樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種樹脂模塑裝置及樹脂模塑方法，在使用長條狀的離型膜對工件進(jìn)行樹脂模塑時，能矯正沿膜的寬度方向產(chǎn)生的膜褶皺，并且能夠使模塑樹脂的填充性以及成形品質(zhì)提高。在上模（7）設(shè)有多個通氣孔（12c、12e、18a、18b），這些通氣孔用于抽吸空氣而能使離型膜（F）吸附于上模夾持面或者噴出空氣而能使離型膜（F）與模具夾持面分開，在下模（6）上分別設(shè)有成對的膜褶皺矯正構(gòu)件（32），該膜褶皺矯正構(gòu)件在以與工件載置面相面對的方式搬送的長條狀的離型膜（F）的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜（F），從而，對于該離型膜（F），不僅在其長度方向上作用有張力、而且在其寬度方向上也作用有張力來去除膜褶皺。
【專利說明】樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及利用離型膜對工件進(jìn)行樹脂模塑的樹脂模塑裝置以及樹脂模塑方法?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]以往，為了減少模具維修，提高生產(chǎn)性、成形品質(zhì)，將利用離型膜(日文:U U —77 ^ 覆蓋模塑模具的模具夾持面而進(jìn)行樹脂模塑的樹脂模塑裝置實用化。例如，將膜處理器安裝到模塑模具或者樹脂模塑裝置，而自供給卷經(jīng)由模具表面將長條狀的離型膜卷繞在卷繞卷軸上。
[0003]作為一個例子，提出了利用離型膜來對在基板上搭載有發(fā)光元件的工件進(jìn)行樹脂模塑的樹脂模塑裝置。利用粘著性高的透明樹脂(娃系樹脂、環(huán)氧系樹脂、氨酯系樹脂、丙烯酸系樹脂等)來對透鏡部分的凸形狀的深寬比高(與透鏡部分相當(dāng)?shù)哪Ｇ话疾康纳疃壬?的成形品進(jìn)行樹脂模塑。具體而言，在離型膜吸附保持于上模夾持面的狀態(tài)下，夾持被載置于下模的工件。此時，使可動銷的下端面下降到與模腔單元的下表面位于同一平面，在以離型膜不進(jìn)入透鏡凹部的方式支承離型膜的狀態(tài)下，將模塑樹脂填充到成形用凹部內(nèi)。當(dāng)填充的模塑樹脂超過透鏡凹部時，使可動銷上升，上升至內(nèi)徑側(cè)透鏡凹部與外徑側(cè)透鏡凹部彼此成為連續(xù)面的位置而形成透鏡凹部。模塑樹脂使離型膜向透鏡凹部內(nèi)鼓出而進(jìn)行填充，使模塑樹脂熱固化來模塑透鏡部(參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]另外， 作為對在基板上安裝有半導(dǎo)體元件工件進(jìn)行壓縮成形的裝置，提出了這樣的樹脂封裝裝置:向被離型膜覆蓋的下模模腔凹部供給板狀樹脂，將工件吸附保持于上模，并且設(shè)置有用于按壓離型膜的離型膜按壓機構(gòu)。利用模塑模具夾持工件時，形成密閉空間，通過減壓到低于大氣壓而將卷入到樹脂內(nèi)的空氣排出，由此形成高減壓的狀態(tài)來抑制樹脂的膨脹(參照專利文獻(xiàn)2)。
[0005]在通過傳遞模塑成形對半導(dǎo)體裝置等的工件進(jìn)行樹脂模塑的情況下，通過模塑模具的樹脂流路所具有的推銷(日文^工々夕^ >)與開模動作相配合而自模具夾持面突出，從而使成形品脫模。
[0006]或者，為了簡化模具維修，為了省略推銷、也簡化模具構(gòu)造而使離型膜吸附于包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面、之后進(jìn)行樹脂模塑的方式也被實用化。
[0007]另外，為了促進(jìn)將利用離型膜來進(jìn)行樹脂模塑的成形品與離型膜分離，還提出了在樹脂模塑后、隔著離型膜噴出壓縮空氣從而使成形品從模腔凹部脫模的模塑模具和樹脂模塑方法(參照專利文獻(xiàn)3)。
[0008]另外，因為僅憑空氣的噴出，成形品的脫模很困難，所以也提出了使用構(gòu)成模腔底部的薄板、在樹脂模塑后進(jìn)行開模時在上模與薄板之間形成間隙、從該間隙導(dǎo)入壓縮空氣從而利用空氣壓力和薄板的彈性變形使成型品脫模的模塑模具和樹脂模塑方法(參照專利文獻(xiàn)4)。
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-230212號公報
[0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開2008-302535號公報[0011]專利文獻(xiàn)3:日本特開平11-40593號公報
[0012]專利文獻(xiàn)4:日本特開2000-280293號公報
[0013]但是，在使用自供給卷經(jīng)由模具表面將長條狀的離型膜卷繞于卷繞卷軸的膜處理器的情況下，雖然在離型膜的長度方向(離型膜輸送方向)作用有張力，但在寬度方向(離型膜寬度方向)沒有張力機構(gòu)就很難作用有張力。因此，覆蓋模具表面的離型膜容易沿寬度方向產(chǎn)生波紋，形成沿長度方向延伸的膜褶皺(縱褶皺)。在專利文獻(xiàn)1，2中并沒有公開用于矯正這樣的沿離型膜的寬度方向產(chǎn)生波紋而形成膜褶皺的結(jié)構(gòu)。
[0014]另外，對于上述的專利文獻(xiàn)I的上模的模腔單元，因為是使形成于該模腔單元的成形用凹部的外徑側(cè)透鏡凹部與設(shè)于可動銷的內(nèi)徑側(cè)透鏡凹部以形成為連續(xù)面的方式組合從而成形透鏡凹部的，所以成形品容易產(chǎn)生因模腔單元與可動銷之間的間隙所導(dǎo)致的凹凸。
[0015]另外，向成形用凹部填充模塑樹脂時，在可動單元進(jìn)入外徑側(cè)透鏡凹部內(nèi)而將離型膜支承為沒有進(jìn)入透鏡凹部的狀態(tài)下，填充模塑樹脂。此時，在模腔單元的內(nèi)徑側(cè)透鏡凹部和外徑側(cè)透鏡凹部之間不連續(xù)的狀態(tài)下支承離型膜，即使在該狀態(tài)下填充模塑樹脂，在不連續(xù)面處也容易卷入空氣，并且，可動單元上升時，由于離型膜的松弛而容易產(chǎn)生褶皺，因此容易降低透鏡部的成形品質(zhì)。另外，當(dāng)透鏡部的數(shù)量增加時，多個可動銷的位置精度也有可能變得不穩(wěn)定。
[0016]另外，利用傳遞模塑成形來對例如具有透鏡的LED進(jìn)行樹脂模塑時，所使用的透明樹脂(硅系樹脂、環(huán)氧系樹脂、氨酯系樹脂、丙烯酸系樹脂等)在剛剛完成樹脂模塑之后的模具溫度的作用下使成形品的表面處于沒有完全固化還伴隨有粘性(粘著性)的狀態(tài)，成形品的表面溫度不下降至接近常溫就不能促進(jìn)固化。在傳遞模塑成形中，模塑模具開模而取出成形品是處于加熱到成形溫度的狀態(tài)，在加熱的狀態(tài)下的脫模為模具夾持面與離型膜、離型膜與成形品分別粘貼的狀態(tài)，脫模困難。
[0017]另外，也有使用推銷進(jìn)行脫模的方法，但是，在具有彈力的彈性體系的模塑樹脂的情況下，脫模效果不充分，有可能僅使推銷周邊斷裂。尤其，對于具有透鏡的LED，在樹脂表面殘留有凹痕等物理損傷時，容易成為不合格品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0018]本發(fā)明的目的在于，解決上述現(xiàn)有技術(shù)的課題，提供一種在使用離型膜來對工件進(jìn)行樹脂模塑時、能矯正膜的在寬度方向上產(chǎn)生的膜褶皺、并且能夠使模塑樹脂的填充性以及成形品質(zhì)提高的樹脂模塑裝置及樹脂模塑方法。
[0019]另外，本發(fā)明的目的還在于提供一種在樹脂模塑之后、能夠在不損害成形品質(zhì)的前提下使成形品順暢地自模塑模具脫模的樹脂模塑裝置及樹脂模塑方法。
[0020]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明具有以下的技術(shù)方案。
[0021]一種樹脂模塑裝置，其用于對被模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于，上述模塑模具具有:一模具，其用于載置上述工件；另一模具，在其模具夾持面上形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面，在上述另一模具上設(shè)有多個通氣孔，該多個通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于上述模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開，在上述一模具上設(shè)有成對的膜褶皺矯正構(gòu)件，該膜褶皺矯正構(gòu)件在以與上述工件載置面相面對的方式搬送的長條狀的上述離型膜的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜，從而，對于該離型膜，不僅在其長度方向上作用有張力而且在其寬度方向上也作用有張力來去除膜褶皺。
[0022]采用上述結(jié)構(gòu)，在模塑模具合模時，在覆蓋另一模具表面的離型膜的寬度方向兩側(cè)按壓被設(shè)置在一模具的成對的膜褶皺矯正構(gòu)件，因此，能夠矯正離型膜在寬度方向上產(chǎn)生的膜褶皺，使離型膜保持吸附在另一模具表面。
[0023]一種樹脂模塑方法，其是利用模塑模具夾持被供給來的工件而進(jìn)行樹脂模塑的方法，其特征在于，該樹脂模塑方法具有:向開模的模塑模具的一模具的模具夾持面供給上述工件，準(zhǔn)備用于對形成有模腔凹部的另一模具的模具夾持面進(jìn)行覆蓋的長條狀的離型膜的工序；開始上述模塑模具的合模動作，利用被設(shè)于上述一模具的模具夾持面且位于上述離型膜的寬度方向兩側(cè)的成對的膜褶皺矯正構(gòu)件將上述離型膜壓入與該膜褶皺矯正構(gòu)件相面對的上述另一模具的收容凹部，并且利用設(shè)于上述另一模具的模具嵌件的規(guī)定的通氣孔噴出空氣，來對上述離型膜去除膜褶皺的工序；使上述膜褶皺被矯正了的上述離型膜沿其長度方向作用有張力而使該離型膜沿著上述另一模具的模具夾持面，之后，利用該另一模具的所有通氣孔的抽吸，將上述離型膜保持吸附于上述另一模具的包括上述模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面的工序；將上述模塑模具合模，將模塑樹脂填充到上述模腔凹部的工序。
[0024]由此，在利用膜處理器向模具表面自動供給長條狀的離型膜的情況下，能夠矯正離型膜的沿寬度方向產(chǎn)生的膜褶皺，將離型膜吸附保持于包括模腔凹部在內(nèi)的另一模具的模具夾持面，因此，無論是傳遞模塑成形，還是壓縮成形都能使工件的成形品質(zhì)提高地進(jìn)行樹脂模塑。
[0025]一種樹脂模塑裝置，其利用模塑模具夾持在基材上搭載有電子零件的工件，對包含凸部的成形品進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于，該樹脂模塑裝置具有:一模具，其用于載置上述工件；另一模具，其具有模腔芯模，該模腔芯模在該另一模具的模具夾持面形成有第I模腔凹部且在該第I模腔凹部的底部分別形成有用于成形上述凸部的第2模腔凹部和在上述第I模腔凹部的模腔底部開口的第3通氣孔，利用離型膜覆蓋該另一模具的包括上述第I模腔凹部的底部在內(nèi)的模具夾持面，上述另一模具與載置有上述工件的上述一模具合模，利用上述第3通氣孔的抽吸將上述離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述第I模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持，在該狀態(tài)下，向上述第I模腔凹部內(nèi)填充模塑樹脂，施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力而一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。此外，基材包括樹脂基板、金屬(例如鋁、銅等)基板、陶瓷基板、引線框、載體等用于安裝電子零件的構(gòu)件。
[0026]采用上述樹脂模塑裝置，能夠利用離型膜的拉伸所產(chǎn)生的模具追隨性向深度比第I模腔凹部的模腔底部的深度深的多個第2模腔凹部填充模塑樹脂，因此，即使是包含例如深寬比高的凸部(例如透鏡部)的成形品，也能使樹脂填充性提高。
[0027]另外，能夠利用離型膜的厚度吸收工件的厚度的偏差、工件表面的凹凸且與凸部(例如透鏡部)相當(dāng)?shù)牡?模腔凹部為連續(xù)面，因此，能夠不在成形品上形成凹凸，能夠使成形品質(zhì)提升。
[0028]一種樹脂模塑裝置，其是對利用模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑、樹脂模塑后的成形品在開模時能自模塑模具脫模的樹脂模塑裝置，其特征在于，上述模塑模具具有:一模具，其用于載置上述工件；另一模具，在其模具夾持面形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面，上述另一模具上設(shè)有多個第2通氣孔，該多個第2通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開，上述一模具上設(shè)有使空氣向上述離型膜與成形品之間噴出而使上述成形品與上述離型膜分開的第5通氣孔。
[0029]采用上述結(jié)構(gòu)，使用模塑模具而對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，通過自另一模具上設(shè)置的第2通氣孔噴出空氣，在開模時能使離型膜與模具夾持面分開。
[0030]另外，模塑模具開始開模后，通過自第5通氣孔噴出空氣，能夠使離型膜與成形品分開。
[0031]進(jìn)一步進(jìn)行開模，通過使空氣自第5通氣孔噴出到多余樹脂與模具夾持面之間，能夠使成形品自一模具表面脫模。
[0032]因此，能夠在不使成形品質(zhì)下降的前提下將包含采用例如粘著性高的透明樹脂的透鏡部的成形品自模塑模具脫模。
[0033]一種樹脂模塑裝置，其是對利用模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑、在開模時樹脂模塑后的成形品能自模塑模具脫模的樹脂模塑裝置，其特征在于，上述模塑模具具有:一模具，其用于保持上述工件；另一模具，在其模具夾持面上形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面，在上述另一模具上設(shè)有多個第I通氣孔和多個第2通氣孔，該多個第I通氣孔在以包圍上述模腔凹部且與上述工件相面對的方式形成的周槽內(nèi)開口，該多個第2通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于上述模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開，該多個第2通氣孔在模具夾持面上開口，上述一模具上突出設(shè)有膜支承構(gòu)件，該膜支承構(gòu)件在常規(guī)狀態(tài)下被施力為向上述離型膜按壓。
[0034]采用上述結(jié)構(gòu)，使用模塑模具來對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，自設(shè)于另一模具的第I通氣孔抽吸空氣而將離型膜吸附于周槽，在該狀態(tài)下開模，能夠使離型膜自成形品剝離。另夕卜，在模塑模具開模時，在離型膜吸附于周槽的狀態(tài)下自第2通氣孔噴出空氣，從而能使離型膜膨脹為球囊狀而自另一模具的模具夾持面剝離。進(jìn)一步進(jìn)行開模，即使自另一模具表面剝離了的離型膜松弛，也能利用膜支承構(gòu)件向離型膜按壓來進(jìn)行支承。
[0035]因此，能夠在不使成形品質(zhì)下降的前提下將包含采用例如粘著性高的透明樹脂的透鏡部的成形品自模塑模具脫模。
[0036]一種樹脂模塑方法，其特征在于，該樹脂模塑方法具有:將載置有工件的一模具和包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面被離型膜覆蓋的另一模具合模，對成形品進(jìn)行樹脂模塑的工序；上述樹脂模塑后開始模塑模具的開模時，自上述另一模具的模具夾持面噴出空氣而使上述離型膜與該模具夾持面分開的工序；進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，使空氣自上述一模具的模具夾持面向上述離型膜與成形品之間噴出從而使上述離型膜與成形品分開的工序；再進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，自上述一模具使推銷向多余樹脂突出，并且使空氣向該多余樹脂與上述一模具的模具夾持面之間噴出，而使上述成形品自上述一模具的表面脫模的工序。
[0037]采用上述樹脂模塑方法，在對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，通過自另一模具的模具夾持面噴出空氣，在開模時使離型膜與模具夾持面分開，接著模塑模具開始開模，在對離型膜施加張力的狀態(tài)下使空氣自一模具的模具夾持面噴出，從而能夠使離型膜與成形品分開，進(jìn)一步進(jìn)行開模，自一模具使推銷向多余樹脂突出，并且使空氣向該多余樹脂與一模具的模具夾持面之間噴出而使推銷抵接部固化，因此，容易使多余樹脂與推銷之間剝離開，能夠容易地進(jìn)行成形品的脫模。
[0038]一種樹脂模塑方法，其特征在于，該樹脂模塑方法具有:將保持有工件的一模具和包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面被離型膜覆蓋的另一模具合模，對成形品進(jìn)行樹脂模塑的工序；在上述樹脂模塑后，開始模塑模具的開模之前，使上述離型膜的張力增大的工序；在進(jìn)行上述模塑模具的開模之前，使上述離型膜吸附于以包圍上述另一模具的上述模腔凹部的方式形成的周槽內(nèi)，在該狀態(tài)下進(jìn)行開模的工序；在使上述離型膜吸附于上述周槽內(nèi)的狀態(tài)下，自上述另一模具的模具夾持面噴出空氣而使該離型膜膨脹、自該另一模具的表面剝離的工序；進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，自上述一模具的模具夾持面突出的支承構(gòu)件以抵接于上述離型膜的狀態(tài)支承自上述另一模具的表面剝離了的該離型膜的工序。
[0039]采用上述樹脂模塑方法，在對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，在模塑模具開始開模前使離型膜的張力增大，使離型膜吸附于以包圍另一模具的模腔凹部的方式形成的周槽內(nèi)，在該狀態(tài)下進(jìn)行開模，因此，能夠利用開模動作使離型膜自成形品剝離。并且，在離型膜吸附于周槽內(nèi)的狀態(tài)下，自另一模具的模具夾持面噴出空氣而使該離型膜膨脹，因此，能夠自另一模具的包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面可靠地剝離離型膜。進(jìn)而，進(jìn)一步進(jìn)行模塑模具的開模，自一模具的模具夾持面突出的膜支承構(gòu)件以抵接于離型膜的狀態(tài)支承自另一模具的表面剝離了的該離型膜，因此，能夠抑制在卷繞使用過的離型膜時產(chǎn)生褶皺、松弛。
[0040]因此，能夠在不使成形品質(zhì)下降的前提下可靠地將包含采用例如粘著性高的透明樹脂的透鏡部的成形品自模塑模具脫模。
[0041]發(fā)明的效果
[0042]采用樹脂模塑裝置及樹脂模塑方法，在使用離型膜來進(jìn)行工件的樹脂模塑時，能夠矯正膜的在其寬度方向上產(chǎn)生的膜褶皺，并且能夠提高模塑樹脂的填充性以及成形品質(zhì)。
[0043]另外，在對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，能夠在不損害成形品質(zhì)的前提下使成形品順暢地自模塑模具脫模。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]圖1是開模狀態(tài)的模塑模具的剖視說明圖。
[0045]圖2是合模動作開始后的模塑模具的剖視說明圖。
[0046]圖3是接著圖2表示合模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0047]圖4是接著圖3表示合模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0048]圖5是接著圖4表示合模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0049]圖6是接著圖5表示合模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0050]圖7是接著圖6表示離型膜吸附保持完成后的模塑模具的剖視說明圖。
[0051]圖8是樹脂模塑前的上模的俯視圖。
[0052]圖9是表示保持樹脂模塑后的工件的下模的俯視圖。
[0053]圖10是表示成形品的單體的俯視圖。[0054]圖11是關(guān)于其他例子的下模的俯視圖。
[0055]圖12是表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0056]圖13是接著圖12表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0057]圖14是接著圖13表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0058]圖15是接著圖14表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0059]圖16是接著圖15表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0060]圖17是上模夾持面的俯視圖。
[0061]圖18是表示其他例子的樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0062]圖19是接著圖18表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0063]圖20是接著圖19表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0064]圖21是接著圖20表示樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作的剖視說明圖。
[0065]圖22是合模狀態(tài)的模塑模具的剖視說明圖。
[0066]圖23是開模動作剛開始之后的模塑模具的剖視說明圖。
[0067]圖24是接著圖23表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0068]圖25是接著圖24表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0069]圖26是接著圖25表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0070]圖27是開模后的脫模動作(日文卜動作)中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0071]圖28是接著圖27表示脫模動作后的模塑模具的剖視說明圖。
[0072]圖29是表示載置有樹脂模塑后的成形品的下模的鼓風(fēng)動作的說明圖。
[0073]圖30的(A)是第5通氣孔的俯視圖，圖30的(B)是第5通氣孔的主視圖。
[0074]圖31的(A)是表示成形品的脫模動作的流程圖，圖31的(B)是表示鼓風(fēng)的時間例子的時序圖。
[0075]圖32是合模狀態(tài)的模塑模具的剖視說明圖。
[0076]圖33是開模動作剛開始之后的模塑模具的剖視說明圖。
[0077]圖34是接著圖33表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0078]圖35是接著圖34表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
[0079]圖36是接著圖35表示開模動作中途的模塑模具的剖視說明圖。
【具體實施方式】
[0080]下面，連同附圖來詳細(xì)敘述本發(fā)明的樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法的優(yōu)選實施方式。下面，說明利用透明樹脂(硅系樹脂、環(huán)氧系樹脂、氨酯系樹脂、丙烯酸系樹脂等)、尤其是在將由作用于離型膜的張力而產(chǎn)生的褶皺去除之后、對作為工件W的一例的包含透鏡部(凸部)的發(fā)光裝置(LED)進(jìn)行傳遞模塑成形的樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法。為了應(yīng)對高亮度化、耐候化、耐熱化、低成本化等，可以從填料、擴散劑、顏料、熒光物質(zhì)、反射物質(zhì)等中選擇至少I種以上的物質(zhì)混合到熱固化性樹脂。另外，模塑樹脂能利用液體狀樹脂、顆粒狀樹脂、粒狀體樹脂(粉末樹脂)、薄片樹脂、小塊樹脂等各種各樣形態(tài)的樹脂，以下說明使用液體狀樹脂的例子。此外，也可以具有用于防止自發(fā)光元件I照射的照射光擴散的反射件(日文:'J 7 夕夕)(未圖示)。[0081]圖10是表示在基板2上成形的成形品單體的俯視圖。如圖10所示，本實施方式中的LED具有發(fā)光元件I (參照圖1)、用于載置發(fā)光元件I的基板2 (基材)、自覆蓋發(fā)光元件I的樹脂基部3突出設(shè)置的透鏡部4，該LED作為例如表面安裝型發(fā)光裝置而成形。在樹脂基部3的上方，在與發(fā)光元件I相面對的位置成形有半球狀的透鏡部4。本實施例中，在每個模腔利用樹脂基部3和透鏡部4封裝5個發(fā)光元件I (參照圖1)。
[0082]在圖1中，工件W是采用在基板2上例如以行列狀倒裝法連接(或者引線結(jié)合法連接)發(fā)光元件I的結(jié)構(gòu)。另外，作為基材使用的基板2可以采用樹脂基板、金屬(例如鋁、銅等)基板、陶瓷基板、引線框、載體等各種各樣的板狀的構(gòu)件。另外，作為工件W也可以采用形成有凸塊的晶圓、通過粘接來固定、搭載電子零件的載體等。
[0083]接著，說明樹脂模塑裝置。下面，以模塑模具的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說明。圖1是模塑模具5的省略了填料室殘料部流道、澆口等的示意性剖視圖(在圖2至圖7中也一樣)。另外，在圖9中是在基板2上將成形品呈串聯(lián)狀地兩兩相連而進(jìn)行樹脂封裝的，圖1是示意性表示用于封裝I個成形品的模塑模具5的剖面構(gòu)造。
[0084]在圖1中，模塑模具5具有用于保持工件W的下模6(—模具)、用于夾持工件W的上模7 (另一模具)。本實施例中，將上模7作為固定模、下模6作為可動模來進(jìn)行說明。壓力驅(qū)動機構(gòu)采用一種公知的機構(gòu)，即，利用驅(qū)動源(伺服電動機等)經(jīng)由驅(qū)動傳輸機構(gòu)(肘桿等)使支承于模板的下模6在連接桿的引導(dǎo)下升降。需要說明的是，也可以是將上模作為可動模、下模作為固定模的壓力驅(qū)動機構(gòu)。
[0085]首先，參照圖1和圖8說明上模7的結(jié)構(gòu)。在上模7中，在上?；?上支承有上模鎖緊塊9。在上模鎖緊塊9中，在上模中央嵌件10的兩側(cè)分別安裝上模模腔嵌件11。在上模中央嵌件10上分別刻入有上模殘料部IOa以及與上模殘料部IOa連接的多條(例如6條)上模流道10b。另外，在上模模腔嵌件11上以與各上模流道IOb連接的上模流道澆口 IIa和多個(例如2個)第I模腔凹部12a借助連通流道Ilb連接成串聯(lián)狀的方式分別進(jìn)行刻制。
[0086]在圖8中，上模終端限位塊13以彼此面對的方式設(shè)于在上模中央嵌件10的長度方向兩側(cè)。另外，上模終端限位塊14以彼此面對的方式設(shè)于在各上模模腔嵌件11的長度方向兩側(cè)。在上模終端限位塊13、14上形成有用于后述的下模6的鼓風(fēng)單元的位置余量(日文:逃(f)。
[0087]另外，在上?；?上以包圍包括上模模腔嵌件11在內(nèi)的上模鎖緊塊9(模腔凹部的外周側(cè))的方式形成有周槽15。在該周槽15的底部設(shè)有隔著規(guī)定間隔開口的多個通氣孔15a。通氣孔15a與可以噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16a連接(參照圖6)。在上?；?設(shè)置的周槽15的外周側(cè)嵌入有上模密封環(huán)17。上模密封環(huán)17與后述下模密封環(huán)31 —同在模塑模具5內(nèi)形成密閉空間，而能夠使該密閉空間內(nèi)減壓。
[0088]在圖8中，在上模模腔嵌件11的夾持面上呈行列狀形成有俯視為圓形的第I模腔凹部12a。在各第I模腔凹部12a的底部上，以比第I模腔凹部12a的底部深的方式刻入有與透鏡部4相對應(yīng)的多個(例如5個)第2模腔凹部12b，該第2模腔凹部12b為半球狀的凹部。第I模腔凹部12a用于收容在基板2上呈分散狀搭載有多個(例如5個)發(fā)光元件I(參照圖1)而成的工件W并進(jìn)行樹脂模塑。
[0089]另外，在第I模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周圍，開設(shè)有多個(例如4個)通氣孔12c (第2通氣孔)。各通氣孔12c與可以噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b (參照圖3)連接。
[0090]另外，在自上模殘料部IOa串聯(lián)配置的第I模腔凹部12a的周圍，分別形成有將這些串聯(lián)結(jié)構(gòu)分隔開的凹槽12d。在該凹槽12d的底部開設(shè)有多個通氣孔12e。各通氣孔12e與可以噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b (參照圖3)連接。
[0091]另外，如圖8所示，在上模中央嵌件10的夾持面上設(shè)有多個通氣孔18a，這些通氣孔18a可以使離型膜F吸附于上模夾持面或者噴出空氣而使離型膜F與上模夾持面分開。另外，與樹脂流路相當(dāng)?shù)纳夏埩喜?0a、上模流道10b、上模流道澆口 I la、連通流道Ilb上也開設(shè)有通氣孔18b。通氣孔18a、18b與可以噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b (參照圖3)連接。如圖1所示，利用離型膜F對包含第I模腔凹部12a和第2模腔凹部12b的上模夾持面進(jìn)行覆蓋。
[0092]另外，在圖8中，上模7的膜吸附面、即在比上?；?的上模密封環(huán)17靠外側(cè)的位置，以與后述的膜褶皺矯正構(gòu)件相面向的方式形成有收容凹部19，其用于收容被該膜褶皺矯正構(gòu)件按壓過來的離型膜F的松弛部分。該收容凹部19是沿膜寬度方向兩側(cè)設(shè)置的。
[0093]接著參照圖1和圖9說明下模6的結(jié)構(gòu)。圖9中，在下模6中，將下模鎖緊塊21支承于下模基座20。在下模鎖緊塊21中，在下模中央嵌件22的兩側(cè)分別設(shè)有下模嵌件23。在下模中央嵌件22上設(shè)有用于供給模塑樹脂的填料室24a (參照圖11)。在填料室24a內(nèi)設(shè)有可升降的柱塞24b (參照圖11)。
[0094]另外，在圖9中，在下?；?0的四角和下模中央嵌件22上設(shè)有貫通孔，在該貫通孔中突出設(shè)置有膜支承銷34 (膜支承構(gòu)件)，該膜支承銷34被設(shè)置為在常規(guī)狀態(tài)下被向離型膜F施力的狀態(tài)。膜支承銷34被在貫通孔內(nèi)設(shè)置的螺旋彈簧等施力構(gòu)件施力。作為一個例子，膜支承銷34設(shè)置于下模6的四角，還沿著膜輸送方向設(shè)置在相當(dāng)于中央部的下模中央嵌件22上的4處位置。
[0095]下模嵌件23的上表面部成為載置工件W并吸附保持該工件W的工件保持部。另夕卜，下模終端限位塊25以彼此相對的方式設(shè)置在下模中央嵌件22的長度方向兩側(cè)。另外，下模終端限位塊26以彼此相對的方式設(shè)置在各下模嵌件23的長度方向兩側(cè)。
[0096]鼓風(fēng)單元27以彼此相對的方式設(shè)置在上述成對的下模終端限位塊25，鼓風(fēng)單元28以彼此相對的方式設(shè)置在成對的下模終端限位塊26。在各鼓風(fēng)單元27、28的相對面?zhèn)确謩e設(shè)有后述的通氣孔。各通氣孔以使空氣朝向與工件W平行的方向擴散、噴出的方式形成。各單元的各通氣孔的開口的高度位置設(shè)為與工件W的基板上表面大致相同的高度。開模時，自該通氣孔向離型膜F與成形品之間噴出空氣而使離型膜F與成形品分開。另外，自通氣孔向多余樹脂29與下模表面之間噴出空氣，使多余樹脂29易于自推銷30(參照圖11)剝離。
[0097]另外，也可以針對通氣孔12c、12e、18a、18b (第2通氣孔)中的每個通氣孔利用閥的開閉操作進(jìn)行空氣抽吸和鼓風(fēng)的切換。另外，雖然鼓風(fēng)單元27、28均以相面對的方式配置，但也可以只在一側(cè)設(shè)置。另外，雖然鼓風(fēng)單元27、28設(shè)置在下模終端限位塊25、26上，但也可以設(shè)置在下模鎖緊塊21的寬度方向的一方側(cè)或兩側(cè)。
[0098]另外，在圖9中，在下?；?0上以包圍下模鎖緊塊21的周圍的方式設(shè)有下模密封環(huán)31。在上模7和下模6合模時，該下模密封環(huán)31與上?；?的上模密封環(huán)17抵接，而在模塑模具5內(nèi)形成密閉空間。由此，能夠在模塑模具5內(nèi)形成減壓空間(或者加壓空間)，能夠進(jìn)行去除了內(nèi)部空氣的樹脂模塑。
[0099]在圖9中，在下?；?0上設(shè)有成對的膜褶皺矯正構(gòu)件32，該成對的膜褶皺矯正構(gòu)件32在以與工件載置面相面對的方式輸送的長條狀的離型膜F的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜F，從而對于該離型膜F，不僅在長度方向作用有張力、在寬度方向也作用有張力來去除膜褶皺。如圖1所示，膜褶皺矯正構(gòu)件32的頂端側(cè)形成為尖細(xì)狀的平坦的按壓面32a，并且，膜褶皺矯正構(gòu)件32形成有自按壓面32a向外側(cè)斜下方以規(guī)定角度傾斜的錐形面32b。各膜褶皺矯正構(gòu)件32形成為沿離型膜F的長度方向連續(xù)的一張板狀，被螺旋彈簧33朝向上方施力地支承于下?；?0。該螺旋彈簧33對膜褶皺矯正構(gòu)件32施力，按壓離型膜F，從而去除膜褶皺，除此之外，還能通過彈性變形來吸收因合模而對離型膜F作用的過度的按壓力。
[0100]對載置有工件W的下模6和上模7進(jìn)行合模，一邊利用膜褶皺矯正構(gòu)件32將覆蓋上模7的模具表面的離型膜F向收容凹部19按壓，一邊使空氣自規(guī)定通氣孔12c、12e、18a、18b噴出，在膜褶皺被矯正后的狀態(tài)下停止空氣的噴出。而且，沿離型膜F的長度方向作用張力，通過自在第I模腔凹部12a的內(nèi)側(cè)和外側(cè)開口的通氣孔16a，12c、12e、18a、18b進(jìn)行空氣抽吸，以依照上模分型面的狀態(tài)，將離型膜F沿著包括第I模腔凹部12a的底部在內(nèi)的上模夾持面吸附保持。
[0101]接著，參照圖1至圖7的模塑模具的夾持動作來說明采用上述的模塑模具5的膜褶皺的矯正動作的一個例子。
[0102]首先，在圖1中，在開模的模塑模具5中的下模6的下模嵌件23載置工件W，利用注射器等向填料室供給液體狀的模塑樹脂。另外，準(zhǔn)備用于覆蓋上模7的形成有模腔凹部12a、12b的模具夾持面的長條狀的離型膜F。離型膜F利用未圖示的膜處理器自供給卷放出，經(jīng)過上模夾持面而卷繞在卷繞卷軸上。另外，在該階段離型膜F未吸附于上模夾持面。
[0103]接著，開始模塑模具5的合模動作，使作為可動模的下模6相對于作為固定模的上模7上升。如圖2所示，下模6上升時，被設(shè)置為比下模6的夾持面向上方突出的膜褶皺矯正構(gòu)件32在離型膜F的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜F，開始對離型膜F進(jìn)行按壓而使離型膜F向?qū)挾确较騼蓚?cè)展開。另外，此時，利用離型膜處理器對離型膜F施加沿其長度方向的張力而產(chǎn)生縱褶皺Fl (參照圖3)。
[0104]在圖3中，在膜褶皺矯正構(gòu)件32按壓離型膜F時，使空氣自設(shè)于第I模腔凹部12a的底部的通氣孔12c、設(shè)于凹槽12d的通氣孔12e、以及設(shè)于下模中央嵌件22、樹脂流路的通氣孔18a、18b噴出，并將離型膜F推入與其相面對的上模7的收容凹部19，從而去除膜褶皺(縱向褶皺Fl)。
[0105]如圖4所示，此時，離型膜F利用空氣的壓力以向下凸出的方式臨時發(fā)生膨脹來矯正寬度方向的膜褶皺。需要說明的是，若在離型膜F產(chǎn)生有褶皺的狀態(tài)下使離型膜F形成模腔凹部12b的形狀，則有時離型膜F會在產(chǎn)生有褶皺的狀態(tài)下被抽吸到模具表面，結(jié)果未能完全去除褶皺。因此，通過使離型膜F暫時膨脹，能夠消除該離型膜F產(chǎn)生的褶皺。
[0106]膜褶皺的矯正結(jié)束時，如圖5所示，進(jìn)一步進(jìn)行模具夾持動作，從而膜褶皺矯正構(gòu)件32進(jìn)入收容凹部19而沿離型膜F的寬度方向拉伸離型膜F，與此同時，停止自第2通氣孔12c、12e、18a、18b的空氣噴出動作。[0107]接著，如圖6所示，利用在設(shè)于上模夾持面的第I模腔凹部12a的內(nèi)側(cè)和外側(cè)開口的第I通氣孔15a和第2通氣孔12c、12e、18a、18b的抽吸，將矯正了膜褶皺的離型膜F吸附保持于包括第I模腔凹部12a在內(nèi)的上模夾持面。
[0108]然后，如圖7所示，利用下模6和上模7夾持工件W (基板2)，合模結(jié)束。然后，使柱塞24b (參照圖11)動作而向第I模腔凹部12a填充填料室24a內(nèi)的模塑樹脂。此時，離型膜F以處于被第I模腔凹部12a的模腔底部限定的高度的方式吸附保持于上模夾持面，在該的狀態(tài)下進(jìn)行填充，進(jìn)一步施加比離型膜F的張力大的最終樹脂壓力，而一邊使離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部12b填充模塑樹脂。此時，容易被封閉在第2模腔凹部12b中的空氣經(jīng)由通氣孔12逃逸，從而不會產(chǎn)生空穴。因此，在基板2上搭載有發(fā)光元件I而成的工件W的透鏡部4的成形品質(zhì)能夠成形為高品質(zhì)。需要說明的是，在由于第2模腔凹部12b的大小、離型膜F的張力、抽吸力等而能夠進(jìn)行良好的抽吸的情況下，離型膜F沿模腔凹部12b拉伸，依照該模腔凹部12b地吸附保持后填充樹脂。
[0109]上述實施例中，膜褶皺矯正構(gòu)件32的形態(tài)形成為與離型膜F相面對而在離型膜F的長度方向上相連的一張板狀，但并不限定于此。例如，如圖11所示，膜褶皺矯正構(gòu)件32也可以配置為沿離型膜F的長度方向分割為多張的板狀。另外，被分割的各膜褶皺矯正構(gòu)件32的高度可以根據(jù)褶皺的產(chǎn)生情況來進(jìn)行改變。并且，也可以改變向上方對膜褶皺矯正構(gòu)件32施力支承的螺旋彈簧33的強度。
[0110]另外，上述的実施例不僅適用于對在基板2上以行列狀配置的工件W在各模腔進(jìn)行樹脂模塑的情況，也能適用于利用模塑樹脂對包含凸部的成形品統(tǒng)一成形的類型的制品。另外，說明了對發(fā)光裝置(LED)進(jìn)行樹脂模塑的情況，但并不限定于此，只要是具有凸部的成形品即可，也可以用在對半導(dǎo)體元件進(jìn)行樹脂封裝的情況。
[0111]另外，對在上模設(shè)置模腔凹部、在下模設(shè)置工件W的情況進(jìn)行了說明，但也可以是在下模設(shè)置模腔凹部、在上模設(shè)置工件W的情況。
[0112]并且，雖然實施例是上模為固定模、下模為可動模的情況，但既可以是下模為固定模、上模為可動模，也可以是上下模雙方都為可動模。
[0113]另外，樹脂模塑裝置既可以是傳遞模塑裝置，也可以是壓縮成形裝置。
[0114]如以上說明的那樣，能夠提供一種在采用長條狀的離型膜F來對工件W進(jìn)行樹脂模塑時、能矯正膜的在其寬度方向上產(chǎn)生的膜褶皺從而使成形品質(zhì)提高的樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法。尤其是，利用膜處理器向模具表面自動供給長條狀的離型膜時，能夠矯正沿寬度方向產(chǎn)生的膜褶皺，之后將離型膜吸附保持于包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面，因此，無論是傳遞模塑成形還是壓縮成形都能使工件的成形品質(zhì)提高地進(jìn)行樹脂模塑。另外，在本實施例中，對采用長條狀的離型膜F進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也適用于長方形(長度較短)的離型膜F，在本實施例中，對離型膜F的在寬度方向上進(jìn)行了張力矯正，但也可以在長度方向上進(jìn)行張力矯正。
[0115]第2實施例
[0116]對離型膜在模腔內(nèi)被抽吸的情況、樹脂模塑裝置及樹脂模塑方法進(jìn)行詳細(xì)說明。對與第I實施例相同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并引用在前面的說明。在圖12中，模塑模具5和壓力驅(qū)動機構(gòu)與第I實施例相同。在本實施例中，也將上模7作為固定模、下模6作為可動模來進(jìn)行說明。在設(shè)于上模7的模腔芯模(模腔嵌件)11的上模夾持面上形成有第I模腔凹部12a。
[0117]第I模腔凹部12a用于整體收容在基板2上以行列狀搭載有發(fā)光元件I的工件W并進(jìn)行模塑。另外，在第I模腔凹部12a的底部的與發(fā)光元件I相面對的部位形成有深度比該模腔底部的深度深的多個第2模腔凹部12b。在第I模腔凹部12a的底部，第2模腔凹部12b形成為與透鏡部外形相對應(yīng)的半球狀的凹部。另外，形成有與第I模腔凹部12a相連接的上模流道澆口 11a。另外，在上模7的上模中央嵌件10的夾持面上形成有與上模流道澆口 Ila連接的上模殘料部10a。包括上述第I模腔凹部12a、上模流道澆口 I la、上模殘料部IOa在內(nèi)的上模夾持面被離型膜F覆蓋。
[0118]作為一個例子，在圖17中，詳細(xì)說明具有3行3列的第2模腔凹部12b的情況。需要說明的是，對第I實施例的圖10所示的成形品進(jìn)行成形的情況也是一樣的。模腔芯模
11的第I模腔凹部12a的模腔底部開設(shè)有通氣孔12f (第3通氣孔)。通氣孔12f在將離型膜F吸附保持于包括第I模腔凹部12a在內(nèi)的上模夾持面時使用。另外，在第I模腔凹部12a的底部挖掘并形成有與第2模腔凹部12b相連的連通槽12g。在該連通槽12g中開設(shè)有通氣孔12h (第4通氣孔)。需要說明的是，在第I實施例中，為了簡化而記載為通氣孔12c (第2通氣孔)，但詳細(xì)而言，由本實施例的第3通氣孔12f和第4通氣孔12h這兩者構(gòu)成。同樣，為了簡化，將空氣抽吸排氣裝置也只記載為16b。
[0119]圖17中，鄰接的第2模腔凹部12b借助連接其外周側(cè)的連通槽12g彼此縱橫連通，各連通槽12g連接有通氣孔12h。通氣孔12h用于排走空氣或者抽吸空氣，該空氣是如后述那樣向第2模腔凹部12b填充模塑樹脂時容易被封閉的空氣。通氣孔12f與空氣抽吸排氣裝置16c (參照圖13)連接，通氣孔12h與空氣抽吸排氣裝置16d (參照圖16)連接。利用該空氣抽吸排氣裝置16c、16d，不僅能自通氣孔12f和通氣孔12h抽吸空氣，根據(jù)需要還能噴出壓縮空氣而使離型膜F自模具表面剝離、促進(jìn)封裝表面的固化。
[0120]另外，在圖17中，在第2模腔凹部12b的外周緣部形成有與連通槽12g相連接的階梯凹槽12i?？諝饽軌蜃栽撾A梯凹槽12i經(jīng)由連通槽12g向通氣孔12h逃逸(參照圖12)。另外，也可以省略階梯凹槽12i而將連通槽12g直接連通于第2模腔凹部12b。另外，空氣通路12j設(shè)置為連接于與上模流道澆口 Ila和第I模腔凹部12a相連接的邊相反的一側(cè)的邊(相面對的邊)。
[0121]在圖12中，在下模6中，下模嵌件23支承于下模鎖緊塊21。下模嵌件23的上表面成為用于搭載工件W的搭載面。另外，在下模中央嵌件22上設(shè)有填料室24a。該填料室24a內(nèi)插入有能升降的柱塞24b。柱塞24b設(shè)為能利用公知的傳遞機構(gòu)升降。
[0122]接著，參照圖12至圖16說明樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作。首先，在圖12中，在開模的模塑模具5中，在下模6的下模嵌件23上載置工件W，利用注射器等向填料室24a供給液體狀的模塑樹脂R。
[0123]并且，如圖13所示，使空氣抽吸排氣裝置16c工作，利用設(shè)在與下模6相面對的上模7的模腔芯模11上的通氣孔12f (參照圖17)開始抽吸空氣，使離型膜F在被施加了張力的狀態(tài)下吸附保持于包括第I模腔凹部12a、第2模腔凹部12b、上模流道澆口 11a、上模殘料部IOa在內(nèi)的上模夾持面。需要說明的是、該圖中所示的虛線表示:利用空氣抽吸排氣裝置16c自配置于與通氣孔12h在該圖的紙面左右方向上為相同位置的位置且在該剖面中未圖示的通氣孔12f (參照圖17)抽吸空氣(圖14、圖15、圖19、圖20中也一樣)。此時，被依照上模夾持面吸附保持的離型膜F處于這樣的狀態(tài):被以規(guī)定的張力依照第I模腔凹部12a的模腔底部吸附保持，且未進(jìn)入深度比第I模腔凹部12a的模腔底部的深度深的第2模腔凹部12b。
[0124]接著，在圖14中，模塑模具5合模。利用公知的開合模機構(gòu)使下模模板上升，通過下模6和上模7夾持工件W。另外，也可以是，利用上模7具有的未圖示的可動夾緊件將在上模7與下模6之間形成的包括第I模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在內(nèi)的模具空間密閉，形成減壓空間。
[0125]接著，如圖15所示，使未圖示的傳遞機構(gòu)工作而抬起柱塞24b，在離型膜F處于被第I模腔凹部12a的模腔底部限定的高度的狀態(tài)下，將在填料室24a內(nèi)加熱的模塑樹脂R填充到第I模腔凹部12a的整個空間。在該情況下，利用比離型膜F的張力小、不使離型膜F拉伸較長的程度的較低的第I樹脂壓力填充模塑樹脂R。需要說明的是，在該圖中，雖然圖示為離型膜F的位于第2模腔凹部12b的部分也與第I模腔凹部12a平齊，但實際上也可以成為離型膜稍微壓入第2模腔凹部12b內(nèi)的狀態(tài)。
[0126]此時，因為離型膜F未粘貼于第2模腔凹部12b的表面，所以能沿著凹凸小的離型膜F順利地填充模塑樹脂R。另外，第I模腔凹部12a內(nèi)的空氣自設(shè)于與上模流道澆口 Ila相反的一側(cè)的空氣通路12j逃逸，因此，不會將空氣封閉于模具內(nèi)(參照圖17)。
[0127]最后，如圖16所示，進(jìn)一步抬起柱塞24b，施加比離型膜F的張力大的最終樹脂壓力，一邊使該離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R。此時，殘留在第2模腔凹部12b中的空氣經(jīng)由連通槽12g (或者階梯凹槽12i和連通槽12g)向通氣孔12h逃逸，并且模塑樹脂R被填充到第2模腔凹部12b。
[0128]或者，也可以是，一邊向第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R，一邊利用空氣抽吸排氣裝置16d自與第2模腔凹部12b相連的通氣孔12h抽吸空氣，在該狀態(tài)下，一邊使離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊填充模塑樹脂R。
[0129]采用上述樹脂模塑裝置和樹脂模塑方法，能夠利用離型膜F的拉伸所產(chǎn)生的模具追隨性而向比第I模腔凹部12a的模腔底部的深度深的多個第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R，因此，即使是包含例如深寬比高的透鏡部的成形品，也能提高樹脂填充性。另外，能夠利用離型膜的厚度吸收工件的厚度的偏差、工件表面的凹凸且與透鏡部相當(dāng)?shù)牡?模腔凹部12b為連續(xù)面，因此，能夠不在成形品上形成凹凸，能夠提高成形品質(zhì)。
[0130]另外，使容易封閉于第2模腔凹部12b的空氣經(jīng)由連通槽12g向通氣孔12h可靠地逃逸，從而能夠防止第2模腔凹部12b中產(chǎn)生模塑樹脂R的未填充、空穴。
[0131]另外，一邊自通氣孔12h抽吸空氣一邊施加最終樹脂壓力，從而一邊使離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R，在該情況下，能夠促進(jìn)殘留于第2模腔凹部12b內(nèi)的空氣的排出。另外，模塑樹脂R填充到第I模腔凹部12a后，對多個第2模腔凹部12b中的所有第2模腔凹部12b同時進(jìn)行填充，因此，能夠使模塑樹脂R在第2模腔凹部12b內(nèi)的加熱均勻化，能夠進(jìn)行固化狀態(tài)均勻的透鏡成形。需要說明的是，在本實施例中，第3通氣孔12f與第4通氣孔12h的抽吸時間是錯開的，但也可以同時進(jìn)行抽吸。
[0132]接著，說明樹脂模塑裝置的其他例子。
[0133]上述樹脂模塑裝置雖然采用傳遞模塑成形用的模塑模具，但也可以采用壓縮成形用的模塑模具。另外，與上述的樹脂模塑裝置相同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并引用在前面的說明。圖18中，上模7設(shè)有包圍模腔芯模11的上?？蓜訆A緊件35。上?？蓜訆A緊件35利用螺旋彈簧等懸掛支承于未圖示的上?；ＤＧ恍灸?1固定于上?；?未圖示)。在模腔芯模11上形成有第2模腔凹部12b和將這些第2模腔凹部12b連通的連通槽12g(包括階梯凹槽12i)。
[0134]在模腔芯模11上分別設(shè)有在其底部(相當(dāng)于第I模腔凹部12a的模腔底部)開口的通氣孔12f (第3通氣孔；參照圖17)和在將第2模腔凹部12b彼此連通的連通槽12g中開口的通氣孔12h (第4通氣孔)。
[0135]另外，在圖18中，在下模6中，在下?；?0上支承有下模嵌件23。在下?；?0上以包圍下模嵌件23且與上模可動夾緊件35相面對的方式設(shè)有下模塊36。另外，雖然在模腔芯模11未形成相當(dāng)于第I模腔凹部12a的凹部，但是通過將模塑模具5夾緊而由下模塊36的內(nèi)壁面與模腔芯模11的底部(下端面)形成的凹部相當(dāng)于第I模腔凹部12a。BP,模腔芯模11的下端面與第I模腔凹部12a的模腔底部相當(dāng)。
[0136]接著，參照圖18至圖21說明上述樹脂模塑裝置的樹脂模塑動作。在圖18中，將搭載有樹脂的工件W搬入并載置于開模的模塑模具5中的下模6的下模嵌件23，利用設(shè)于下模嵌件23的空氣抽吸孔(未圖示)吸附工件W。另外，也可以是，在將工件W搬入模塑模具5后向基板2的中央部供給模塑樹脂R (液體狀樹脂)。并且，如圖19所示，使空氣抽吸排氣裝置16c工作，利用與下模6相面對的上模7的模腔芯模11上的通氣孔12f (雖然圖17圖示了傳遞模塑成形用的模腔，但與沒有澆口 Ila的壓縮成形用的可動模腔相同，因此用作參照)開始抽吸空氣，在對離型膜F施加了規(guī)定的張力的狀態(tài)下使離型膜F吸附保持于上模夾持面。
[0137]接著，將模塑模具5合模。利用公知的開合模機構(gòu)使未圖示的下模模板上升，如圖20所示那樣，利用下模6和上模7在工件W的上方形成第I模腔凹部12a，利用模腔芯模11和工件W夾持模塑樹脂R。此時，被依照上模夾持面吸附保持的離型膜F以規(guī)定的張力依照模腔芯模11的底部(與第I模腔凹部12a的模腔底部相當(dāng))被吸附保持，且處于未進(jìn)入第2模腔凹部12b的狀態(tài)。在離型膜F被模腔芯模11的底部(與第I模腔凹部12a的模腔底部相當(dāng))限定了高度的狀態(tài)下，利用不使離型膜F拉伸較長的程度的較低的第I樹脂壓力向第I模腔凹部12a的整體填充模塑樹脂R。在本實施例中，因為離型膜F也未粘貼于第2模腔凹部12b的內(nèi)表面，所以能沿著凹凸小的離型膜F順利地填充模塑樹脂R。另外，也可以是，對上?？蓜訆A緊件35抵接于下模塊36而形成的模具空間(第I模腔凹部12a和第2模腔凹部12b)進(jìn)行密閉，形成減壓空間。
[0138]最后，如圖21所示，自上模可動夾緊件35抵接于下模塊36的狀態(tài)進(jìn)一步抬起下模6，施加比離型膜F的張力大的最終樹脂壓力而一邊使該離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊向第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R。此時，殘留在第2模腔凹部12b的空氣經(jīng)由連通槽12g (或者經(jīng)由階梯凹槽12i和連通槽12g)向通氣孔12h逃逸，并且模塑樹脂R被填充到第2模腔凹部12b。
[0139]或者，也可以是，一邊向第2模腔凹部12b填充模塑樹脂R，一邊使空氣抽吸排氣裝置16d工作而利用與第2模腔凹部12b相連的通氣孔12h抽吸空氣，從而一邊使離型膜F在第2模腔凹部12b內(nèi)拉伸，一邊填充模塑樹脂R。[0140]在上?？蓜訆A緊件35抵接于下模塊36的狀態(tài)下，上模7和下模6位于最終夾持位置、即模腔芯模11與工件W接近的位置時能維持最終樹脂壓力。也采用這樣的壓縮成形，即使是包含例如深寬比高的透鏡部的成形品，也能夠提高模塑樹脂R的填充性并提高成形品質(zhì)。
[0141]另外，也可以是，在模塑模具內(nèi)使模塑樹脂R加熱固化后，使空氣抽吸排氣裝置16c、16d工作，自通氣孔12f和通氣孔12h進(jìn)行鼓風(fēng)，從而在開模時促進(jìn)離型膜F的脫模、或者使透鏡部的表面固化而促進(jìn)脫模。
[0142]第3實施例
[0143]詳細(xì)說明成形后的鼓風(fēng)并用脫模的樹脂模塑裝置和方法。對與第I實施例相同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并引用在前面的說明。
[0144]在圖11中，工件W是采用在基板2上以行列狀倒裝法連接(或者引線結(jié)合法連接)發(fā)光元件I的結(jié)構(gòu)。在圖9中示出了對于長方形(長度較短)的基板2的情況，安裝多個(例如安裝18個)成形品的例子。另外，作為基材使用的基板2可以采用樹脂基板、金屬(例如鋁、銅等)基板、陶瓷基板、引線框、載體等各種各樣的板狀的構(gòu)件。另外，作為工件W可以采用形成有凸塊的晶圓、通過粘接固定搭載有電子零件的載體等。
[0145]接著，說明樹脂模塑裝置。另外，因為樹脂模塑裝置所具有的模塑模具5的大致結(jié)構(gòu)、壓力驅(qū)動機構(gòu)與第I實施例相同，所以以模塑模具5所具有的脫模裝置的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說明。圖22是自模塑模具5省略了填料室、殘料部、流道、澆口等的示意性剖視圖(在圖23至圖25中也一樣)。另外，在圖9中成形品37在基板2上呈串聯(lián)狀地兩兩相連而樹脂封裝，圖22示意性表示用于封裝I個成形品37的模塑模具5的剖面結(jié)構(gòu)。模塑模具5具有用于載置工件W的下模6 (—模具)和用于夾持工件W的上模7 (另一模具)。需要說明的是，因為是要詳細(xì)說明利用鼓風(fēng)進(jìn)行的脫模，因此圖22至圖25省略了作為成形前的必要結(jié)構(gòu)的周槽15、對離型膜進(jìn)行褶皺弄平的膜褶皺矯正構(gòu)件32、收容凹部19的圖示。
[0146]首先，參照圖8說明上模7的結(jié)構(gòu)。在第I模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周圍開設(shè)有多個(例如4個)通氣孔12c (第2通氣孔)。通氣孔12c與能噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b連接(參照圖22)。
[0147]在圖8中，在上模中央嵌件10和上模模腔嵌件11的夾持面(工件抵接面)上開設(shè)有多個用于吸附保持離型膜F的通氣孔18a (第2通氣孔)。另外，與樹脂流路相當(dāng)?shù)纳夏埩喜?0a、上模流道10b、上模流道澆口 11a、連通流道Ilb上開設(shè)有通氣孔18b (第2通氣孔)。第2通氣孔18a、18b與可以噴出空氣或者抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16f (參照圖27和圖28)連接。如圖22所示，包括第I模腔凹部12a的底部在內(nèi)的上模夾持面利用離型膜F覆蓋。
[0148]接著，參照圖11和圖9說明下模6的結(jié)構(gòu)。在圖11中，在下模中央嵌件22的填料室周邊區(qū)域、即與成形品上的殘料(日文:成形品力>)29a和成形品上的流道(日文:成形品5 > t ) 29b (參照圖9)對應(yīng)的位置設(shè)有貫通孔，在該貫通孔中設(shè)有能突出的推銷30。推銷30豎立設(shè)置于未圖示的推銷板件。模塑模具5處于合模狀態(tài)時，推銷30自下模夾持面退避，在進(jìn)行開模之后被推銷板件按壓，自下模夾持面(下模中央嵌件22)突出而使多余樹脂29 (成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b ;參照圖9)脫豐旲。
[0149]鼓風(fēng)單元27以彼此面對的方式設(shè)于成對的下模終端限位塊25，鼓風(fēng)單元28以彼此面對的方式設(shè)于成對的下模終端限位塊26。在與各鼓風(fēng)單兀27、28相對面的一側(cè)分別設(shè)有通氣孔27a、28a (第5通氣孔；參照圖27和圖28)。圖30的(A)和圖30的(B)表示鼓風(fēng)單元28 (27)的結(jié)構(gòu)例。另外，鼓風(fēng)單元27的結(jié)構(gòu)也一樣。為了使空氣朝向與工件W平行的方向擴散、噴出，通氣孔28a (27a)的單元開口 28b (27b)形成為呈大致90°張開。單元開口 28b (27b)的高度位置設(shè)為與工件W的基板上表面大致相同的高度。自通氣孔28a朝向離型膜F與成形品37之間噴出空氣而使離型膜F與成形品37分開(參照圖25)。另夕卜，如后述那樣，自通氣孔27a朝向多余樹脂29與下模表面之間噴出空氣，而使多余樹脂29(成形品上的殘料29a)變得易于自推銷30剝離(參照圖27)。
[0150]通氣孔27a、28a與能抽吸空氣或者能鼓風(fēng)的空氣抽吸排氣裝置16f連接(參照圖
23、圖24、圖25)。另外，對于通氣孔18a、18b (第2通氣孔)、通氣孔27a、28a (第5通氣孔)以及通氣孔12c (第2通氣孔)，雖然在本實施例中對各通氣孔進(jìn)行閥的開閉操作而通過各空氣抽吸排氣裝置進(jìn)行抽吸空氣和鼓風(fēng)的切換，但也可以使用共有的空氣抽吸排氣裝置。
[0151]接著，一邊參照圖31的(A)的流程圖和圖31的(B)的鼓風(fēng)的時序圖一邊說明采用上述模塑模具5的脫模動作的一個例子。首先，在圖31的(A)中，在開模的模塑模具5的下模嵌件23上載置工件W，向填料室24a供給模塑樹脂R后，使下模6向上移動，而與包括第I模腔凹部12a的底部在內(nèi)的上模夾持面被離型膜F覆蓋的上模7—起夾持工件W，使包含透鏡部的成形品37加熱固化來進(jìn)行樹脂模塑(步驟SI)。在圖31的(B)中，因為作為可動模的下模6正與上模7合模，所以壓力驅(qū)動機構(gòu)位于向上移動的位置。另外，空氣抽吸排氣裝置16b工作而使在上模7的夾持面開口的通氣孔18a、18b (第2通氣孔)處于抽吸離型膜F的狀態(tài)(吸附ON狀態(tài))。另外，圖22表示剛完成樹脂模塑后的狀態(tài)。該圖所示的模塑樹脂R的加熱固化溫度由于樹脂的不同而不同，但為140°C?180°C。
[0152]接著，在圖31的(A)中，經(jīng)過模塑樹脂R的固化時間后，開始模塑模具5的開模。即，使壓力驅(qū)動機構(gòu)工作，使下模6下降(步驟S2)。接著，停止空氣抽吸排氣裝置16b的膜吸附動作，利用通氣孔18a、18b (第2通氣孔)開始鼓風(fēng)動作(步驟S3)。在圖31的(B)中，利用通氣孔18a、18b (第2通氣孔)噴出空氣，而使離型膜F與上模7分開(參照圖23)。優(yōu)選的是，此時，使空氣抽吸排氣裝置16b工作，自通氣孔12c (第2通氣孔)噴出空氣，隔著離型膜F使與深寬比高的凸部相當(dāng)?shù)某尚纹?7的表面固化(參照圖23)。另外，雖然繼續(xù)由通氣孔18a、18b (第2通氣孔)進(jìn)行的鼓風(fēng)動作，但也可也經(jīng)過規(guī)定時間后使鼓風(fēng)動作結(jié)束。對于通氣孔12c (第2通氣孔)，也是一樣的。
[0153]接著，在圖31的(A)中，進(jìn)一步進(jìn)行模塑模具6的開模，使空氣抽吸排氣裝置16f工作，而使空氣自通氣孔27a、28a (第5通氣孔)噴出到離型膜F與成形品37之間，從而使離型膜F與成形品37分開(參照圖24、圖25 ;步驟S4)。
[0154]具體而言，在圖31的(B)中，一邊使下模6進(jìn)一步下降、即自開始開模起t秒后00)使空氣抽吸排氣裝置16f工作，自通氣孔27a、28a (第5通氣孔)沿基板2向離型膜F與成形品37之間的間隙噴出空氣，該間隙是在對離型膜F施加了張力的狀態(tài)下形成的(參照圖25)。圖29示意性表示自相對配置的鼓風(fēng)單元27、28沿基板2向成形品37噴出空氣的狀態(tài)。如圖30的(A)所示，形成于鼓風(fēng)單元28 (27)的通氣孔28a (27a;第5通氣孔)的單元開口 28b (27b)以使空氣以大致90°的角度擴散的方式對工件W吹送空氣，因此，能夠有效地對成形品37進(jìn)行冷卻。[0155]由此，增加離型膜F的張力時，自通氣孔28a (27a ;第5通氣孔)噴出空氣而促進(jìn)成形品表面的固化，從而使離型膜F變得容易自基板2和成形品37剝離。另外，優(yōu)選此時的成形品37的表面溫度冷卻到100°C左右。另外，雖然繼續(xù)通氣孔28a (27a ?’第5通氣孔)進(jìn)行的鼓風(fēng)動作，但也可以經(jīng)過規(guī)定時間后使鼓風(fēng)動作結(jié)束。
[0156]如圖26所示，雖然上模7與離型膜F、離型膜F與成形品37分別分開，但成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b仍粘貼在下模夾持面(下模中央嵌件22)而未脫模。尤其是LED用的透明樹脂，只要成形品未冷卻固化就會處于粘著性仍然很高的狀態(tài)，因此，在加熱狀態(tài)下難以與下模夾持面分開。附帶說一下，如圖9所示，樹脂模塑后的多余樹脂29、即成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b與下模6 (下模中央嵌件22)之間的接觸面積大，所以難以剝離。
[0157]因此，在圖31的(A)中，再進(jìn)一步進(jìn)行模塑模具5的開模，開始下模脫模動作(步驟S5)。即，如圖31的(B)所示，使推銷30自下模6 (下模中央嵌件22)朝向成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b頂起(參照圖27)。另外，自通氣孔27a (第5通氣孔)向成形品上的殘料29a與下模夾持面之間、成形品上的流道29b與下模夾持面之間噴出空氣而使成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b的與推銷30抵接的推銷抵接部固化(步驟S6 ;參照圖28)。圖29示意性地表示空氣自相對配置的鼓風(fēng)單元27向成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b噴出的狀態(tài)。
[0158]另外，在圖28中，雖然單元開口 27b的高度設(shè)為比成形品上的殘料29a與下模夾持面之間的分界面、成形品上的流道29b與下模夾持面之間的分界面高的位置，但如圖31的(B)所示，當(dāng)下模6移動到開模位置時，推銷30突出到最大突出位置，所以成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b被向上方頂起而能經(jīng)由成形品上的殘料29a與下模表面之間、成形品上的流道29b與下模表面之間形成的間隙進(jìn)行鼓風(fēng)。
[0159]由此，使推銷30朝向成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b頂起，并且噴出空氣，對與推銷30抵接的推銷抵接部進(jìn)行冷卻，從而使多余樹脂29固化而易于自推銷30剝離。另外，沒有必要在成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b都設(shè)置推銷30，也可以設(shè)置于其中任意一者。另外，在本實施例中，雖然繼續(xù)通氣孔12c (第2通氣孔)進(jìn)行的鼓風(fēng)動作，也可也經(jīng)過規(guī)定時間后使鼓風(fēng)動作結(jié)束。
[0160]如上所述，成形品37的脫模動作結(jié)束(步驟S7)。
[0161]采用上述結(jié)構(gòu)，使用模塑模具5對含有透鏡部4的成形品37進(jìn)行樹脂模塑后，自設(shè)于上模7的通氣孔18a、18b噴出空氣，從而能使離型膜F與上模夾持面分開。
[0162]另外，模塑模具5開始開模后，使空氣自通氣孔27a、28a噴出，從而能夠使成形品37與尚型膜F分開。
[0163]進(jìn)一步進(jìn)行開模，使空氣自通氣孔27a (第5通氣孔)向多余樹脂29 (成形品上的殘料29a、成形品上的流道29b)與模具夾持面之間噴出，從而能夠使成形品37自下模6的模具夾持面脫模。
[0164]因此，能夠在不使成形品質(zhì)下降的前提下將包含采用例如粘著性高的透明樹脂的透鏡部的成形品自模塑模具脫模。
[0165]另外，利用模塑模具5的開模動作，使離型膜F和成形品37之間產(chǎn)生間隙，在該狀態(tài)下，自通氣孔28a (第5通氣孔)噴出空氣，因此，利用離型膜F的張力的增加和噴出空氣使成形品表面冷卻，使成形品37容易自離型膜F剝離。
[0166]同樣地，使推銷30朝向成形品上的殘料29a、成形品上的流道29b突出、按壓，并且使空氣自通氣孔27a (第5通氣孔)噴出，使推銷頂端的成形品抵接部冷卻，從而使多余樹脂29固化而容易自推銷30剝離。
[0167]第4實施例
[0168]詳細(xì)說明成形后的膜支承銷和鼓風(fēng)并用型的樹脂模塑裝置及方法。對與第I實施例相同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并引用在前面的說明。在圖32中，模塑模具5的概略結(jié)構(gòu)及壓力驅(qū)動機構(gòu)與第I實施例?第3實施例相同，以不同的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說明。需要說明的是，因為要詳細(xì)說明使用膜支承銷進(jìn)行的脫模，因此圖32至圖36省略了作為成形前的必要結(jié)構(gòu)的周槽15、對離型膜進(jìn)行褶皺弄平的膜褶皺矯正構(gòu)件32、收容凹部19以及鼓風(fēng)單元27、28的圖示。
[0169]首先，參照圖8說明上模7的結(jié)構(gòu)。在上?；?上以包圍包括上模模腔嵌件11在內(nèi)的上模鎖緊塊9 (模腔凹部的外周側(cè))的方式形成有周槽15。在該周槽15的底部以規(guī)定間隔開設(shè)有多個通氣孔15a (第I通氣孔)。通氣孔15a與能噴出空氣或者能抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16a連接(參照圖33)。在設(shè)于上?；?的周槽15的外周側(cè)上嵌入有上模密封環(huán)17。上模密封環(huán)17與下模密封環(huán)31 —起在模塑模具5內(nèi)形成密閉空間而能進(jìn)行減壓。
[0170]在圖33中，在第I模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周圍開設(shè)有多個(例如4個)通氣孔12c (第2通氣孔)。通氣孔12c與能噴出空氣或者能抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b連接(參照圖34)。
[0171]另外，在自上模殘料部IOa串聯(lián)配置的第I模腔凹部12a的周圍，分別形成有將這些串聯(lián)結(jié)構(gòu)分隔開的凹槽12d。在該凹槽12d的底部開設(shè)有通氣孔12e (第2通氣孔)。通氣孔12e與能噴出空氣或者能抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b (參照圖34)連接。
[0172]另外，如圖8所示，在上模中央嵌件10及上模模腔嵌件11的夾持面(工件抵接面)上設(shè)有多個通氣孔18a (第2通氣孔)，這些通氣孔18a能夠使離型膜F吸附于上模夾持面或者用于噴出空氣而使離型膜F與上模夾持面分開。另外，與樹脂流路相當(dāng)?shù)纳夏埩喜?0a、上模流道10b、上模流道澆口 I la、連通流道Ilb上也開設(shè)有通氣孔18b (第2通氣孔)。第2通氣孔18a、18b與能夠噴出空氣或者能抽吸空氣的空氣抽吸排氣裝置16b連接(參照圖34)。如圖32所示，利用離型膜F覆蓋包括第I模腔凹部12a和第2模腔凹部12b在內(nèi)的上模夾持面。
[0173]接著，參照圖11和圖9說明下模6的結(jié)構(gòu)。在圖11中，下模6的概略結(jié)構(gòu)與第I實施例相同。在下模中央嵌件22的填料室周邊區(qū)域、即與成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b (多余樹脂29 ;參照圖9)對應(yīng)的位置設(shè)有多個貫通孔，在該貫通孔中設(shè)有可突出的推銷30，這也與第I實施例相同。
[0174]另外，與圖9 一樣，作為一個例子，膜支承銷34 (膜支承構(gòu)件)設(shè)置于下模6的四角，還沿著膜輸送方向設(shè)置在相當(dāng)于中央部的下模中央嵌件22上的4處位置。膜支承銷34被設(shè)置在貫通孔內(nèi)的螺旋彈簧等施力構(gòu)件施力。
[0175]下模嵌件23的上表面部作為用于載置并吸附保持工件W的工件保持部。另外，下模終端限位塊25以彼此相面對的方式設(shè)于下模中央嵌件22的長度方向兩側(cè)。另外，下模終端限位塊26以彼此相面對的方式設(shè)于各下模嵌件23的長度方向兩側(cè)。
[0176]在下模終端限位塊25、26上搭載有鼓風(fēng)單元27、28，與第3實施例的圖30的(A)和圖30的(B)—樣地設(shè)有通氣孔(27a、28a ;第5通氣孔)，該通氣孔以使空氣朝向與工件W平行的方向擴散、噴出的方式形成。開模時，使空氣自通氣孔28a向離型膜F與成形品之間噴出而使離型膜F與成形品分開(參照圖36)。另外，自上述通氣孔28a向多余樹脂29與下模表面之間噴出空氣，而使多余樹脂29變得易于自推銷30剝離。
[0177]接著，參照圖32至圖36的模塑模具的開閉動作對采用上述的模塑模具5的脫模動作的一例進(jìn)行說明。
[0178]首先，說明作為前提的樹脂模塑動作。在圖32中，在開模的模塑模具5的下模嵌件23上吸附保持工件W，向填料室24a供給模塑樹脂后(參照圖11)，使下模6向上移動而與包括第I模腔凹部12a、第2模腔凹部12b的底部在內(nèi)的上模夾持面被離型膜F覆蓋的上模7 (參照圖8)—起夾持工件W來進(jìn)行樹脂模塑。雖然由于模塑樹脂的不同而不同，但包含透鏡部的成形品37在110°C?180°C加熱固化。另外，在模塑模具5內(nèi)，因為由上模密封環(huán)17與下模密封環(huán)31形成密閉空間，所以能利用未圖示的脫氣裝置進(jìn)行真空抽吸而在減壓空間內(nèi)進(jìn)行樹脂模塑動作。另外，空氣抽吸排氣裝置16a、16b工作，而使在上模7的夾持面開口的通氣孔15a (第I通氣孔)、通氣孔12c、12e、18a、18b (第2通氣孔)處于抽吸離型膜F的狀態(tài)(吸附ON狀態(tài))。另外，作為可動模的下模6處于上端位置(加壓位置)。另外，膜支承銷34自下模6突出，并壓靠于與下模6相面對的上模7上的離型膜F。
[0179]接著，在模塑樹脂的固化時間結(jié)束的數(shù)秒前，首先利用空氣抽吸排氣裝置16a破壞離型膜F的由通氣孔15a (第I通氣孔)形成的吸附于周槽15內(nèi)的狀態(tài)，利用空氣抽吸排氣裝置16b破壞離型膜F的由通氣孔12c、12e、18a、18b (第2通氣孔)形成的吸附狀態(tài)。
[0180]接著，如圖33所示，在固化時間即將結(jié)束之前，利用空氣抽吸排氣裝置16a開始由通氣孔15a進(jìn)行的離型膜F吸附于周槽15內(nèi)的動作。另外，也進(jìn)行利用空氣抽吸排氣裝置16b進(jìn)行由通氣孔12c、12e、18a、18b進(jìn)行的吸附離型膜F的動作。另外，同時，用于在卷軸間輸送離型膜F的輸送裝置以卷繞離型膜F的方式在輸送方向上游側(cè)和下游側(cè)提高張力(參照圖33)。并且，將合模的模塑模具5內(nèi)的由未圖示的真空抽吸裝置形成的減壓空間破壞。
[0181]固化時間結(jié)束時，開始模塑模具5的開模。即，使壓力驅(qū)動機構(gòu)工作而使下模6下降。此時，利用空氣抽吸排氣裝置16a仍然繼續(xù)進(jìn)行由通氣孔15a進(jìn)行的將離型膜F吸附于周槽15內(nèi)的動作。因此，離型膜F在吸附于上模7的狀態(tài)下，伴隨著下模6的下降而自成形品37剝離。
[0182]接著，如圖34所示，開始由空氣抽吸排氣裝置16b進(jìn)行的空氣噴出動作。一邊繼續(xù)利用空氣抽吸排氣裝置16a進(jìn)行經(jīng)由通氣孔15a (第I通氣孔)的空氣抽吸動作，一邊利用空氣抽吸排氣裝置16b進(jìn)行經(jīng)由通氣孔12c、12e、18a、18b (第2通氣孔)的空氣噴出動作。因此，離型膜F自包括第I模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在內(nèi)的上模夾持面開始剝離。
[0183]接著，如圖35所示，進(jìn)一步進(jìn)行使模塑模具5的開模，使空氣自包括第I模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在內(nèi)的上模夾持面噴出，而進(jìn)行使離型膜F自上模夾持面的剝離。
[0184]然后，在圖36中，自上模7剝離且膨脹為球囊狀離型膜F的撓曲被膜支承銷34按壓支承。伴隨下模6的下降而自下模夾持面突出的膜支承銷34將離型膜F朝向上模面按壓，從而能抑制離型膜F的下垂。
[0185]另外，如圖9所示，在模塑模具5開模時，自設(shè)于下模6的鼓風(fēng)單元27、28所設(shè)有的通氣孔27a、28a (參照圖30的(A)和圖30的(B);第5通氣孔)朝向成形品37和與其相連的多余樹脂29噴出空氣(參照圖29)。由此，模塑模具5開模時，不僅是對成形品37，也對包括成形品上的殘料29a和成形品上的流道29b在內(nèi)的多余樹脂29分別噴出空氣而進(jìn)行冷卻，因此能夠促進(jìn)成形品37的脫模。
[0186]繼續(xù)進(jìn)行自上模7的空氣噴出，自下模6的鼓風(fēng)單元27、28的空氣噴出動作直至開模結(jié)束而結(jié)束。另外，利用空氣抽吸排氣裝置16a進(jìn)行的經(jīng)由通氣孔15a的抽吸動作也可以在由空氣抽吸排氣裝置16b進(jìn)行的空氣噴出動作開始后經(jīng)過規(guī)定時間后停止。
[0187]如上所述，成形品37的脫模動作結(jié)束。
[0188]采用上述結(jié)構(gòu)，使用模塑模具5來對成形品進(jìn)行樹脂模塑后，自設(shè)于上模7的通氣孔15a (第I通氣孔)抽吸空氣，從而使離型膜F吸附于周槽15，在該狀態(tài)下開模，能夠使離型膜F自成形品37剝離。
[0189]另外，在模塑模具5開模時，在離型膜F吸附于周槽15內(nèi)的狀態(tài)下，使空氣自通氣孔12c、12e、18a、18b (第2通氣孔)噴出，從而能使離型膜F膨脹為球囊狀而自上模面剝離。
[0190]進(jìn)一步進(jìn)行開模，即使自上模面剝離的離型膜F下垂，也能夠利用膜支承銷34將松弛的離型膜F朝向上模面按壓、支承。
[0191]因此，能夠在不使成形品質(zhì)下降的前提下將包含采用例如粘著性高的透明樹脂的透鏡部的成形品自模塑模具脫模。
[0192]上述的模塑模具是上模7為固定模、下模6為可動?；蛘吲c此相反的任意一種，能夠任意設(shè)定上模7與下模6中任意一方為固定模,另一方為可動模。另外，模塑模具5是在下模6載置工件W并設(shè)有填料室24a，在上模7上設(shè)有模腔凹部12a且利用離型膜F覆蓋上模夾持面，但也可以是在下模6上設(shè)有模腔凹部12a且用離型膜F覆蓋下模夾持面、在上模7設(shè)置填料室24a的模塑模具。并且，也可以將基板2保持于上模7，并在下模6形成第I模腔12a、第2模腔12b。
[0193]另外，在上述實施例中，對在基板2上以行列狀配置的工件W在各模腔進(jìn)行樹脂模塑的情況進(jìn)行了說明，但對制造利用模塑樹脂統(tǒng)一成形包含凸部的成形品的類型的產(chǎn)品、例如作為工件W在基板2上LED透鏡部以例如0.2mm間隔密集配置的空氣逃逸通路難以設(shè)置的LED發(fā)光裝置的情況是有效的。另外，雖然說明了對發(fā)光裝置(LED)進(jìn)行樹脂模塑的情況，但只要是具有凸部的成形品，并不限定于此，本發(fā)明例如也可以用于對光接收裝置、相機組件(MEMS產(chǎn)品)的透鏡進(jìn)行樹脂模塑的情況，還可以用于樹脂封裝半導(dǎo)體元件的情況。
【權(quán)利要求】
1.一種樹脂模塑裝置，其用于對被模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于， 上述模塑模具具有: 一模具，其用于載置上述工件； 另一模具，在其模具夾持面上形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面， 在上述另一模具上設(shè)有多個通氣孔，該多個通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于上述模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開， 在上述一模具上設(shè)有成對的膜褶皺矯正構(gòu)件，該膜褶皺矯正構(gòu)件在以與上述工件載置面相面對的方式搬送的上述離型膜的寬度方向兩側(cè)按壓于該離型膜，從而，對于該離型膜，不僅在其長度方向上作用有張力、而且在其寬度方向上也作用有張力來去除膜褶皺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所記載的樹脂模塑裝置，其中， 在上述另一模具的膜吸附面上以與上述膜褶皺矯正構(gòu)件相面對的方式形成有用于收容被該膜褶皺矯正構(gòu)件按壓的上述離型膜的松弛部分的收容凹部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的樹脂模塑裝置，其中， 對上述另一模具和載置有上述工件的上述一模具進(jìn)行合模，一邊利用上述膜褶皺矯正構(gòu)件向上述收容凹部按壓將上述另一模具的表面覆蓋的上述離型膜，一邊自規(guī)定的上述通氣孔噴出空氣，在膜褶皺被校正的狀態(tài)下停止上述空氣的噴出，利用在上述模腔凹部的內(nèi)側(cè)和外側(cè)開口的通氣孔抽吸空氣，從而以依照上述模具的分型面的狀態(tài)將上述離型膜沿著包括上述模腔凹部的底部在內(nèi)的上述另一模具的模具夾持面吸附保持。
4.一種樹脂模塑裝置，其利用模塑模具夾持在基材上搭載有電子零件的工件，對包含凸部的成形品進(jìn)行樹脂模塑，其特征在于， 該樹脂模塑裝置具有: 一模具，其用于載置上述工件； 另一模具，其具有模腔芯模，該模腔芯模在該另一模具的模具夾持面形成有第I模腔凹部且在該第I模腔凹部的底部分別形成有用于成形上述凸部的第2模腔凹部和在上述第I模腔凹部的模腔底部開口的第3通氣孔，利用離型膜覆蓋該另一模具的包括上述第I模腔凹部的底部在內(nèi)的模具夾持面， 上述另一模具與載置有上述工件的上述一模具合模，利用上述第3通氣孔的抽吸將上述離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述第I模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持，在該狀態(tài)下，向上述第I模腔凹部內(nèi)填充模塑樹脂，施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力而一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所記載的樹脂模塑裝置，其中， 在上述第I模腔凹部的底部設(shè)有第4通氣孔，該第4通氣孔開口于與上述第2模腔凹部相連的連通槽，在上述第I模腔凹部填充了模塑樹脂后，施加最終樹脂壓力而一邊使上述離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊使封閉在該第2模腔凹部內(nèi)的空氣經(jīng)由上述連通槽向上述第4通氣孔逃逸，一邊向上述第2模腔凹部填充模塑樹脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所記載的樹脂模塑裝置，其中， 一邊自上述第4通氣孔抽吸空氣，一邊施加最終樹脂壓力，使上述離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部填充模塑樹脂。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所記載的樹脂模塑裝置，其特征在于， 通過使上述模塑模具夾緊而在上述另一模具的模腔芯模與上述一模具之間形成第I模腔凹部，在上述模腔芯模的底部形成有第2模腔凹部和第3通氣孔，設(shè)有在與該第2模腔凹部相連的連通槽中開口的第4通氣孔，上述另一模具與載置有上述工件的上述一模具合模，利用第3通氣孔的抽吸將上述離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述另一模具的模具夾持面限定的高度的方式吸附保持，在該狀態(tài)下，在上述工件上填充模塑樹脂，施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力，一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。
8.一種樹脂模塑方法，其是利用模塑模具夾持被供給來的工件而進(jìn)行樹脂模塑的方法，其特征在于， 該樹脂模塑方法具有: 向開模的模塑模具的一模具的模具夾持面供給上述工件，準(zhǔn)備用于對形成有模腔凹部的另一模具的模具夾持面進(jìn)行覆蓋的離型膜的工序； 開始上述模塑模具的合模動作，利用被設(shè)于上述一模具的模具夾持面且位于上述離型膜的寬度方向兩側(cè)的成對的膜褶皺矯正構(gòu)件將上述離型膜壓入與該膜褶皺矯正構(gòu)件相面對的上述另一模具的收容凹部，并且一邊利用設(shè)于上述另一模具的模具嵌件的通氣孔噴出空氣，一邊對上述離型膜去除膜褶皺的工序； 利用該另一模具的所有通氣孔的抽吸，將上述膜褶皺被矯正了的上述離型膜吸附保持于上述另一模具的包括上述模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面的工序； 將上述模塑模具合模，將模塑樹脂填充到上述模腔凹部的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所記載的樹脂模塑方法，其中， 在上述另一模具的模具夾持面上形成有第I模腔凹部和深度比該第I模腔凹部的模腔底部的深度深的多個第2模腔凹部， 以處于被上述第I模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式將上述離型膜吸附保持于上述另一模具的模具夾持面的狀態(tài)下，施加比該離型膜的張力大的最終樹脂壓力而一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸一邊向上述第2模腔凹部填充上述模塑樹脂。
10.一種樹脂模塑方法，其是利用模塑模具夾持在基材上搭載有電子零件的工件而對包含透鏡部的成形品進(jìn)行樹脂模塑的方法，其特征在于， 該樹脂模塑方法具有: 在開模的模塑模具的一模具的模具夾持面載置上述工件，在形成有第I模腔凹部和深度比該第I模腔凹部的模腔底部的深度深的多個第2模腔凹部的另一模具的模具夾持面上，借助在上述模腔底部開口的第3通氣孔的抽吸，使離型膜以規(guī)定的張力且處于被上述第I模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持于上述另一模具的模具夾持面的工序; 將上述模塑模具合模，在上述離型膜處于被上述第I模腔凹部的模腔底部限定的高度的狀態(tài)下，向上述第I模腔凹部填充模塑樹脂的工序； 施加比上述離型膜的張力大的最終樹脂壓力，而一邊使該離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊向該第2模腔凹部填充上述模塑樹脂的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所記載的樹脂模塑方法，其中， 設(shè)有在將上述第I模腔凹部與上述第2模腔凹部連接起來的連通槽中開口的第4通氣孔，在上述第I模腔凹部填充了模塑樹脂后，施加最終樹脂壓力而一邊使上述離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，一邊使封閉在該第2模腔凹部的空氣經(jīng)由上述連通槽向上述第4通氣孔逃逸，一邊向上述第2模腔凹部填充模塑樹脂。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所記載的樹脂模塑方法，其中， 一邊自上述第4通氣孔抽吸空氣，一邊施加最終樹脂壓力，從而使上述離型膜在上述第2模腔凹部內(nèi)拉伸，并向該第2模腔凹部填充模塑樹脂。
13.—種樹脂模塑裝置，其是對利用模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑、樹脂模塑后的成形品在開模時能自模塑模具脫模的樹脂模塑裝置，其特征在于， 上述模塑模具具有: 一模具，其用于載置上述工件； 另一模具，在其模具夾持面形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的豐吳具夾持面， 上述另一模具上設(shè)有多個第2通氣孔，該多個第2通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開， 上述一模具上設(shè)有使空氣向上述離型膜與成形品之間噴出而使上述成形品與上述離型膜分開的第5通氣孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所記載的樹脂模塑裝置，其中， 一邊對上述模塑模具進(jìn)行開模，一邊使空氣自上述第5通氣孔向上述離型膜與成形品之間的因?qū)υ撾x型膜施加張力而形成的間隙噴出。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所記載的樹脂模塑裝置，其中， 在上述一模具上設(shè)有在開模時自模具夾持面向多余樹脂突出而使多余樹脂脫模的推銷，一邊利用該推銷將上述多余樹脂頂起，一邊使空氣自上述第5通氣孔向上述多余樹脂與模具夾持面之間的間隙噴出。
16.根據(jù)權(quán)利要求13至15中任意一項所記載的樹脂模塑裝置，其中， 在上述另一模具的模具夾持面的周圍、在多處位置設(shè)有第5通氣孔，上述第5通氣孔用于在不同的時間分別向成形品和與該成形品相連的多余樹脂噴出空氣。
17.—種樹脂模塑裝置，其是對利用模塑模具夾持的工件進(jìn)行樹脂模塑、在開模時樹脂模塑后的成形品能自模塑模具脫模的樹脂模塑裝置，其特征在于， 上述模塑模具具有: 一模具，其用于保持上述工件； 另一模具，在其模具夾持面上形成有模腔凹部，利用離型膜覆蓋包括該模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面， 在上述另一模具上設(shè)有多個第I通氣孔和多個第2通氣孔，該多個第I通氣孔在以包圍上述模腔凹部且與上述工件相面對的方式形成的周槽內(nèi)開口，該多個第2通氣孔用于抽吸空氣而能夠使上述離型膜吸附于上述模具夾持面或者用于噴出空氣而能夠使上述離型膜與上述模具夾持面分開，該多個第2通氣孔在模具夾持面上開口， 上述一模具上突出設(shè)有膜支承構(gòu)件，該膜支承構(gòu)件在常規(guī)狀態(tài)下被施力為向上述離型膜按壓。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所記載的樹脂模塑裝置，其中， 使上述離型膜的張力增大，自上述第I通氣孔抽吸空氣而使上述離型膜吸附于周槽內(nèi)，在該狀態(tài)下對上述模塑模具進(jìn)行開模，開模動作開始后，使空氣自上述第2通氣孔噴出而使該離型膜自上述另一模具的表面剝離。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所記載的樹脂模塑裝置，其中， 上述模塑模具的開模動作開始后，自設(shè)于上述模腔凹部內(nèi)和上述模腔凹部外的膜吸附面的多個第2通氣孔噴出空氣而使上述離型膜膨脹、自上述另一模具的表面剝離。
20.根據(jù)權(quán)利要求17至19中任意一項所記載的樹脂模塑裝置，其中， 開模在上述膜支承構(gòu)件與上述離型膜抵接的狀態(tài)下進(jìn)行，隨著開模的進(jìn)行，上述膜支承構(gòu)件的突出量增加而對自上述另一模具的表面和上述成形品剝離下來的該離型膜進(jìn)行支承。
21.根據(jù)權(quán)利要求17至20中任意一項所記載的樹脂模塑裝置，其中， 在上述另一模具的模具夾持面上在多處位置設(shè)有第3通氣孔，在開模時，上述第3通氣孔與開模動作同步地向成形品和與該成形品相連的多余樹脂噴出空氣。
22.一種樹脂模塑方法，其特征在于， 該樹脂模塑方法具有: 將載置有工件的一模具和包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面被離型膜覆蓋的另一模具合模，對成形品進(jìn)行樹脂模塑的工序； 上述樹脂模塑后開始模塑模具的開模時，自上述另一模具的模具夾持面噴出空氣而使上述尚型膜與該模具夾持面分開的工序； 進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，使空氣自上述一模具的模具夾持面向上述離型膜與成形品之間噴出從而使上述離型膜與成形品分開的工序； 再進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，自上述一模具使推銷向多余樹脂突出，并且使空氣向該多余樹脂與上述一模具的模具夾持面之間噴出，而使上述成形品自上述一模具的表面脫模的工序。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所記載的樹脂模塑方法，其中， 在使空氣向上述成形品噴出的狀態(tài)下，一邊使推銷將形成于中央嵌件的多余樹脂頂起，一邊進(jìn)一步使空氣向該推銷抵接部噴出，從而使上述成形品脫模。
24.一種樹脂模塑方法，其特征在于， 該樹脂模塑方法具有: 將保持有工件的一模具和包括模腔凹部在內(nèi)的模具夾持面被離型膜覆蓋的另一模具合模，對成形品進(jìn)行樹脂模塑的工序； 在上述樹脂模塑后，開始模塑模具的開模之前，使上述離型膜的張力增大的工序； 在進(jìn)行上述模塑模具的開模之前，使上述離型膜吸附于以包圍上述另一模具的上述模腔凹部的方式形成的周槽內(nèi)，在該狀態(tài)下進(jìn)行開模的工序； 在使上述離型膜吸附于上述周槽內(nèi)的狀態(tài)下，自上述另一模具的模具夾持面噴出空氣而使該離型膜膨脹、自該另一模具的表面剝離的工序； 進(jìn)一步進(jìn)行上述模塑模具的開模，自上述一模具的模具夾持面突出的支承構(gòu)件以抵接于上述離型膜的狀態(tài)支承自上述另一模具的表面剝離了的該離型膜的工序。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所記載的樹脂模塑方法，其中， 在進(jìn)行上述模塑模具的開模之前，使上述離型膜吸附于上述另一模具的上述周槽和上述模腔凹部內(nèi)，在該狀態(tài)下進(jìn)行開模。
26.根據(jù)權(quán)利要求24或25所記載的樹脂模塑方法，其中， 一邊進(jìn)行上述模塑模具的開模，一邊使空氣自設(shè)于上述模腔凹部內(nèi)和上述模腔凹部外的膜吸附面的多個第2通氣孔噴出，使上述離型膜膨脹并自上述另一模具的模具夾持面剝離。
【文檔編號】H01L21/56GK103545224SQ201310285428
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年7月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月9日
【發(fā)明者】齊藤高志 申請人:山田尖端科技株式會社