一種組合式探針檢測(cè)頭的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種組合式探針檢測(cè)頭。
【背景技術(shù)】
[0002]探針是電測(cè)試的接觸媒介，探針通常包括探針殼、探針頭，探針頭與探針殼之間彈性連接，探針頭可在探針套內(nèi)伸縮。探針通常用來(lái)測(cè)試一些微型電子元器件的參數(shù)，例如測(cè)量電子元器件上兩個(gè)焊點(diǎn)之間的電阻、電流、電壓等。晶元是生產(chǎn)集成電路所用的載體，通常通過(guò)探針對(duì)進(jìn)行檢測(cè)，由于一個(gè)晶元片上存在上百個(gè)晶元，單個(gè)探針檢測(cè)效率低，無(wú)法滿(mǎn)足生產(chǎn)檢測(cè)需求，需要多組探針同時(shí)檢測(cè)，然而目前沒(méi)有專(zhuān)門(mén)用于多組探針固定的夾具。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的多組探針難以同時(shí)安裝定位的問(wèn)題，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時(shí)安裝定位、提高探針檢測(cè)效率的組合式探針檢測(cè)頭，尤其適用于晶元芯片檢測(cè)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種組合式探針檢測(cè)頭，包括探針座，所述的探針座呈回字形結(jié)構(gòu)，所述探針座的四個(gè)內(nèi)壁分別向內(nèi)延伸形成支撐塊，探針座內(nèi)部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，所述支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內(nèi)端厚度，所述探針座的頂面上與支撐塊的連接處設(shè)有凹槽，所述凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個(gè)凹槽內(nèi)設(shè)有一組探針，所述的探針通過(guò)絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內(nèi)，所述探針的頭部高出探針座頂面。該種組合式探針檢測(cè)頭直接安裝到自動(dòng)化監(jiān)測(cè)設(shè)備上，能快速對(duì)呈陣列分布的電子元器件進(jìn)行檢測(cè)，尤其適合晶元片上的晶元檢測(cè)，四個(gè)支撐塊的分布非常緊湊，從而可以很大程度的縮減探針座的尺寸，更有利于測(cè)量排列緊密的晶元，而且從底部的卍字形通槽中還能直觀的看到探針與待檢測(cè)物品的接觸狀態(tài)。
[0006]作為優(yōu)選，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測(cè)端子，所述的檢測(cè)端子的軸線(xiàn)與探針座的端面垂直。檢測(cè)時(shí)，檢測(cè)端子保持與晶元片垂直，使得探針受力穩(wěn)定，提高探針使用壽命。
[0007]作為優(yōu)選，所述檢測(cè)端子的端面為球面。球面能防止檢測(cè)端子移動(dòng)時(shí)在晶元表面產(chǎn)生刮痕。
[0008]作為優(yōu)選，所述的探針座的四個(gè)角上分別設(shè)有連接孔。
[0009]因此，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時(shí)安裝定位、提高探針檢測(cè)效率的有益效果。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為本實(shí)用新型的底面結(jié)構(gòu)不意圖。
[0012]圖3為圖1中A-A處截面圖。
[0013]圖4為探針的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:探針座1、支撐塊2、卍字形通槽3、凹槽4、探針5、絕緣膠6、連接孔7、探針套50、探針頭51、檢測(cè)端子52。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0016]如圖1和圖2所示的一種組合式探針檢測(cè)頭，包括探針座I，探針座I呈回字形結(jié)構(gòu)，探針座的底面與頂面平行，探針座I的四個(gè)內(nèi)壁分別向內(nèi)延伸形成支撐塊2，探針座I內(nèi)部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽3，支撐塊2的底面與探針座I的底端平齊，如圖3所示，支撐塊2的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內(nèi)端厚度，探針座I的頂面上與支撐塊的連接處設(shè)有凹槽4，凹槽4的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個(gè)凹槽4內(nèi)設(shè)有一組探針5，探針靠在支撐塊的斜面上，探針5通過(guò)絕緣膠6與探針座I連接，探針5的頭部位于卍字形通槽3內(nèi)，探針的頭部高出探針座頂面;探針座I的四個(gè)角上分別設(shè)有連接孔7。
[0017]如圖4所示，探針5包括探針套50、探針頭51，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭51的外端彎曲形成檢測(cè)端子52，檢測(cè)端子52的軸線(xiàn)與探針座I的端面垂直，檢測(cè)端子52的端面為球面。
[0018]該種組合式探針檢測(cè)頭直接安裝到自動(dòng)化監(jiān)測(cè)設(shè)備上，能快速對(duì)呈陣列分布的電子元器件進(jìn)行檢測(cè)，尤其適合晶元片上的晶元檢測(cè)，四個(gè)支撐塊的分布非常緊湊，從而可以很大程度的縮減探針座的尺寸，更有利于測(cè)量排列緊密的晶元，而且從底部的卍字形通槽中還能直觀的看到探針與待檢測(cè)物品的接觸狀態(tài)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時(shí)安裝定位、提高探針檢測(cè)效率的有益效果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種組合式探針檢測(cè)頭，其特征是，包括探針座，所述的探針座呈回字形結(jié)構(gòu)，所述探針座的四個(gè)內(nèi)壁分別向內(nèi)延伸形成支撐塊，探針座內(nèi)部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，所述支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內(nèi)端厚度，所述探針座的頂面上與支撐塊的連接處設(shè)有凹槽，所述凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個(gè)凹槽內(nèi)設(shè)有一組探針，所述的探針通過(guò)絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內(nèi)，所述探針的頭部高出探針座頂面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式探針檢測(cè)頭，其特征是，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內(nèi)彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測(cè)端子，所述的檢測(cè)端子的軸線(xiàn)與探針座的端面垂直。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種組合式探針檢測(cè)頭，其特征是，所述檢測(cè)端子的端面為球面。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式探針檢測(cè)頭，其特征是，所述的探針座的四個(gè)角上分別設(shè)有連接孔。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化檢測(cè)工裝技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種組合式探針檢測(cè)頭，包括探針座，探針座呈回字形結(jié)構(gòu)，探針座的四個(gè)內(nèi)壁分別向內(nèi)延伸形成支撐塊，探針座內(nèi)部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內(nèi)端厚度，探針座的頂面上與支撐塊的連接處設(shè)有凹槽，凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個(gè)凹槽內(nèi)設(shè)有一組探針，探針通過(guò)絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內(nèi)，探針的頭部高出探針座頂面。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時(shí)安裝定位、提高探針檢測(cè)效率的有益效果。
【IPC分類(lèi)】G01R1/04, G01R1/073
【公開(kāi)號(hào)】CN205229202
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521035608
【發(fā)明人】張旆
【申請(qǐng)人】普鑠電子(上海)有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2015年12月12日