hù)膜形成材料的粘貼性 未進(jìn)行探討。
[0015] 根據(jù)本發(fā)明人等的研究可知，專利文獻(xiàn)1的實施例所述的用于半導(dǎo)體背面的膜在 使用貼帶機等粘貼時，該膜發(fā)生斷裂，在采用貼帶機等的粘貼性方面存在問題。
[0016] 本發(fā)明的目的在于提供一種利用貼帶機等的粘貼性優(yōu)異、能夠形成激光打印部分 的辨識性和散熱性良好的保護(hù)膜、且可W制造可靠性高的帶有保護(hù)膜的忍片的保護(hù)膜形成 用組合物、保護(hù)膜形成用片及帶有保護(hù)膜的忍片。
[0017] 解決課題的方法
[0018] 本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，將固化性成分中含有的在25°C下為液體的成分的含量調(diào)節(jié)為給 定的范圍，并且將熱固化性填料的平均粒徑和含量設(shè)為給定范圍的保護(hù)膜形成用組合物能 夠解決上述課題，從而完成了本發(fā)明。
[0019]即，本發(fā)明提供下述山~〔13)。
[0020] 〔1)一種保護(hù)膜形成用組合物，其含有聚合物成分(A)、固化性成分(B)、和平均粒 徑為2.0~10.0 wii的導(dǎo)熱性填料(C)，其中，
[0021] 相對于(A)成分和(B)成分的總計100質(zhì)量份，該保護(hù)膜形成用組合物中含有的在 25°C下為液體的成分的含量為20~70質(zhì)量份，
[0022] 相對于所述保護(hù)膜形成用組合物的總量，（C)成分的含量為40~65體積％。
[0023] 〔2)上述〔1)所述的保護(hù)膜形成用組合物，其中，（C)成分是由選自氧化侶、氧化鋒、 氧化儀、鐵、碳化娃、氮化棚、氮化侶及玻璃中的一種W上成分形成的粒子。
[0024] 〔3)上述〔1)或〔2)所述的保護(hù)膜形成用組合物，其中，（C)成分為球狀的導(dǎo)熱性填 料。
[0025] 〔4)上述〔1)~〔3)中任一項所述的保護(hù)膜形成用組合物，其中，（A)成分含有丙締 酸類聚合物(Al),該丙締酸類聚合物(Al)是具有結(jié)構(gòu)單元(al)和源自含有官能團(tuán)的單體的 結(jié)構(gòu)單元(a2)的共聚物，所述結(jié)構(gòu)單元(al)源自具有碳原子數(shù)1~18的烷基的（甲基)丙締 酸烷基醋。
[00%] 〔5)上述〔1)~〔4)中任一項所述的保護(hù)膜形成用組合物，其中，相對于所述保護(hù)膜 形成用組合物中含有的有效成分的總量，（A)成分的含量為3~45質(zhì)量％，（B)成分的含量為 3~45質(zhì)量％，（C)成分的含量為35~90質(zhì)量％。
[0027] 〔6)-種保護(hù)膜形成用片，其具有由上述〔1)~〔5)中任一項所述的保護(hù)膜形成用 組合物形成的保護(hù)膜形成層。
[0028] 〔7)上述〔6)所述的保護(hù)膜形成用片，其中，所述保護(hù)膜形成層固化而成的保護(hù)膜 的導(dǎo)熱系數(shù)為2.0W/(m ? K)W上。
[0029] 〔8)上述〔6)或〔7)所述的保護(hù)膜形成用片，其中，所述保護(hù)膜形成層固化而成的保 護(hù)膜的光澤度為IOW上。
[0030] 〔9) 一種帶有保護(hù)膜的忍片，其具有忍片和位于忍片上的保護(hù)膜，所述保護(hù)膜由上 述〔6)~〔8)中任一項所述的保護(hù)膜形成用片的保護(hù)膜形成層固化而成。
[0031] 發(fā)明的效果
[0032] 對于具有由本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜形成層的保護(hù)膜形成用 片而言，保護(hù)膜形成層的利用貼帶機等粘貼時的粘貼性優(yōu)異，使該保護(hù)膜形成層固化而成 的保護(hù)膜的激光打印部分的辨識性及散熱性良好。另外，使用保護(hù)膜形成用片制成的帶有 保護(hù)膜的忍片具有優(yōu)異的可靠性。
【附圖說明】
[0033] 圖1是示出本發(fā)明的保護(hù)膜形成用片的結(jié)構(gòu)的一個例子的保護(hù)膜形成用片的剖面 圖。
[0034] 符號說明
[0035] la、化、lc、ld保護(hù)膜形成用片
[0036] 2保護(hù)膜形成層
[0037] 3、3a、3b 剝離片 [003引 4支撐片
[0039] 5粘合劑層
【具體實施方式】
[0040] 在W下的記載中，"重均分子量（Mw)"及"數(shù)均分子量（Mn)"是用凝膠滲透色譜 (GPC)法測定并換算成聚苯乙締的值，具體而言，是基于實施例中記載的方法測得的值。
[0041] 另外，例如"（甲基)丙締酸醋"是用于表示"丙締酸醋"及"甲基丙締酸醋"兩者的用 語，其它類似用語也相同。
[0042] 〔保護(hù)膜形成用組合物）
[0043] 本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物含有聚合物成分(A)、固化性成分(B)及導(dǎo)熱性填料 (C)。
[0044] 另外，本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物優(yōu)選進(jìn)一步含有著色劑化）、偶聯(lián)劑化），根據(jù) 需要，還可W含有交聯(lián)劑等通用添加劑。
[0045] 在保護(hù)膜形成用組合物中較多地配合粒徑較小的導(dǎo)熱性填料來提高使用該保護(hù) 膜形成用組合物而形成的保護(hù)膜的導(dǎo)熱系數(shù)時，有時該保護(hù)膜的激光打印部分的辨識性會 降低。
[0046] 然而，對于本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物而言，由于將在25°C時為液體的成分的 含量調(diào)節(jié)至給定范圍，因此，即使較多地配合粒徑較小的導(dǎo)熱性填料，也能夠保持形成的該 保護(hù)膜的高導(dǎo)熱系數(shù)，而且使該保護(hù)膜的激光打印部分的辨識性良好。
[0047] 在本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物中，相對于(A)成分與(B)成分的總計100質(zhì)量份， 該保護(hù)膜形成用組合物中含有的在25°C下為液體的成分含量為20~70質(zhì)量份，優(yōu)選為23~ 65質(zhì)量份，更優(yōu)選為25~60質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為28~55質(zhì)量份，更進(jìn)一步優(yōu)選為30~50質(zhì) 量份。
[0048] 如果該含量小于20質(zhì)量份，則對于本發(fā)明運樣的（C)成分含量多的保護(hù)膜形成用 組合物而言，由該組合物形成的保護(hù)膜形成層的初期粘貼性降低。另外，將該保護(hù)膜形成層 固化而得到的保護(hù)膜的激光打印部分的辨識性也變差。需要說明的是，該含量越多，形成的 保護(hù)膜的激光打印部分的辨識性越得到提高。
[0049] 另一方面，如果該含量超過70質(zhì)量份，則由得到的保護(hù)膜形成用組合物形成的保 護(hù)膜形成層在使用貼帶機等粘貼時容易發(fā)生斷裂，利用貼帶機等粘貼時的粘貼性變差。另 夕h在制作如圖1(a)所示的保護(hù)膜形成用片Ia的結(jié)構(gòu)的片的情況下，例如，在除去剝離片3a 時，保護(hù)膜形成層2有時會與剝離片3a-起被剝離，而不殘留于另一個剝離片3b上，在粘貼 的操作性方面存在問題。
[0050] 需要說明的是，本發(fā)明中的"在25°C下為液體的成分"是指使用B型粘度計測得的 在25°C下的粘度為50化? sW下的成分。
[0051] 另外，作為"保護(hù)膜形成用組合物中含有的在25°C下為液體的成分"，可W列舉:作 為(B)成分而含有的液體的固化性成分、作為化)成分而含有的液體的偶聯(lián)劑、液態(tài)的通用 添加劑等。
[0052] 需要說明的是，相對于保護(hù)膜形成用組合物中含有的在25°C下為液體的成分的總 量，作為(B)成分而含有的液體的固化性成分的含有比例優(yōu)選為50~100質(zhì)量％，更優(yōu)選為 70~100質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為80~100質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為90~100。
[0053] W下，對本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物中含有的各成分進(jìn)行說明。
[0054] < (A)成分:聚合物成分>
[0055] (A)成分的聚合物成分是為了對由本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜形 成層賦予柔性和成膜性，從而使保護(hù)膜形成層的片性狀的保持性良好而使用的。因此，通過 使本發(fā)明的保護(hù)膜形成用組合物中含有(A)成分，有助于提高由該保護(hù)膜形成用組合物形 成的保護(hù)膜形成層在利用貼帶機等粘貼時的粘貼性。
[0056] 需要說明的是，（A)成分的"聚合物成分"是指重均分子量(Mw)為2萬W上且具有至 少1種重復(fù)單元的化合物。
[0057] 作為(A)成分的重均分子量(Mw),通常為2萬W上，優(yōu)選為2萬~300萬，更優(yōu)選為5 萬~200萬，進(jìn)一步優(yōu)選為10萬~150萬。
[0058] 相對于保護(hù)膜形成用組合物的總量，（A)成分的含量優(yōu)選為3~45質(zhì)量％，更優(yōu)選 為4~40質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為5~35質(zhì)量％，更進(jìn)一步優(yōu)選為7~30質(zhì)量％。
[0059] 如果(A)成分的含量為3質(zhì)量％^上，則能夠?qū)τ杀Ｗo(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù) 膜形成層賦予柔性和成膜性，可W提高保護(hù)膜形成層在利用貼帶機等粘貼時的粘貼性。另 一方面，如果(A)成分的含量為45質(zhì)量％ ^下，則能夠充分地確保(C)成分的含量，可W使由 保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜的散熱性良好。
[0060] 作為(A)成分，可W適當(dāng)選擇，優(yōu)選含有丙締酸類聚合物(Al),還可W含有該丙締 酸類聚合物(Al)成分W外的非丙締酸類聚合物(A2)。
[0061] 運些聚合物成分可W單獨使用或組合兩種W上使用。
[0062] 相對于(A)成分的總量，丙締酸類聚合物(Al)的含量優(yōu)選為60~100質(zhì)量％，更優(yōu) 選為70~100質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為80~100質(zhì)量％。
[0063] [ (Al)成分:丙締酸類聚合物]
[0064] 從對由保護(hù)膜形成用組合物形成的保護(hù)膜形成層賦予柔性和成膜性的觀點考慮， 丙締酸類聚合物(Al)的重均分子量(Mw)優(yōu)選為2萬~300萬，更優(yōu)選為10