本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶元檢測，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體晶元檢測是指對(duì)半導(dǎo)體晶元進(jìn)行質(zhì)量和性能檢測的過程，半導(dǎo)體晶元是制造集成電路和其他半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料，其質(zhì)量和性能直接影響到半?導(dǎo)體器件的性能和可靠性，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，對(duì)晶元進(jìn)行檢測是非常重要的環(huán)節(jié)，以確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能符合要求。

2、但上述專利和現(xiàn)有技術(shù)還存在以下缺陷：在對(duì)晶圓片進(jìn)行實(shí)際檢測的過程中，傳統(tǒng)的檢測方式是利用人工進(jìn)行取樣檢測，人工對(duì)半導(dǎo)體晶元進(jìn)行檢測時(shí)，人工檢測容易受個(gè)體主觀因素的影響，不同的操作者可能會(huì)有不同的判斷標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致結(jié)果不一致，且人工檢測需要耗費(fèi)大量人力和時(shí)間，尤其在大批量生產(chǎn)的情況下，效率較低，從而導(dǎo)致降低了對(duì)半導(dǎo)體晶元檢測的檢測效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，包括機(jī)身和機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)固定安裝在機(jī)?身的內(nèi)側(cè)，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設(shè)置有堆疊待檢測的?晶圓片，升降供料倉一側(cè)設(shè)置有二軸定位平臺(tái)，二軸定位平臺(tái)上方設(shè)置有三軸?機(jī)械手，三軸機(jī)械手的一側(cè)設(shè)置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置四軸取料機(jī)械手，四軸取料機(jī)械手一側(cè)設(shè)置有收料機(jī)構(gòu)。

2、優(yōu)選的，升降供料倉包括與機(jī)臺(tái)固定連接的底盤，所述底盤上滑動(dòng)連接有多個(gè)導(dǎo)柱，多個(gè)所述導(dǎo)柱的頂端固定連接有升降倉，多個(gè)所述導(dǎo)柱之間設(shè)置有絲桿，所述絲桿頂端驅(qū)動(dòng)連接升降倉，多個(gè)所述導(dǎo)柱及絲桿底端連接有升降電機(jī)，當(dāng)升降電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，通過絲桿驅(qū)動(dòng)升降倉做上下升降。

3、優(yōu)選的，二軸定位平臺(tái)包括一對(duì)平行設(shè)置的第一x軸直線模組，所述第一x軸直線模組上橫跨連接有第一y軸直線模組，所述第一y軸直線模組上設(shè)置有定位臺(tái)，所述定位臺(tái)一側(cè)安裝有x軸氣缸，所述x軸氣缸驅(qū)動(dòng)一夾子氣缸沿x?軸方向運(yùn)動(dòng)，所述定位臺(tái)另一側(cè)設(shè)置有晶圓片固定位，所述定位臺(tái)下方設(shè)置有上頂氣缸。

4、優(yōu)選的，三軸機(jī)械手包括與機(jī)臺(tái)固定連接的龍門支架，所述龍門支架上設(shè)置有第二y軸直線模組，所述第二y軸直線模組上設(shè)置有第二z軸直線模組，所述第二z軸直線模組上安裝有升降支架，所述升降支架上安裝有ccd相機(jī)，所述ccd相機(jī)一側(cè)安裝有第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過皮帶傳動(dòng)連接一真空吸嘴。

5、優(yōu)選的，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在機(jī)臺(tái)的玻璃轉(zhuǎn)盤，玻璃轉(zhuǎn)盤周側(cè)設(shè)置有多個(gè)ccd相機(jī)檢測單元。

6、優(yōu)選的，收料機(jī)構(gòu)包括一輸送帶，所述輸送帶上放置有多個(gè)產(chǎn)品載盤托板，所述產(chǎn)品載盤托板的四周具有導(dǎo)孔，所述輸送帶的上方在產(chǎn)品載盤托板的兩側(cè)?設(shè)置導(dǎo)向擋邊，所述輸送帶的下方安裝有一升降托臺(tái)，所述升降托臺(tái)一側(cè)設(shè)置?有阻擋氣缸，所述阻擋氣缸驅(qū)動(dòng)一擋輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)產(chǎn)品載盤托板的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行阻擋。

7、優(yōu)選的，軸取料機(jī)械手一側(cè)設(shè)置二次ccd定位相機(jī)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于：

8、1、本發(fā)明中，四軸取料機(jī)械手從玻璃轉(zhuǎn)盤上吸取檢測完畢的良品料，并放置到二次ccd定位相機(jī)的上方進(jìn)行拍照，讀取其位置及角度，隨后四軸機(jī)械手控制調(diào)整其角度并放置到收料機(jī)構(gòu)上的載盤內(nèi)。

9、2、本發(fā)明中，四個(gè)定位柱再次伸入到上方的產(chǎn)品載盤托板內(nèi)進(jìn)行定位，并?再次將載盤裝滿，如此進(jìn)行循環(huán)，將檢測后的良品進(jìn)行包裝裝盤，方便后續(xù)操?作，通過上述對(duì)半導(dǎo)體晶元的自動(dòng)化檢測工作，一定程度上提高了對(duì)半導(dǎo)體晶元檢測的效率。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，包括機(jī)身（1）和機(jī)臺(tái)（2），其特征在于，所述機(jī)臺(tái)（2）固定安裝在機(jī)身（1）的內(nèi)側(cè)，所述機(jī)臺(tái)（2）上設(shè)置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設(shè)置有堆疊待檢測的晶圓片（8），升降供料倉一側(cè)設(shè)置有二軸定位平臺(tái)，二軸定位平臺(tái)上方設(shè)置有三軸機(jī)械手，三軸機(jī)械手的一側(cè)設(shè)置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置四軸取料機(jī)械手，四軸取料機(jī)械手一側(cè)設(shè)置有收料機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：升降供料倉包括與機(jī)臺(tái)（2）固定連接的底盤（6），所述底盤（6）上滑動(dòng)連接有多個(gè)導(dǎo)柱（5），多個(gè)所述導(dǎo)柱（5）的頂端固定連接有升降倉（7），多個(gè)所述導(dǎo)柱（5）之間設(shè)置有絲桿（4），所述絲桿（4）頂端驅(qū)動(dòng)連接升降倉（7），多個(gè)所述導(dǎo)柱（5）及絲桿（4）底端連接有升降電機(jī)（3），當(dāng)升降電機(jī)（3）啟動(dòng)時(shí)，通過絲桿（4）驅(qū)動(dòng)升降倉（7）做上下升降。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：二軸定位平臺(tái)包括一對(duì)平行設(shè)置的第一x軸直線模組（10），所述第一x軸直線模組（10）上橫跨連接有第一y軸直線模組（11），所述第一y軸直線模組（11）上設(shè)置有定位臺(tái)，所述定位臺(tái)一側(cè)安裝有x軸氣缸（9），所述x軸氣缸（9）驅(qū)動(dòng)一夾子氣缸（13）沿ｘ軸方向運(yùn)動(dòng)，所述定位臺(tái)另一側(cè)設(shè)置有晶圓片（8）固定位，所述定位臺(tái)下方設(shè)置有上頂氣缸（12）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：三軸機(jī)械手包括與機(jī)臺(tái)（2）固定連接的龍門支架（14），所述龍門支架（14）上設(shè)置有第二y軸直線模組（15），所述第二y軸直線模組（15）上設(shè)置有第二z軸直線模組（16），所述第二z軸直線模組（16）上安裝有升降支架（18），所述升降支架（18）上安裝有ccd相機(jī)（17），所述ccd相機(jī)（17）一側(cè)安裝有第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)（19），所述第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)（19）通過皮帶傳動(dòng)連接一真空吸嘴（20）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在機(jī)臺(tái)（2）的玻璃轉(zhuǎn)盤，玻璃轉(zhuǎn)盤周側(cè)設(shè)置有多個(gè)ccd相機(jī)（17）檢測單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：收料機(jī)構(gòu)包括一輸送帶（22），所述輸送帶（22）上放置有多個(gè)產(chǎn)品載盤托板（21），所述產(chǎn)品載盤托板（21）的四周具有導(dǎo)孔，所述輸送帶（22）的上方在產(chǎn)品載盤托板（21）的兩側(cè)設(shè)置導(dǎo)向擋邊，所述輸送帶（22）的下方安裝有一升降托臺(tái)（23），所述升降托臺(tái)（23）一側(cè)設(shè)置有阻擋氣缸，所述阻擋氣缸驅(qū)動(dòng)一擋輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)產(chǎn)品載盤托板（21）的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行阻擋。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶元的ccd水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，其特征在于：軸取料機(jī)械手一側(cè)設(shè)置二次ccd定位相機(jī)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體晶元的CCD水平式自動(dòng)檢測設(shè)備，涉及半導(dǎo)體晶元檢測技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)身和機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)固定安裝在機(jī)身的內(nèi)側(cè)，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設(shè)置有堆疊待檢測的晶圓片，升降供料倉一側(cè)設(shè)置有二軸定位平臺(tái)，二軸定位平臺(tái)上方設(shè)置有三軸機(jī)械手，三軸機(jī)械手的一側(cè)設(shè)置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置四軸取料機(jī)械手，四軸取料機(jī)械手一側(cè)設(shè)置有收料機(jī)構(gòu)。本發(fā)明中四個(gè)定位柱再次伸入到上方的產(chǎn)品載盤托板內(nèi)進(jìn)行定位，并再次將載盤裝滿，如此進(jìn)行循環(huán)，將檢測后的良品進(jìn)行包裝裝盤，方便后續(xù)操作，通過上述對(duì)半導(dǎo)體晶元的自動(dòng)化檢測工作，一定程度上提高了對(duì)半導(dǎo)體晶元檢測的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：盧運(yùn)保
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞市瑞科智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21