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可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī)的制作方法

文檔序號:7236717閱讀:815來源:國知局
專利名稱:可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種專門提供電子工業(yè)、微電子工業(yè)使用的點(diǎn)電焊機(jī),最適用于直接焊接線徑為φ0.02mm~φ0.80mm的漆包線、細(xì)金屬線或相應(yīng)的薄金屬帶、金屬片。
點(diǎn)電焊焊接是大量的電流在瞬間通過被焊接的二個金屬體,電能轉(zhuǎn)換成熱能,在該二個金屬體產(chǎn)生熔合的焊接過程。如果被焊接金屬表面有絕緣層存在(如漆包線),電流不能通過金屬體,則點(diǎn)電焊焊接就無法進(jìn)行。在電子工業(yè)、微電子工業(yè),經(jīng)常需要焊接細(xì)漆包線,目前所使用的點(diǎn)電焊機(jī)由焊頭、主機(jī)和機(jī)頭三部分組成,主機(jī)起電源控制作用;機(jī)頭由焊頭夾和焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置組成,固定在工作臺上,與主機(jī)電連接。這種點(diǎn)電焊機(jī)在焊接細(xì)漆包線時必須先由人工除去其表皮上的絕緣層,然后才由機(jī)器進(jìn)行焊接。可以想象,在象頭發(fā)絲一樣的漆包線上人工除去其表面的絕緣漆,工藝是多么繁鎖、復(fù)雜,工作效率低下是不難想象的。
本實(shí)用新型的目的是研制一種點(diǎn)電焊機(jī),該焊機(jī)除了具有其它一般點(diǎn)電焊機(jī)的功能外,還具有不需人工除去絕緣漆就可直接對漆包線進(jìn)行點(diǎn)電焊焊接的功能,焊接快捷牢靠,使用方便。
為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型點(diǎn)電焊機(jī)由焊頭、起電源調(diào)控作用的主機(jī)和由焊頭夾、焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置構(gòu)成的機(jī)頭三部分組成,其特征是焊頭用耐高溫金屬做成兩個平行電極,電極之間有一層作為粘合固連和絕緣分隔的絕緣粘膠,兩個平行電極末端之間相互歐姆接觸,接觸電阻一般為≤200mΩ,而其它部份相互絕緣;為了適應(yīng)焊接各種材料的需要,焊頭的末端端面結(jié)構(gòu)可做成平面型、弧面型、斜面型、V型、凹弧型、楔型或一側(cè)平面型、另一側(cè)為弧面型結(jié)構(gòu)。主機(jī)由脈沖幅度預(yù)置電路、脈沖寬度預(yù)置電路、脈沖寬度定時電路、驅(qū)動電路、功率開關(guān)電路、反饋電路、低壓電源電路、高壓電源電路和高壓控制電路組成。焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置由調(diào)節(jié)螺桿、附在調(diào)節(jié)螺桿上的調(diào)節(jié)螺母、套在調(diào)節(jié)螺桿上的彈簧、限位卡組成;為了方便壓力顯示,可在焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置附加取樣滑線電阻、函數(shù)轉(zhuǎn)換器及數(shù)字顯示器,可將取樣滑線電阻的活動觸頭固定在調(diào)節(jié)螺母上,函數(shù)轉(zhuǎn)換器的輸入端與取樣滑線電阻的一固定端和活動端相連接,輸出端與數(shù)字顯示器相連接。在焊接比較細(xì)小的焊接物時,可在點(diǎn)電焊機(jī)的支架安裝上顯微鏡。顯微鏡可通過顯微鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與支架連接。
工作時,接通電源,當(dāng)加在焊頭上的焊接壓力達(dá)到設(shè)定值時,才能觸發(fā)主機(jī),主機(jī)按設(shè)定好的脈沖幅度和寬度提供脈沖電流,脈沖電流首先通過具有一定阻值的焊頭尖端,使尖端產(chǎn)生熱量,融去漆包線上的絕緣層,暴露出金屬絲。由于焊頭的特殊結(jié)構(gòu),在焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置的作用,脈沖電流繼續(xù)通過金屬絲和基片,產(chǎn)生點(diǎn)電焊的融焊焊接。換言之,該焊機(jī)是由特制焊頭在主機(jī)設(shè)定的脈沖電壓、脈沖時間和焊接壓力共同作用下進(jìn)行除漆和點(diǎn)電焊的焊接過程。由于該焊機(jī)的焊頭尖端做成一定電阻值應(yīng)力接觸的特殊結(jié)構(gòu),主機(jī)電路提供適合的工作電流,使焊接漆包線時可不必由人工先除去漆包線上的絕緣漆,同時又使每一個焊點(diǎn)均勻牢固,操作起來簡單方便,大大縮短焊接時間。
以下通過附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。


圖1是點(diǎn)電焊機(jī)的結(jié)構(gòu)總圖。
圖2是點(diǎn)電焊機(jī)焊頭的結(jié)構(gòu)圖。
圖3是點(diǎn)電焊機(jī)焊頭末端端面結(jié)構(gòu)圖。
圖4是點(diǎn)電焊機(jī)的主機(jī)電路連接框圖。
圖5至圖7是點(diǎn)電焊機(jī)的電路連接圖。
圖8是點(diǎn)電焊機(jī)的機(jī)頭壓力調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)圖。
圖9是顯微鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)圖。
圖1中,1為焊頭,2為主機(jī),起電源調(diào)節(jié)作用;3為機(jī)頭,安裝在工作臺6上,機(jī)頭包括焊頭夾4和焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置8,5為顯微鏡,通過角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)11安裝在固定于工作臺6的支架7上,9為連接導(dǎo)線,10為踏板開關(guān)。
圖2中,焊頭由耐高溫金屬材料制作的兩個平行電極14組成,可采用鎢、鉬等耐高溫金屬材料。兩電極的末端13相互間歐姆接觸,接觸電阻一般為≤200mΩ,而其它部份相互絕緣。兩個平行電極之間12可采用絕緣粘膠進(jìn)行粘結(jié)。
圖3中,13為焊頭末端,(a)為末端端面呈平面型結(jié)構(gòu)的焊頭,(b)為末端端面呈弧面型結(jié)構(gòu)的焊頭,(c)為末端端面呈斜面型結(jié)構(gòu)的焊頭,(d)為末端端面呈V型或凹弧型結(jié)構(gòu)的焊頭,(e)為末端端面呈楔型或劈型結(jié)構(gòu)的焊頭,(f)為末端端面一側(cè)為平面、另一側(cè)為弧面結(jié)構(gòu)的焊頭。焊頭末端端面呈圓柱面可減輕對漆包線的壓傷,呈斜面型則使焊頭具有切線的功能,呈V字型則使焊頭具有使漆包線自動對中的功能。
圖4中,點(diǎn)電焊機(jī)的主機(jī)電路框圖的連接關(guān)系是脈沖幅度預(yù)置電路21經(jīng)高壓控制電路29、高壓電源電路28后連功率開關(guān)電路25,脈沖寬度預(yù)置電路22經(jīng)脈沖寬度定時電路23、驅(qū)動電路24后連功率開關(guān)電路25,然后功率開關(guān)電路25一路經(jīng)反饋電路26、另一路經(jīng)脈沖變壓器30后連焊頭1,反饋電路26分別與脈沖幅度預(yù)置電路21、高壓控制電路29、驅(qū)動電路24、脈沖變壓器30輸出端連接,低壓電源電路27分別與脈沖幅度預(yù)置電路21、高壓控制電路29、高壓電源電路28、脈沖寬度預(yù)置電路22、脈沖寬度定時電路23、驅(qū)動電路24連接。脈沖幅度預(yù)置電路21的功能是使脈沖變壓器次級輸出的脈沖幅度符合數(shù)碼開關(guān)TV的預(yù)置值。即輸出脈沖的幅度從0.01V~1.99V,分辨率為0.01V。脈沖寬度預(yù)置電路22的功能是使脈沖變壓器次數(shù)的輸出波形的寬度符合預(yù)置值的設(shè)定。即輸出脈沖的寬度從1ms~19ms,分辨率為1ms。脈沖寬度定時電路23的功能是根據(jù)數(shù)碼開關(guān)的預(yù)置值,使輸出脈沖的寬度為1ms-19ms。驅(qū)動電路24的功能是把單片機(jī)產(chǎn)生的脈沖信號放大,提供給功率開關(guān)足夠推動信號。功率開關(guān)電路25的功能是使脈沖變壓器次級的輸出波形符合由電壓數(shù)碼開關(guān)TV及時間數(shù)碼開關(guān)TT預(yù)置的輸出參數(shù),即脈沖寬度從1ms-19ms,脈沖幅度從0.01V~1.99V。反饋電路26的功能是使變壓器次級在一定預(yù)置電壓下,使輸出電壓可以根據(jù)負(fù)載電阻的不同而輸出不同的電壓。低壓電源電路27產(chǎn)生正負(fù)15V、正負(fù)5V、正24V電壓,以滿足電路要求。高壓控制電路29的功能是根據(jù)數(shù)碼撥盤開關(guān)的預(yù)置值(0.01V~1.99V),使得輸出脈沖的幅度相應(yīng)為0.01V~1.99V。
圖5至圖7中,A、B、C、D、E各點(diǎn)為各圖電路之間的對應(yīng)連接點(diǎn),點(diǎn)電焊機(jī)的總體電路連接為脈沖幅度預(yù)置電路21由數(shù)碼開關(guān)TV(型號CODED SWTTCHES BCD8421)分別經(jīng)電阻R106,R107、R108、R109,R110、R111、R112,R113、R114并接到四運(yùn)放集成電路U11 324-D(型號324)的正輸入端,從U11 324-D的輸出端經(jīng)電阻R99、R96連接高壓控制電路29的四運(yùn)放集成電路U10 324-C(U10的型號324)的負(fù)輸入端,再經(jīng)輸出端連接晶體管Q1放大電路后,從四運(yùn)放集成電路U10 324-A的正輸入端輸入,由輸出端經(jīng)晶體管Q3的集電極連接到光電耦合電路U21(型號為MOC3021)輸入端的負(fù)極;光電耦合電路U21的輸入端的正極連接四運(yùn)放集成電路U10324-B的正輸入端,輸出端的一端連接高壓電源電路28的可控硅BTA12觸發(fā)極,另一端經(jīng)R116連接由整流二極管D15-D18(型號為6A6)組成的橋式整流電路輸出端和可控硅BTA12的正極;可控硅BTA12的負(fù)極經(jīng)電阻R118、R232、R19、R20并列連接到脈沖變壓器B3的初級線圈;脈沖寬度預(yù)置電路22由數(shù)碼開關(guān)TT(型號CODEDSWTTCHES BCD 8421)與脈沖寬度定時電路23的單片機(jī)AT89C51的I/O口1、2、3、4、5連接,單片機(jī)分別與四雙輸入與非門集成電路U2(型號74LS00)、復(fù)位集成電路U4(型號IMP813)、晶振電路SO(頻率為12MZ)連接,U2-A、U2-B按雙穩(wěn)態(tài)電路連接,U2-D的輸出端與蜂鳴器SD連接。當(dāng)微動開關(guān)合上時,(由S1實(shí)施),由U2-A及U2-B組成的觸發(fā)器動作,AT89C51執(zhí)行中斷子程序,使單片機(jī)AT89C51的第8腳輸出一個定時脈沖,其定時功能是根據(jù)數(shù)碼開關(guān)的預(yù)置值,使輸出脈沖的寬度為1ms-19ms,這個脈沖通過與非門U2-C到驅(qū)動電路,同時單片機(jī)AT89C51的第7腳輸出訊號被晶體管Q10(C3904)放大后,使蜂鳴器發(fā)聲。四雙輸入與非門集成電路U2-C的輸出端接驅(qū)動電路24的晶體管Q9(型號C3904)基極,晶體管Q9的發(fā)射極輸出經(jīng)電阻R161連接到反饋電路26的四運(yùn)放集成電路U11 324-A(型號324)的負(fù)輸入端,集成電路U11 324-A的輸出端經(jīng)R157連接到集成電路U11 324-C的負(fù)輸入端,集成電路U11 324-C的輸出端經(jīng)R125連接到晶體管Q4的基極,輸出由Q4的發(fā)電極電阻R128、R129的串接點(diǎn)分別經(jīng)R201、R130、R131連接到功率開關(guān)電路25的高速、大電流功率開關(guān)管Q5、Q6、Q7(型號為C3994)的基極,Q5、Q6、Q7的集電極經(jīng)負(fù)載電阻R122、R123、R124、R200連接到脈沖變壓器B3的初級線圈,脈沖變壓器B3的次級線圈接焊頭;Q5、Q6、Q7的發(fā)射極分別由電阻R132、R133、R134、R135、R203、R204接地,另一路分別經(jīng)R136、R137、R202與四運(yùn)放集成電路U11 324-B的正輸入端相連并連接15V電源;集成電路U11 324-B的負(fù)輸入端與脈沖變壓器B3的次級線圈相連,輸出端經(jīng)R145與集成電路U11 324-C的負(fù)輸入端相連;低壓電源電路27由整流二極管D19~D24(型號為5408)組成橋式整流電路及三端穩(wěn)壓集成電路U21(7815)、U17(7815)、U18(7915)、U19(7908)、U20(7905)組成,產(chǎn)生正負(fù)15V、正負(fù)5V、正24V電壓,分別經(jīng)R81連接晶體管Q1的基極、經(jīng)R82連接晶體管Q1的發(fā)射極、經(jīng)R85連接四運(yùn)放集成電路U10 324-A的負(fù)輸入端、經(jīng)R95連接四運(yùn)放集成電路U10 324-C的負(fù)輸入端、經(jīng)R104連接四運(yùn)放集成電路U11 324-D的正輸入端、經(jīng)R90連接四運(yùn)放集成電路U10 324-B的負(fù)輸入端、經(jīng)R127連接晶體管Q4的集電極。
圖8中,焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置由調(diào)節(jié)螺桿41、附在調(diào)節(jié)螺桿上的調(diào)節(jié)螺母42、套在調(diào)節(jié)螺桿上的彈簧43、限位卡44組成。為了方便壓力顯示,可在焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置附加取樣滑線電阻、函數(shù)轉(zhuǎn)換器及數(shù)字顯示器,可將取樣滑線電阻46的活動觸頭45固定在調(diào)節(jié)螺母42上,函數(shù)轉(zhuǎn)換器47的輸入端與取樣滑線電阻的一固定端和活動端相連接,輸出端與數(shù)字顯示器48相連接。
圖9中,顯微鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由鉸鏈調(diào)焦托架的水平軸、調(diào)節(jié)螺桿和支撐平面組成,調(diào)焦托架51通過水平軸53與支架7鉸連,調(diào)焦托架51上有調(diào)焦手輪52,調(diào)節(jié)螺桿55安在支架7上,調(diào)節(jié)支撐平面56則安在調(diào)焦托架51上。調(diào)節(jié)螺桿與水平軸軸向垂直,支撐平面與水平軸軸向平行,調(diào)節(jié)螺桿的末端緊壓在支撐平面上。顯微鏡采用立體感強(qiáng)、大視場、視野清晰、放大倍數(shù)7~40倍連續(xù)可調(diào)體視顯微鏡;專門設(shè)計的角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),使顯微鏡上下、前后、左右及角度的調(diào)節(jié)十分靈活方便;光源由特制的無影熒光燈或點(diǎn)光源提供,燈光柔和自然,有效減輕眼睛疲勞、提高工作效率。
權(quán)利要求1.一種可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),由焊頭、起電源調(diào)控作用的主機(jī)和由焊頭夾、焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置構(gòu)成的機(jī)頭三部分組成,其特征是焊頭用耐高溫金屬做成兩個平行電極,電極之間有一層作為粘合固連和絕緣分隔的絕緣粘膠,兩個平行電極末端之間相互歐姆接觸,而其它部份相互絕緣;主機(jī)由脈沖幅度預(yù)置電路(21)、脈沖寬度預(yù)置電路(22)、脈沖寬度定時電路(23)、驅(qū)動電路(24)、功率開關(guān)電路(25)、反饋電路(26)、低壓電源電路(27)、高壓電源電路(28)和高壓控制電路(29)組成,其連接關(guān)系是脈沖幅度預(yù)置電路(21)經(jīng)高壓控制電路(29)、高壓電源電路(28)后連功率開關(guān)電路(25),脈沖寬度預(yù)置電路(22)經(jīng)脈沖寬度定時電路(23)、驅(qū)動電路(24)后連功率開關(guān)電路(25),然后功率開關(guān)電路(25)一路經(jīng)反饋電路(26)、另一路經(jīng)脈沖變壓器(30)后連焊頭(1),反饋電路(26)分別與脈沖幅度預(yù)置電路(21)、高壓控制電路(29)、驅(qū)動電路(24)、脈沖變壓器(30)輸出端連接,低壓電源電路(27)分別與脈沖幅度預(yù)置電路(21)、高壓控制電路(29)、高壓電源電路(28)、脈沖寬度預(yù)置電路(22)、脈沖寬度定時電路(23)、驅(qū)動電路(24)連接;焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置由調(diào)節(jié)螺桿、附在調(diào)節(jié)螺桿上的調(diào)節(jié)螺母、套在調(diào)節(jié)螺桿上的彈簧、限位卡組成。
2.一種如權(quán)利要求1所述的可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),其特征是在點(diǎn)電焊機(jī)的支架上安上顯微鏡。
3.一種如權(quán)利要求1所述的可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),其特征是組成焊頭的末端端面呈平面型、弧面型、斜面型、V型、凹弧型、楔型或一側(cè)平面型、另一側(cè)為弧面型結(jié)構(gòu)。
4.一種如權(quán)利要求1所述的可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),其特征是點(diǎn)電焊機(jī)主機(jī)的電路連接為脈沖幅度預(yù)置電路21由數(shù)碼開關(guān)TV分別經(jīng)電阻R106、R107、R108、R109、R110、R111、R112、R113、R114并接到四運(yùn)放集成電路U11 324-D的正輸入端,從U11 324-D的輸出端經(jīng)電阻R99、R96連接高壓控制電路29的四運(yùn)放集成電路U10324-C的負(fù)輸入端,再經(jīng)輸出端連接晶體管Q1放大電路后,從四運(yùn)放集成電路U10324-A的正輸入端輸入,由輸出端經(jīng)晶體管Q3的集電極連接到光電耦合電路U21輸入端的負(fù)極;光電耦合電路U21的輸入端的正極連接四運(yùn)放集成電路U10 324-B的正輸入端,輸出端的一端連接高壓電源電路28的可控硅BTA12觸發(fā)極,另一端經(jīng)R116連接由整流二極管D15-D18組成的橋式整流電路輸出端和可控硅BTA12的正極;可控硅BTA12的負(fù)極經(jīng)電阻R118、R232、R19、R20并列連接到脈沖變壓器B3的初級線圈;脈沖寬度預(yù)置電路22由數(shù)碼開關(guān)TT與脈沖寬度定時電路23的單片機(jī)AT89C51的I/O口1、2、3、4、5連接,單片機(jī)分別與四雙輸入與非門集成電路U2、復(fù)位集成電路U4、晶振電路SO連接,U2-A、U2-B按雙穩(wěn)態(tài)電路連接,U2-D的輸出端與蜂鳴器SD連接;四雙輸入與非門集成電路U2-C的輸出端接驅(qū)動電路24的晶體管Q9基極,晶體管Q9的發(fā)射極輸出經(jīng)電阻R161連接到反饋電路26的四運(yùn)放集成電路U11 324-A的負(fù)輸入端,集成電路U11 324-A的輸出端經(jīng)R157連接到集成電路U11 324-C的負(fù)輸入端,集成電路U11 324-C的輸出端經(jīng)R125連接到晶體管Q4的基極,輸出由Q4的發(fā)電極電阻R128、R129的串接點(diǎn)分別經(jīng)R201、R130、R131連接到功率開關(guān)電路25的高速、大電流功率開關(guān)管Q5、Q6、Q7的基極,Q5、Q6、Q7的集電極經(jīng)負(fù)載電阻R122、R123、R124、R200連接到脈沖變壓器B3的初級線圈,脈沖變壓器B3的次級線圈接焊頭;Q5、Q6、Q7的發(fā)射極分別由電阻R132、R133、R134、R135、R203、R204接地,另一路分別經(jīng)R136、R137、R202與四運(yùn)放集成電路U11 324-B的正輸入端相連并連接15V電源;集成電路U11 324-B的負(fù)輸入端與脈沖變壓器B3的次級線圈相連,輸出端經(jīng)R145與集成電路U11 324-C的負(fù)輸入端相連;低壓電源電路27由整流二極管D19~D24組成橋式整流電路及三端穩(wěn)壓集成電路U21、U17、U18、U19、U20組成,產(chǎn)生正負(fù)15V、正負(fù)5V、正24V電壓,分別經(jīng)R81連接晶體管Q1的基極、經(jīng)R82連接晶體管Q1的發(fā)射極、經(jīng)R85連接四運(yùn)放集成電路U10 324-A的負(fù)輸入端、經(jīng)R95連接四運(yùn)放集成電路U10 324-C的負(fù)輸入端、經(jīng)R104連接四運(yùn)放集成電路U11 324-D的正輸入端、經(jīng)R90連接四運(yùn)放集成電路U10 324-B的負(fù)輸入端、經(jīng)R127連接晶體管Q4的集電極。
5.一種如權(quán)利要求1所述的可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),其特征是在焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置附加取樣滑線電阻、函數(shù)轉(zhuǎn)換器及數(shù)字顯示器,可將取樣滑線電阻(46)的活動觸頭(45)固定在調(diào)節(jié)螺母(42)上,函數(shù)轉(zhuǎn)換器(47)的輸入端與取樣滑線電阻的一固定端和活動端相連接,輸出端與數(shù)字顯示器(48)相連接。
6.一種如權(quán)利要求2所述的可直接焊漆包線的點(diǎn)電焊機(jī),其特征是顯微鏡可通過顯微鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與支架連接,顯微鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由鉸鏈調(diào)焦托架的水平軸(53)、調(diào)節(jié)螺桿(55)和支撐平面(56)組成,調(diào)焦托架(51)通過水平軸(53)與支架(7)鉸連,調(diào)焦托架(51)上有調(diào)焦手輪(52),調(diào)節(jié)螺桿(55)安在支架(7)上,調(diào)節(jié)支撐平面(56)則安在調(diào)焦托架(51)上;調(diào)節(jié)螺桿與水平軸軸向垂直,支撐平面與水平軸軸向平行,調(diào)節(jié)螺桿的末端緊壓在支撐平面上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種專門提供電子工業(yè)、微電子工業(yè)使用的點(diǎn)電焊機(jī),最適用于直接焊接線徑為φ0.02mm-φ0.80mm的漆包線、細(xì)金屬線或相應(yīng)的薄金屬帶、金屬片。本實(shí)用新型點(diǎn)電焊機(jī)由焊頭、起電源調(diào)控作用的主機(jī)和由焊頭夾、焊頭壓力調(diào)節(jié)裝置構(gòu)成的機(jī)頭三部分組成。由于該焊機(jī)的焊頭尖端做成一定電阻值應(yīng)力接觸的特殊結(jié)構(gòu),主機(jī)電路提供合適的工作電流,使焊接漆包線時可不必由人工先除去漆包線上的絕緣漆,焊點(diǎn)均勻牢固,操作起來簡單方便,大大縮短焊接時間。
文檔編號H01L21/60GK2481446SQ0124215
公開日2002年3月13日 申請日期2001年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月12日
發(fā)明者楊仕桐 申請人:楊仕桐
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