本公開涉及在作為劈開面(cleavage?plane)的諧振器端面形成有涂覆膜的半導(dǎo)體激光器。

背景技術(shù)：

1、在化合物半導(dǎo)體激光器中，在成為激光器構(gòu)造的化合物半導(dǎo)體多層膜形成脊?fàn)畹臈l帶(stripe)。在條帶之上形成用于向激光器流動電流的電極。通過在與條帶的長邊方向垂直的方向上劈開來形成諧振器端面。為了保護(hù)諧振器端面并獲得所希望的端面反射率而形成涂覆膜。

2、條帶之上的電極使在激光器內(nèi)部產(chǎn)生的熱通過形成于電極之上的焊盤電極來向外部擴(kuò)散，從而還實現(xiàn)了延長激光器的壽命的作用。因此，使用熱傳導(dǎo)率高的au電極作為電極。在條帶之上將au電極形成至諧振器端面對于提高激光器的散熱性來制造可靠性高的激光器元件是有效的。然而，為了將au電極形成至諧振器端面，需要將在條帶之上形成了au電極的部位劈開。由于au的延展性高，所以若想將化合物半導(dǎo)體與au電極一同劈開，則在分割au電極時au電極一邊延伸一邊被撕裂，以蒙蓋在諧振器端面的方式垂下。

3、在形成了涂覆膜時，au的垂下部進(jìn)行妨礙而在涂覆膜與諧振器端面之間產(chǎn)生空腔。若水分從該空腔侵入，則激光器特性變化。在使用多層膜作為涂覆膜的情況下，通過多層膜的最終層使用耐濕性高的膜，來提高涂覆膜整體的耐濕性。然而，若存在上述那樣的空腔，則由于大氣中的水分通過空腔直接浸透至與最終層相比耐濕性低的涂覆膜的內(nèi)側(cè)的層，所以導(dǎo)致激光器的耐濕性顯著變差。

4、對于此，公開了一種通過使劈開位置的au電極比其他部分薄來使劈開性良好的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

5、專利文獻(xiàn)1：日本特開2000－22272號公報

6、然而，僅使劈開位置的au電極薄，無法充分抑制au向諧振器端面的垂下。因此，水分會穿過因au垂下引起的空腔浸透而激光器的耐濕性變差。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本公開是為了解決上述那樣的課題而完成的，其目的在于，獲得能夠充分抑制au向諧振器端面的垂下來防止耐濕性變差的半導(dǎo)體激光器。

2、本公開所涉及的半導(dǎo)體激光器的特征在于，具備：化合物半導(dǎo)體基板；化合物半導(dǎo)體多層膜，形成于上述化合物半導(dǎo)體基板之上，具有脊?fàn)畹臈l帶和作為相對于上述條帶的長邊方向垂直的劈開面的諧振器端面；第1au電極，在上述條帶之上形成至上述諧振器端面；第2au電極，在上述第1au電極之上形成于除了與上述諧振器端面鄰接的區(qū)域以外的區(qū)域；金屬層，在與上述諧振器端面鄰接的區(qū)域中形成于上述第1au電極之上，硬度比au高；以及涂覆膜，形成于上述諧振器端面。

3、在本公開中，在與諧振器端面鄰接的區(qū)域不形成第2au電極而形成硬度比au高的金屬層。由此，能夠充分抑制在劈開時au向諧振器端面垂下。由于能夠防止因au垂下引起的空腔，所以能夠防止耐濕性的變差。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體激光器，其特征在于，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，

3.一種半導(dǎo)體激光器，其特征在于，具備：

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光器?；衔锇雽?dǎo)體多層膜(2－4)形成于化合物半導(dǎo)體基板(1)之上，具有脊?fàn)畹臈l帶(5)和作為相對于條帶(5)的長邊方向垂直的劈開面的諧振器端面(6)。第1Au電極(8)在條帶(5)之上形成至諧振器端面(6)。第2Au電極(9)在第1Au電極(8)之上形成于除了與諧振器端面(6)鄰接的區(qū)域以外的區(qū)域。硬度比Au高的金屬層(10)在與諧振器端面(6)鄰接的區(qū)域中形成于第1Au電極(8)之上。涂覆膜(12)形成于諧振器端面(6)。

技術(shù)研發(fā)人員：武富優(yōu)綺
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱電機(jī)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21