用于測試半導(dǎo)體裝置的設(shè)備和方法
【專利摘要】提供一種用于測試半導(dǎo)體裝置的設(shè)備和方法。測試設(shè)備可用于測試半導(dǎo)體裝置。所述測試設(shè)置可包括：棧式存儲器部分，被配置為與服務(wù)器通信，其中，所述服務(wù)器包括用于測試半導(dǎo)體裝置的測試程序；多個測試板部分，設(shè)置在所述棧式存儲器部分中，測試板部分中的至少一個測試板部分包括設(shè)置在所述至少一個測試板部分上的半導(dǎo)體裝置并被配置為向半導(dǎo)體裝置提供來自服務(wù)器的至少一個測試程序。所述棧式存儲器部分可包括：單元棧式存儲器，所述單元棧式存儲器包括被配置為固定多個測試板部分的架子；棧式存儲器控制器，被配置為與服務(wù)器和單元棧式存儲器中的測試板部分通信。
【專利說明】用于測試半導(dǎo)體裝置的設(shè)備和方法
[0001] 本申請要求于2013年4月15日提交到韓國知識產(chǎn)權(quán)局的第10-2013-0041166號 韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，該申請公開的全部內(nèi)容通過引用被包含于此。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明構(gòu)思涉及一種用于測試各種半導(dǎo)體裝置的設(shè)備和方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 隨著信息通信技術(shù)的進(jìn)步，對非易失性存儲器裝置的需求和使用在快速地增加。 作為非易失性存儲器裝置的示例的NAND閃存裝置適用于便攜式產(chǎn)品(例如，移動電話或智 能電話、相機(jī)和記憶棒)。NAND閃存裝置的容量和速度在不斷地增加。測試設(shè)備可用于測試 NAND閃存裝置的可靠性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例提供一種能夠有效地執(zhí)行測試過程的測試設(shè)備和方 法。
[0005] 本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例提供一種能夠有效地執(zhí)行包括板測試過程的一系列 測試過程的測試設(shè)備和方法。
[0006] 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，一種用于測試半導(dǎo)體裝置的測試設(shè)備可包括： 棧式存儲器部分，被配置為與服務(wù)器通信，其中，所述服務(wù)器可包括用于測試半導(dǎo)體裝置的 測試程序；多個測試板部分，設(shè)置在所述棧式存儲器部分中，測試板部分中的至少一個測試 板部分包括設(shè)置在所述至少一個測試板部分上的半導(dǎo)體裝置并被配置為向半導(dǎo)體裝置提 供來自服務(wù)器的至少一個測試程序。所述棧式存儲器部分可包括：單元棧式存儲器，所述單 元棧式存儲器可包括被配置為固定多個測試板部分的架子；棧式存儲器控制器，被配置為 與服務(wù)器和單元棧式存儲器中的測試板部分通信。
[0007] 所述測試設(shè)備還可包括電源部分，所述電源部分被配置為向所述測試板部分和所 述棧式存儲器部分供應(yīng)電源電壓，其中，所述棧式存儲器部分還可包括：電源板，設(shè)置在所 述架子中并連接到所述電源部分；背板，連接到所述電源板和所述測試板部分。
[0008] 所述棧式存儲器部分還可包括棧式存儲器板，所述棧式存儲器板連接在棧式存儲 器控制器和所述背板之間。
[0009] 所述棧式存儲器板和所述電源板可連接到所述背板的第一側(cè)，測試板部分可連接 到所述背板的與所述第一側(cè)相對的第二側(cè)。
[0010] 所述棧式存儲器部分還可包括：測試控制器，安裝在所述棧式存儲器板中的至少 一個棧式存儲器板上并連接到所述棧式存儲器控制器；至少一個可編程邏輯裝置，安裝在 所述棧式存儲器板上并由所述測試控制器控制，可編程邏輯裝置被配置為向所述至少一個 測試板部分上的半導(dǎo)體裝置提供測試程序。
[0011] 所述棧式存儲器部分還可包括：第一電壓轉(zhuǎn)換器，設(shè)置在所述電源板上并被配置 為將電源電壓轉(zhuǎn)換為第一電壓；第二電壓轉(zhuǎn)換器，設(shè)置在所述電源板上并被配置為將電源 電壓轉(zhuǎn)換為高于第一電壓的第二電壓。
[0012] 所述棧式存儲器部分還可包括電壓轉(zhuǎn)換器，電壓轉(zhuǎn)換器設(shè)置在至少一個棧式存儲 器板上并被配置為將第一電壓和第二電壓轉(zhuǎn)換為控制電壓并向測試控制器和可編程邏輯 裝置提供所述控制電壓。
[0013] 所述至少一個測試板部分可包括：測試板，所述半導(dǎo)體裝置設(shè)置在所述測試板上； 多個單元插座，被配置為將所述測試板連接到所述半導(dǎo)體裝置。
[0014] 所述至少一個測試板部分可包括：控制板，設(shè)置在所述測試板上；測試控制器，設(shè) 置在所述控制板上；至少一個可編程邏輯裝置，設(shè)置在所述控制板上并通過所述測試控制 器控制，以向所述半導(dǎo)體裝置提供測試程序。
[0015] 所述至少一個測試板部分還可包括：局域網(wǎng)（LAN)卡，設(shè)置在所述測試板上并被 配置為與所述棧式存儲器控制器通信；向量存儲器，被配置為存儲從所述測試控制器提供 的測試程序。
[0016] 所述棧式存儲器部分還可包括：機(jī)器人，被配置為在所述棧式存儲器之間傳送所 述測試板部分；載入器/卸載器，被配置為在所述測試板部分通過機(jī)器人傳送之前固定所 述測試板部分。
[0017] 半導(dǎo)體裝置中的至少一個半導(dǎo)體裝置被配置為執(zhí)行內(nèi)建自測試。
[0018] 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，一種測試半導(dǎo)體裝置的方法可包括：將測試板 部分載入到棧式存儲器部分中，其中，具有內(nèi)建自測試功能的半導(dǎo)體裝置可安裝在所述測 試板部分上；從服務(wù)器向所述測試板部分提供測試程序；在半導(dǎo)體裝置上執(zhí)行內(nèi)建自測 試；向所述服務(wù)器輸出從半導(dǎo)體裝置的內(nèi)建自測試獲取的測試結(jié)果。
[0019] 所述方法還可包括：向服務(wù)器提供來自棧式存儲器部分的關(guān)于安裝在所述測試板 部分上的半導(dǎo)體裝置的信息。
[0020] 提供關(guān)于半導(dǎo)體裝置的信息的步驟可包括請求服務(wù)器提供所述測試程序。
[0021] 所述方法還包括：從棧式存儲器部分卸載所述測試板部分。
[0022] 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，一種用于測試半導(dǎo)體裝置的測試設(shè)備可包括： 棧式存儲器部分，被配置為從服務(wù)器接收測試程序；第一測試板和第二測試板，設(shè)置在所述 棧式存儲器部分中，所述第一測試板包括被配置為執(zhí)行第一內(nèi)建測試的第一半導(dǎo)體裝置， 所述第二測試板包括被配置為執(zhí)行第二內(nèi)建測試的第二半導(dǎo)體裝置，其中，所述第一內(nèi)建 測試和第二內(nèi)建測試響應(yīng)于從服務(wù)器接收測試程序而同時執(zhí)行。
[0023] 所述第一半導(dǎo)體裝置和第二半導(dǎo)體裝置可彼此不同。
[0024] 所述第一測試板和第二測試板可獨立地操作。
[0025] 所述棧式存儲器部分還可包括：載入器/卸載器，被配置為固定所述第一測試板 和第二測試板；機(jī)器人，被配置為使第一測試板和第二測試板運動到單元棧式存儲器；棧 式存儲器控制器，被配置成為所述服務(wù)器和棧式存儲器部分之間的接口。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 通過參照附圖對本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例進(jìn)行詳細(xì)的描述，本發(fā)明構(gòu)思的上述 和其他特征將會被更清楚地理解。
[0027] 圖1和圖2是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試設(shè)備的平面圖和剖視 圖。
[0028] 圖3是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖2的單元棧式存儲器的內(nèi)部結(jié)構(gòu) 的剖視圖。
[0029] 圖4是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖3的測試板部分和電源板的平面 圖。
[0030] 圖5是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖3的測試板部分和棧式存儲器板 的平面圖。
[0031] 圖6和圖7是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試設(shè)備的電源板、棧式存 儲器部分和測試板部分的平面圖。
[0032] 圖8和圖9是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖6和圖7的應(yīng)用的平面圖。
[0033] 圖10是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖7的電路元件之間的連接結(jié)構(gòu) 的框圖。
[0034] 圖11是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試方法的流程圖。
[0035] 圖12是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖10的服務(wù)器、棧式存儲器控制 器、第一測試控制器和第二測試控制器之間的接口的圖表。

【具體實施方式】
[0036] 在下文中，將參照附圖更全面地描述本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例。然而，本發(fā)明構(gòu) 思可以以多種不同的形式實施，并且不應(yīng)被解釋為限制于在此闡述的實施例。在附圖中，為 了清楚起見，可能夸大了層和區(qū)域的厚度。附圖中相同的標(biāo)號可指示相同的元件，從而可省 略對它們的描述。
[0037] 將要理解的是，當(dāng)元件被稱為"連接"或"結(jié)合"到另一元件時，元件可以是直接連 接或結(jié)合到另一元件或者可以存在中間元件。
[0038] 除非上下文另外清楚地指示，否則如在此使用的單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式。
[0039] 圖1和圖2示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思 的示例性實施例，測試設(shè)備可包括服務(wù)器100、棧式存儲器部分200和測試板部分300。月艮 務(wù)器100可控制半導(dǎo)體測試設(shè)備中的全部操作(例如，邏輯管理和進(jìn)程)。例如，邏輯管理和 進(jìn)程可包括在半導(dǎo)體裝置10上執(zhí)行的測試過程。測試板部分300可被配置為安裝多個半 導(dǎo)體裝置10。半導(dǎo)體裝置10可被配置為執(zhí)行內(nèi)建自測試（BIST)過程。服務(wù)器100可向半 導(dǎo)體裝置10提供存儲在數(shù)據(jù)庫中的測試程序。每個半導(dǎo)體裝置10可下載適用于其特定功 能或性能的測試程序。服務(wù)器100可被配置為有效地控制各種半導(dǎo)體裝置10上的測試過 程。
[0040] 棧式存儲器部分200可設(shè)置在服務(wù)器100和測試板部分300之間。服務(wù)器100可 從棧式存儲器部分200獲取關(guān)于測試板部分300中的半導(dǎo)體裝置10的信息。棧式存儲器 部分200可包括單元棧式存儲器210、棧式存儲器控制器220、機(jī)器人230以及載入器/卸 載器240。單元棧式存儲器210可被配置為存儲多個測試板部分300。例如，每個單元棧式 存儲器210可被配置為沿著堅直方向存儲大約十六個測試板部分300。服務(wù)器100可與棧 式存儲器控制器220通信。棧式存儲器控制器220可控制單元棧式存儲器210、機(jī)器人230 和載入器/卸載器240。服務(wù)器100可感知單元棧式存儲器210中的測試板部分300。機(jī) 器人230可在單元棧式存儲器210和載入器/卸載器240之間傳送測試板部分300。單元 棧式存儲器210可沿著機(jī)器人230的運動路徑成行地布置。測試板部分300可通過機(jī)器人 230載入到單元棧式存儲器210中。在載入器/卸載器240中，測試板部分300可暫時保持 在備用狀態(tài)。載入器/卸載器240可用作用于載入或卸載進(jìn)程的等待位置。
[0041] 圖3示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖2的單元棧式存儲器210的內(nèi)部 結(jié)構(gòu)。測試板部分300可設(shè)置在單元棧式存儲器210的架子212上。棧式存儲器板222、 背板（backplane board)部分250和電源板260可安裝在架子212上。棧式存儲器板222 可將棧式存儲器控制器220連接到背板部分250。背板部分250可連接到測試板部分300。 電源板260可連接到電源部分400。電源部分400可通過電源板260向棧式存儲器控制器 220和測試板部分300提供電壓。
[0042] 背板部分250可包括背板252、測試板插座254、電源板插座256和棧式存儲器板 插座258。背板252可設(shè)置在電源板260和測試板部分300之間。測試板插座254可安裝 在背板252的一個表面上。測試板插座254可將背板252連接到測試板部分300。背板252 和測試板部分300可彼此垂直地設(shè)置。電源板插座256和棧式存儲器板插座258可安裝在 背板252的另一表面上。電源板260、棧式存儲器板222和測試板部分300可水平地設(shè)置。
[0043] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖3的測試板部分300和電源板 260。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖3的測試板部分300和棧式存儲器板 222。參照圖3至圖5,第一裝置電源部分262、低壓轉(zhuǎn)換器264、高壓轉(zhuǎn)換器266和顯示部分 268可安裝在電源板260上。電源部分400可向低壓轉(zhuǎn)換器264、高壓轉(zhuǎn)換器266和第一裝 置電源部分262供應(yīng)電源電壓。低壓轉(zhuǎn)換器264和高壓轉(zhuǎn)換器266可分別將電源電壓轉(zhuǎn)換 為低壓和高壓。電源部分400可將軟件的信號(例如，PWRS/W)輸出到電源板260。軟件的 信號與高壓和低壓有關(guān)。低壓和高壓可供應(yīng)到棧式存儲器板222和測試板部分300。在本 發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例中，電源部分400可供應(yīng)48V的DC電壓(例如，DC48V IN)。低壓 轉(zhuǎn)換器264可被配置為將DC電壓轉(zhuǎn)換為5V的低壓。高壓轉(zhuǎn)換器266可被配置為將DC電 壓轉(zhuǎn)換為12V的高壓。第一裝置電源部分262可向半導(dǎo)體裝置10供應(yīng)測試電壓。多個第 一裝置電源部分262 (例如，？51汴52、￥1!1、？53、？54)可在電源板260上成行地布置。顯示 部分268可被配置為顯示測試板部分300的電源狀態(tài)。
[0044] 測試板部分300可包括測試板310、測試插座314、輔助存儲器319 (例如，只讀存 儲器（ROM))。測試插座314可安裝在測試板310上。測試板310可被配置為具有多個針孔 (pin holes，未示出）。測試插座314可插入到所述針孔中。此外，半導(dǎo)體裝置10可安裝在 測試插座314上。例如，測試板310可被配置為安裝大約64個半導(dǎo)體裝置10。64個半導(dǎo) 體裝置10可被布置為呈現(xiàn)8X8矩陣。輔助存儲器319可被配置為存儲關(guān)于測試板310的 信息。
[0045] 第一測試控制器（CTRL) 224、第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226 (例如，現(xiàn)場可編程門 陣列（FPGA))和第一 DC/DC轉(zhuǎn)換器（DPS) 228可安裝在棧式存儲器板222上。在本發(fā)明構(gòu) 思的示例性實施例中，如圖5所示，可設(shè)置16個棧式存儲器板222 (S1-S16)?？上虻谝粶y 試控制器224提供關(guān)于測試板部分300的半導(dǎo)體裝置10的信息。可通過第一測試控制器 224控制第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226。第一 DC/DC轉(zhuǎn)換器228可被配置為向第一測試控 制器224和第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226供應(yīng)直流（DC)電壓。第一測試控制器224可向 第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226提供測試程序。第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226可向每個半導(dǎo) 體裝置10提供測試程序。半導(dǎo)體裝置10可執(zhí)行BIST。通過半導(dǎo)體裝置10執(zhí)行的BIST的 結(jié)果可提供給第一測試控制器224。棧式存儲器控制器220和服務(wù)器100可從第一測試控 制器224接收關(guān)于對應(yīng)的測試板部分300的半導(dǎo)體裝置10的信息。因此，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思 的當(dāng)前實施例，測試設(shè)備的使用使得在半導(dǎo)體裝置10上有效地執(zhí)行測試過程成為可能。
[0046] 圖6和圖7示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試設(shè)備的電源板260、棧式 存儲器板222和測試板部分300。根據(jù)圖6和圖7中示出的本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，圖 5中示出的棧式存儲器部分200的第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226和第一測試控制器224可 被測試板部分300的第二復(fù)雜可編程邏輯裝置(例如，現(xiàn)場可編程門陣列（FPGA)) 350和第 二測試控制器（CTRL) 320替代。為簡潔起見，將不再進(jìn)一步詳細(xì)地描述圖6和圖7中的示 例性實施例的元件和特征，其中，所述示例性實施例的元件和特征與先前示出并描述的示 例性實施例的元件和特征類似。
[0047] 參照圖1至圖3、圖6和圖7,測試板部分300可包括測試板310、控制板312、第 二測試控制器320、向量存儲器（VM) 322、局域網(wǎng)（LAN)卡340和第二復(fù)雜可編程邏輯裝置 350?？刂瓢?12和測試插座314可安裝在測試板310上。測試板310可包括控制區(qū)域316 和測試區(qū)域318?？刂瓢?12可安裝在控制區(qū)域316上，同時測試插座314可安裝在測試區(qū) 域318上?？刂茀^(qū)域316可以與背板部分250相鄰地設(shè)置。半導(dǎo)體裝置10可與測試插座 314 -起安裝在測試板310的測試區(qū)域318上。例如，測試板310可被配置為安裝大約64 個半導(dǎo)體裝置10。64個半導(dǎo)體裝置10可被布置為呈現(xiàn)8X8矩陣。第二測試控制器320、 向量存儲器322、第二DC/DC轉(zhuǎn)換器（DPS) 332、LAN卡340和第二復(fù)雜可編程邏輯裝置350 可安裝在控制板312上。第一 DC/DC轉(zhuǎn)換器228可安裝在棧式存儲器板222上。第一 DC/ DC轉(zhuǎn)換器228可向第二測試控制器320供應(yīng)控制電壓。
[0048] 關(guān)于測試板部分300中的半導(dǎo)體裝置10的信息可提供給第二測試控制器320。向 量存儲器322可被配置為存儲關(guān)于每個半導(dǎo)體裝置10的位置、狀態(tài)、性能和/或測試結(jié)果 的信息。LAN卡340可將第二測試控制器320連接到棧式存儲器控制器220。第二測試控 制器320可向棧式存儲器控制器220和服務(wù)器100提供關(guān)于半導(dǎo)體裝置10的信息。如果 從棧式存儲器控制器220和服務(wù)器100提供用于半導(dǎo)體裝置10的測試程序，那么第二復(fù)雜 可編程邏輯裝置350可向每個半導(dǎo)體裝置10提供測試程序。半導(dǎo)體裝置10可執(zhí)行BIST。 通過半導(dǎo)體裝置10執(zhí)行的BIST的結(jié)果可通過第二測試控制器320監(jiān)測。
[0049] 與圖6中示出的不同，測試板部分300可直接向半導(dǎo)體裝置10提供測試電力。在 這種情況下，第一裝置電源部分262可以不安裝在電源板260上。此外，測試板部分300可 直接向第二測試控制器320提供控制電力。在這種情況下，第一 DC/DC轉(zhuǎn)換器228可以不 安裝在棧式存儲器板222上。
[0050] 圖8和圖9示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖6和圖7的應(yīng)用。第二裝 置電源部分330和第二DC/DC轉(zhuǎn)換器332可安裝在測試板部分300的控制板312上。第二 裝置電源部分330可向半導(dǎo)體裝置10供應(yīng)測試電壓。第二DC/DC轉(zhuǎn)換器332可向第二測 試控制器320供應(yīng)控制電壓。低壓轉(zhuǎn)換器264、高壓轉(zhuǎn)換器266和顯示部分268可安裝在 電源板260上。低壓轉(zhuǎn)換器264和高壓轉(zhuǎn)換器266可分別向第二裝置電源部分330和第二 DC/DC轉(zhuǎn)換器332供應(yīng)低壓和高壓。
[0051] 圖10示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的圖7的電路元件之間的連接結(jié)構(gòu)。 服務(wù)器100可通過棧式存儲器控制器220和LAN卡340結(jié)合到第二測試控制器320。第二 復(fù)雜可編程邏輯裝置350可結(jié)合到第二測試控制器320和半導(dǎo)體裝置10之間。第二測試 控制器320可向服務(wù)器100提供關(guān)于半導(dǎo)體裝置10的信息。服務(wù)器100可向第二測試控 制器320提供測試程序。第二測試控制器320可將測試程序存儲在向量存儲器322中。第 二復(fù)雜可編程邏輯裝置350可向每個半導(dǎo)體裝置10提供測試程序。半導(dǎo)體裝置10可執(zhí)行 BIST。因此，根據(jù)圖6和圖7中示出的本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，測試設(shè)備的使用使得在 半導(dǎo)體裝置10上有效地執(zhí)行測試過程成為可能。
[0052] 下面，將描述使用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試設(shè)備的測試方法。
[0053] 圖11示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例的測試方法。圖12是示出根據(jù)本發(fā) 明構(gòu)思的示例性實施例的服務(wù)器100、棧式存儲器控制器220、圖5的第一測試控制器224 和圖10的第二測試控制器320之間的接口的圖表。首先，(在S10中)可通過機(jī)器人230將 測試板部分300從載入器/卸載器240載入到單元棧式存儲器210中。測試板部分300的 載入可通過棧式存儲器控制器220監(jiān)測?？赏ㄟ^棧式存儲器控制器220向服務(wù)器100請求 載入板。
[0054] 然后，（在S20中）第一測試控制器224或第二測試控制器320可向服務(wù)器100提 供關(guān)于安裝在測試板部分300上的半導(dǎo)體裝置10的信息。換句話說，每個半導(dǎo)體裝置10 的狀態(tài)可通過服務(wù)器100監(jiān)測。例如，可檢測第一測試控制器224或第二測試控制器320， 然后將狀態(tài)(例如，半導(dǎo)體裝置10的ID (ID :Status))發(fā)送到服務(wù)器100。此外，第一測試 控制器224或第二測試控制器320可請求服務(wù)器100提供用于半導(dǎo)體裝置10的測試程序 (例如，如圖 12 所示，Get_PGM_INF0)。
[0055] (在S30中)服務(wù)器100可向第一測試控制器224或第二測試控制器320提供測試 程序(例如，圖12中的PGM)。第一測試控制器224或第二測試控制器320可將測試程序下 載到半導(dǎo)體裝置10 (例如，如圖12所示，通過FTP (文件傳輸協(xié)議）獲取BIST程序（FTP : GET_BIST_PGM))。第一復(fù)雜可編程邏輯裝置226和第二復(fù)雜可編程邏輯裝置350可向每個 半導(dǎo)體裝置10提供測試程序。
[0056] (在S40中）第一測試控制器224或第二測試控制器320可監(jiān)測由半導(dǎo)體裝置10 執(zhí)行的BIST。半導(dǎo)體裝置10可響應(yīng)于來自第一測試控制器224或第二測試控制器320的 控制信號而執(zhí)行BIST。
[0057] 如果完成了 BIST，那么（在S50中）第一測試控制器224或第二測試控制器320可 向服務(wù)器100提供由半導(dǎo)體裝置10執(zhí)行的BIST的結(jié)果(例如，第一測試控制器224或第二 測試控制器320根椐狀態(tài)報告名稱對半導(dǎo)體裝置的ID進(jìn)行分類并根據(jù)狀態(tài)報告名稱管理 ID(ID :Status R印ort_NAME))。服務(wù)器100可檢查在每個半導(dǎo)體裝置10中是否發(fā)生了故 障。該步驟可對應(yīng)于圖12中的檢測狀態(tài)。
[0058] 然后，（在S60中）機(jī)器人230可將測試板部分300從單元棧式存儲器210卸載到 載入器/卸載器240。服務(wù)器100可將半導(dǎo)體裝置10分成好的和壞的裝置并基于所述分類 管理半導(dǎo)體裝置10。
[0059] 在上面的描述中，測試板300被描述為印刷電路板，但是本發(fā)明構(gòu)思的示例性實 施例可以不限于此。例如，測試板300可以是單元板。此外，在上面的描述中，半導(dǎo)體裝置 10被描述為NAND閃存裝置，但是本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例可以不限于此。例如，半導(dǎo)體 裝置10可以是用于其中設(shè)置有至少一個非易失性存儲器裝置的移動裝置的存儲器模塊、 圖形卡、音頻卡、LAN卡或主板。
[0060] 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例，服務(wù)器100可向半導(dǎo)體裝置10提供測試程序。 半導(dǎo)體裝置10可使用下載到其上的測試程序來執(zhí)行BIST。因此，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性 實施例的測試設(shè)備允許操作員測試各種半導(dǎo)體裝置。
[0061] 此外，測試設(shè)備的使用使得有效地執(zhí)行測試過程成為可能。例如，包括板測試過程 的一系列測試過程能夠有效地執(zhí)行。
[0062] 雖然已經(jīng)參照本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例具體地示出并描述了本發(fā)明構(gòu)思，但是 本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將要理解的是，在不脫離由權(quán)利要求所限定的本發(fā)明構(gòu)思的精神和 范圍的情況下，可對其作出各種形式上和細(xì)節(jié)上的改變。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于測試半導(dǎo)體裝置的測試設(shè)備，所述測試設(shè)備包括： 棧式存儲器部分，被配置為與服務(wù)器通信，其中，所述服務(wù)器包括用于測試半導(dǎo)體裝置 的測試程序； 多個測試板部分，設(shè)置在所述棧式存儲器部分中，測試板部分中的至少一個測試板部 分包括設(shè)置在所述至少一個測試板部分上的半導(dǎo)體裝置并被配置為向半導(dǎo)體裝置提供來 自服務(wù)器的至少一個測試程序， 其中，所述棧式存儲器部分包括： 單元棧式存儲器，所述單元棧式存儲器包括被配置為固定多個測試板部分的架子； 棧式存儲器控制器，被配置為與服務(wù)器和單元棧式存儲器中的測試板部分通信。
2. 如權(quán)利要求1所述的測試設(shè)備，所述測試設(shè)備還包括電源部分，所述電源部分被配 置為向所述測試板部分和所述棧式存儲器部分供應(yīng)電源電壓， 其中，所述棧式存儲器部分還包括： 電源板，設(shè)置在所述架子中并連接到所述電源部分； 背板，連接到所述電源板和所述測試板部分。
3. 如權(quán)利要求2所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括棧式存儲器板，所 述棧式存儲器板連接在棧式存儲器控制器和所述背板之間。
4. 如權(quán)利要求3所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器板和所述電源板連接到所述 背板的第一側(cè)， 所述測試板部分連接到所述背板的與所述第一側(cè)相對的第二側(cè)。
5. 如權(quán)利要求3所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括： 測試控制器，安裝在所述棧式存儲器板中的至少一個棧式存儲器板上并連接到所述棧 式存儲器控制器； 至少一個可編程邏輯裝置，安裝在所述棧式存儲器板上并由所述測試控制器控制，可 編程邏輯裝置被配置為向所述至少一個測試板部分上的半導(dǎo)體裝置提供測試程序。
6. 如權(quán)利要求5所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括： 第一電壓轉(zhuǎn)換器，設(shè)置在所述電源板上并被配置為將電源電壓轉(zhuǎn)換為第一電壓； 第二電壓轉(zhuǎn)換器，設(shè)置在所述電源板上并被配置為將電源電壓轉(zhuǎn)換為高于第一電壓的 第二電壓。
7. 如權(quán)利要求6所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括電壓轉(zhuǎn)換器，電壓 轉(zhuǎn)換器設(shè)置在至少一個棧式存儲器板上并被配置為將第一電壓和第二電壓轉(zhuǎn)換為控制電 壓且向測試控制器和可編程邏輯裝置提供所述控制電壓。
8. 如權(quán)利要求1所述的測試設(shè)備，其中，所述至少一個測試板部分包括： 測試板，所述半導(dǎo)體裝置設(shè)置在所述測試板上； 多個單元插座，被配置為將所述測試板連接到所述半導(dǎo)體裝置。
9. 如權(quán)利要求8所述的測試設(shè)備，其中，所述至少一個測試板部分還包括： 控制板，設(shè)置在所述測試板上； 測試控制器，設(shè)置在所述控制板上； 至少一個可編程邏輯裝置，設(shè)置在所述控制板上并通過所述測試控制器控制，以向所 述半導(dǎo)體裝置提供測試程序。
10. 如權(quán)利要求9所述的測試設(shè)備，其中，所述至少一個測試板部分還包括： 局域網(wǎng)卡，設(shè)置在所述測試板上并被配置為與所述棧式存儲器控制器通信； 向量存儲器，被配置為存儲從所述測試控制器提供的測試程序。
11. 如權(quán)利要求1所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括： 機(jī)器人，被配置為在所述棧式存儲器之間傳送所述測試板部分； 載入器/卸載器，被配置為在所述測試板部分通過機(jī)器人傳送之前固定所述測試板部 分。
12. 如權(quán)利要求1所述的測試設(shè)備，其中，所述半導(dǎo)體裝置中的至少一個半導(dǎo)體裝置被 配置為執(zhí)行內(nèi)建自測試。
13. -種測試半導(dǎo)體裝置的方法，所述方法包括： 將測試板部分載入到棧式存儲器部分中，其中，具有內(nèi)建自測試功能的半導(dǎo)體裝置安 裝在所述測試板部分上； 向所述測試板部分提供來自服務(wù)器的測試程序； 在半導(dǎo)體裝置上執(zhí)行內(nèi)建自測試； 向所述服務(wù)器輸出從半導(dǎo)體裝置的內(nèi)建自測試獲取的測試結(jié)果。
14. 如權(quán)利要求13所述的方法，所述方法還包括：向服務(wù)器提供來自棧式存儲器部分 的關(guān)于安裝在所述測試板部分上的半導(dǎo)體裝置的信息。
15. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中，提供關(guān)于半導(dǎo)體裝置的信息的步驟包括請求服 務(wù)器提供所述測試程序。
16. 如權(quán)利要求13所述的方法，所述方法還包括：從棧式存儲器部分卸載所述測試板 部分。
17. -種用于測試半導(dǎo)體裝置的測試設(shè)備，所述測試設(shè)備包括： 棧式存儲器部分，被配置為從服務(wù)器接收測試程序； 第一測試板和第二測試板，設(shè)置在所述棧式存儲器部分中，所述第一測試板包括被配 置為執(zhí)行第一內(nèi)建測試的第一半導(dǎo)體裝置，所述第二測試板包括被配置為執(zhí)行第二內(nèi)建測 試的第二半導(dǎo)體裝置， 其中，所述第一內(nèi)建測試和第二內(nèi)建測試響應(yīng)于從服務(wù)器接收測試程序而同時執(zhí)行。
18. 如權(quán)利要求17所述的測試設(shè)備，其中，所述第一半導(dǎo)體裝置和第二半導(dǎo)體裝置彼 此不同。
19. 如權(quán)利要求17所述的測試設(shè)備，其中，所述第一測試板和第二測試板獨立地操作。
20. 如權(quán)利要去17所述的測試設(shè)備，其中，所述棧式存儲器部分還包括：載入器/卸載 器，被配置為固定所述第一測試板和第二測試板；機(jī)器人，被配置為使第一測試板和第二測 試板運動到單元棧式存儲器；棧式存儲器控制器，被配置成為所述服務(wù)器和棧式存儲器部 分之間的接口。
【文檔編號】G11C29/56GK104112480SQ201410150352
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月15日
【發(fā)明者】李敬淑, 樸鐘必, 具權(quán)本, 金彣錫, 閔丙準(zhǔn) 申請人:三星電子株式會社