一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及自動化檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元，晶元經(jīng)過封裝之后制成芯片。一個圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元在封裝制造成芯片之前需要對每個晶元的性能進行檢測，由于一個晶元片上存在上百個晶元，人工檢測效率低;對于自動化檢測而言，由于晶元排列密集，探針定位困難。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的晶元自動檢測設備上探針安裝定位困難的問題，提供了一種探針安裝、定位方便，極大提高晶元檢測效率的一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，包括連接套，所述連接套的一端設有連接法蘭，連接套的另一端固定有定位膠套I，所述的定位膠套I的外端面為外錐面，所述定位膠套I的外端面上還設有定位膠套II，所述定位膠套II的內(nèi)端面為內(nèi)錐面，定位膠套I與定位膠套II之間夾持有若干探針，所述定位膠套II的外端設有環(huán)形壓板，所述的環(huán)形壓板與連接套之間螺栓連接，探針的頭部位于連接套內(nèi)且高出環(huán)形壓板的端面，探針的尾部連接有導線，導線的外端與集成插頭連接。
[0006]連接法蘭與自動檢測設備機械連接，集成插頭與自動檢測設備電連接，晶元片安裝在滑動支架上，探針與晶元表面接觸，滑動支架帶動晶元片移動，使得晶元片上的每一格晶元都經(jīng)過一次探針，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結(jié)果，極大的提高了晶元芯片的檢測效率;本結(jié)構(gòu)中，通過調(diào)節(jié)內(nèi)錐面與外錐面的角度來控制探針的傾斜角度，從而使得所有探針的頭部能夠伸出環(huán)形壓板外并盡可能的保持在同一平面內(nèi)；探針損壞后，能夠快速拆卸更換。
[0007]作為優(yōu)選，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測端子，所述的檢測端子與待檢測的晶元芯片垂直。探針傾斜分布，從而保證探針頭與晶元芯片之間是彈性接觸，檢測端子與晶元芯片垂直，保證兩者之間接觸穩(wěn)定，探針頭受力穩(wěn)定。
[0008]作為優(yōu)選，所述檢測端子的端面為球面。球面能防止檢測端子在晶元芯片表面移動時產(chǎn)生刮痕。
[0009]因此，本實用新型具有探針安裝、定位方便，極大提高晶元檢測效率的的有益效果O
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為圖1的側(cè)剖圖。
[0012]圖3為探針的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:連接套1、連接法蘭2、定位膠套13、定位膠套114、探針5、環(huán)形壓板6、螺栓7、導線8、集成插頭9、晶元芯片10、探針套50、探針頭51、檢測端子52。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步描述:
[0015]如圖1和圖2所示的一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，包括連接套1，連接套I的一端設有連接法蘭2，連接套的另一端固定有定位膠套13，定位膠套13的外端面為外錐面，定位膠套I的外端面上還設有定位膠套114，定位膠套II的內(nèi)端面為內(nèi)錐面，定位膠套13與定位膠套114之間夾持有若干探針5，定位膠套114的外端設有環(huán)形壓板6，環(huán)形壓板6與連接套I之間螺栓7連接，所有的探針呈兩排分布，探針5的頭部位于連接套I內(nèi)且高出環(huán)形壓板的端面，每排探針的頭部對齊，探針5的尾部連接有導線8，導線的外端與集成插頭9連接。
[0016]如圖3所示，探針5包括探針套50、探針頭51，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭51的外端彎曲形成檢測端子52，檢測端子52與待檢測的晶元芯片10垂直，檢測端子52的端面為球面。
[0017]結(jié)合附圖，本實用新型的使用方法如下:連接法蘭與自動檢測設備機械連接，集成插頭與自動檢測設備電連接，晶元片安裝在滑動支架上，探針與晶元表面接觸，滑動支架帶動晶元片移動，使得晶元片上的每一格晶元都經(jīng)過一次探針，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結(jié)果，極大的提高了晶元芯片的檢測效率;本結(jié)構(gòu)中，通過調(diào)節(jié)內(nèi)錐面與外錐面的角度來控制探針的傾斜角度，從而使得所有探針的頭部能夠伸出環(huán)形壓板外并盡可能的保持在同一平面內(nèi)；探針損壞后，能夠快速拆卸更換。因此，本實用新型具有探針安裝、定位方便，極大提高晶元檢測效率的的有益效果。
【主權(quán)項】
1.一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，其特征是，包括連接套，所述連接套的一端設有連接法蘭，連接套的另一端固定有定位膠套I，所述的定位膠套I的外端面為外錐面，所述定位膠套I的外端面上還設有定位膠套II，所述定位膠套II的內(nèi)端面為內(nèi)錐面，定位膠套I與定位膠套II之間夾持有若干探針，所述定位膠套II的外端設有環(huán)形壓板，所述的環(huán)形壓板與連接套之間螺栓連接，探針的頭部位于連接套內(nèi)且高出環(huán)形蓋板的端面，探針的尾部連接有導線，導線的外端與集成插頭連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，其特征是，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測端子，所述的檢測端子與待檢測的晶元芯片垂直。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，其特征是，所述檢測端子的端面為球面。
【專利摘要】本實用新型涉及自動化檢測工裝技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶元自動檢測設備用探針定位夾具，包括連接套，連接套的一端設有連接法蘭，連接套的另一端固定有定位膠套I，定位膠套I的外端面為外錐面，定位膠套I的外端面上還設有定位膠套II，定位膠套II的內(nèi)端面為內(nèi)錐面，定位膠套I與定位膠套II之間夾持有若干探針，定位膠套II的外端設有環(huán)形壓板，環(huán)形壓板與連接套之間螺栓連接，探針的頭部位于連接套內(nèi)且高出環(huán)形壓板的端面，探針的尾部連接有導線，導線的外端與集成插頭連接。本實用新型具有探針安裝、定位方便，極大提高晶元檢測效率的有益效果。
【IPC分類】G01R1/073
【公開號】CN205229221
【申請?zhí)枴緾N201521035597
【發(fā)明人】楊會會
【申請人】普鑠電子(上海)有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月12日