本發(fā)明涉及用于檢查電路基板的導(dǎo)體圖案的電氣導(dǎo)通狀態(tài)或絕緣狀態(tài)的基板檢查裝置及基板檢查方法。

本申請(qǐng)要求2016年3月14日在日本申請(qǐng)的特愿2016-50233號(hào)的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容引用于此。

背景技術(shù)：

在檢查印刷基板等的電路基板中的導(dǎo)體圖案的斷線或短路等的電氣導(dǎo)通狀態(tài)或絕緣狀態(tài)的情況下，使檢查探針抵接導(dǎo)體圖案的兩端的露出部分，在檢查探針間流過(guò)電流，或?qū)蓚€(gè)導(dǎo)體圖案間施加電壓，測(cè)量檢查探針間的電阻值等的電特性值，從該測(cè)量值檢查導(dǎo)通狀態(tài)或絕緣狀態(tài)。

這種情況下，有檢查探針和導(dǎo)體圖案之間的接觸狀態(tài)對(duì)測(cè)量值產(chǎn)生影響的顧慮。特別地，在因微細(xì)化而質(zhì)量(電阻值的偏差小)的要求不斷提高的近年中，接觸狀態(tài)對(duì)測(cè)量值造成的影響成為較大的問(wèn)題。

為了解決這樣的接觸狀態(tài)的影響，在專利文獻(xiàn)1中，公開了在測(cè)量導(dǎo)體圖案等中的電阻值時(shí)、在發(fā)生起因于檢查探針的接觸不良等的測(cè)量異常連續(xù)l(l為2以上的自然數(shù))次時(shí)、在測(cè)量次數(shù)達(dá)到了m(m為l以上的自然數(shù))次時(shí)、以及在連續(xù)n(n為2以上、低于m的自然數(shù))次滿足了未發(fā)生測(cè)量異常而測(cè)量出的參數(shù)的測(cè)量值收斂在容許范圍內(nèi)的條件時(shí)的哪一個(gè)較早時(shí)為止，反復(fù)進(jìn)行參數(shù)的測(cè)量。

根據(jù)該方法，記載了能夠不檢測(cè)非連接狀態(tài)等的測(cè)量異常，并且在測(cè)量值的變動(dòng)較少時(shí)，在測(cè)量次數(shù)達(dá)到m次以前使測(cè)量處理結(jié)束，能夠提高測(cè)量效率。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-151554號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的問(wèn)題

可是，在專利文獻(xiàn)1記載的方法中，記載了將規(guī)定的測(cè)量次數(shù)設(shè)定為m次，在測(cè)量異常未檢出，而測(cè)量值的變動(dòng)少時(shí)，能夠在達(dá)到該m次以前使測(cè)量處理結(jié)束，而即使在該情況下，若測(cè)量值收斂在容許范圍內(nèi)的條件不滿足連續(xù)n次，則不能使測(cè)量處理結(jié)束。

本發(fā)明鑒于這樣的情況而完成，目的在于降低電路基板的導(dǎo)體圖案和檢查探針之間的接觸狀態(tài)的影響，并且快速地檢查。

解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明的基板檢查方法，在對(duì)電路基板上形成的導(dǎo)體圖案，基于通過(guò)檢查探針流過(guò)的電流測(cè)量電特性值，并基于該電特性值的測(cè)量值判定所述電路基板的合格與否的基板檢查方法中，包括以下步驟：在第1次的測(cè)量值偏離容許范圍的情況下，改變對(duì)所述檢查探針的電流的方向進(jìn)行第2次的測(cè)量，在該第2次的測(cè)量值偏離所述容許范圍的情況下，以測(cè)量出所述第1次的測(cè)量值和所述第2次的測(cè)量值之中的偏離容許范圍的差較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流的方向進(jìn)行第3次以后的測(cè)量。

此外，本發(fā)明的基板檢查裝置，在基于電路基板上形成的導(dǎo)體圖案中流過(guò)的電流來(lái)測(cè)量電特性值，并基于該電特性值的測(cè)量值判定所述電路基板的合格與否的基板檢查裝置中，包括：一對(duì)檢查探針，其接觸到所述導(dǎo)體圖案；切換部件，用于切換在所述檢查探針間流過(guò)的電流的方向；檢查判定單元，比較所述測(cè)量值和預(yù)先確定的閾值，在所述測(cè)量值為容許范圍內(nèi)的情況下，將所述電路基板判定為合格；以及電流方向控制單元，在第1次的測(cè)量值沒(méi)有被所述檢查判定單元判定為合格的情況下，控制所述切換部件，使得改變對(duì)所述檢查探針的電流的方向，在第2次的測(cè)量值沒(méi)有被所述檢查判定單元判定為合格的情況下，控制所述切換部件，使得成為測(cè)量出所述第1次的測(cè)量值和所述第2次的測(cè)量值之中的偏離容許范圍的差較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流的方向。

即使在測(cè)量值因檢查探針的接觸不良等而偏離容許范圍的情況下，也能夠通過(guò)2次以上測(cè)量，減小接觸狀態(tài)的影響而進(jìn)行正確的檢查。然后，在測(cè)量值為容許范圍內(nèi)時(shí)，該電路基板被判定為合格。

此外，在進(jìn)行多次的測(cè)量的情況下，若改變電流的方向來(lái)進(jìn)行第1次的測(cè)量和第2次的測(cè)量，則在其測(cè)量值中產(chǎn)生差。這被假定因?yàn)閷z查探針接觸到導(dǎo)體圖案的狀態(tài)下的電氣路徑，導(dǎo)體和絕緣體(例如接觸部分)混合、在哪個(gè)方向上電流都容易流過(guò)。此外，若反復(fù)進(jìn)行測(cè)量，則測(cè)量值隨著測(cè)量次數(shù)重疊而不斷緩慢地收斂到規(guī)定值。因此，若一面交替地切換電流的方向一面測(cè)量，則測(cè)量值不斷緩慢地收斂到規(guī)定值，但較大的測(cè)量值和較小的測(cè)量值被交替地測(cè)量。在一面這種交替地切換一面測(cè)量中，測(cè)量值進(jìn)入到容許范圍內(nèi)為止需要時(shí)間。

在本發(fā)明中，通過(guò)比較最初2次的測(cè)量值并以測(cè)量出偏離容許范圍的差較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流的方向進(jìn)行第3次以后的測(cè)量，以接觸狀態(tài)的影響更小一方的測(cè)量條件來(lái)測(cè)量，能夠更正確并且盡快地達(dá)到容許范圍內(nèi)，能夠?qū)z查時(shí)間縮短相應(yīng)的時(shí)間。

在本發(fā)明的基板檢查方法中，也可以所述測(cè)量值在所述容許范圍內(nèi)的情況下判定為合格，在沒(méi)有被判定為合格的情況下反復(fù)進(jìn)行測(cè)量，在測(cè)量次數(shù)達(dá)到了上限的情況下判定為不合格。

此外，在本發(fā)明的基板檢查裝置中，也可以包括：設(shè)定測(cè)量次數(shù)的上限的條件設(shè)定單元；以及在沒(méi)有被所述檢查判定單元判定為合格的情況下，直到所述測(cè)量次數(shù)達(dá)到上限為止反復(fù)進(jìn)行測(cè)量的反復(fù)控制單元，所述檢查判定單元在沒(méi)有被判定為合格而所述測(cè)量次數(shù)達(dá)到了上限的情況下判定為不合格。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠降低電路基板的導(dǎo)體圖案和檢查探針之間的接觸狀態(tài)的影響，并且快速地檢查。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電路基板的導(dǎo)通檢查方法的流程圖。

圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電路基板的檢查裝置的框圖。

圖3a和圖3b是表示以第1實(shí)施方式的導(dǎo)通檢查方法檢查了電路基板的情況、和對(duì)每次測(cè)量一面交替地切換電流方向一面將電路基板導(dǎo)通檢查的情況的測(cè)量次數(shù)和測(cè)量值之間的關(guān)系的曲線圖。

圖4是表示始終以相同的電流方向流過(guò)電流來(lái)進(jìn)行電路基板的導(dǎo)通檢查的情況下的測(cè)量次數(shù)和測(cè)量值之間的關(guān)系的曲線圖。

圖5是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電路基板的絕緣檢查方法的流程圖。

圖6是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電路基板的檢查裝置的框圖。

圖7a和圖7b是表示以第2實(shí)施方式的絕緣檢查方法檢查了電路基板的情況、和對(duì)每次測(cè)量一面交替地切換電流方向一面將電路基板絕緣檢查的情況的測(cè)量次數(shù)和測(cè)量值之間的關(guān)系的曲線圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。

[基板檢查裝置]

第1實(shí)施方式中的基板檢查裝置11進(jìn)行對(duì)電路基板1的導(dǎo)體圖案2的導(dǎo)通檢查，如圖2所示，包括：發(fā)生規(guī)定的直流電流的直流電流源12；接觸到在電路基板1上露出的導(dǎo)體圖案2的兩端部的一對(duì)檢查探針13；設(shè)在檢查探針13和直流電流源12之間的切換開關(guān)(切換部件)14；用于檢測(cè)檢查探針13間的電位的電位檢測(cè)單元15；控制對(duì)檢查探針13通電并且進(jìn)行電路基板1合格與否判定的控制單元16；以及顯示該判定結(jié)果等的顯示單元17。

作為檢查探針13，例如使用二端子的探針，使每一根探針接觸到導(dǎo)體圖案2來(lái)檢測(cè)。電位檢測(cè)單元15使兩根檢查探針13接觸到電路基板1的導(dǎo)體圖案2的兩端部，檢測(cè)在從直流電流源12流過(guò)一定的電流時(shí)的檢查探針13間的電位，將該電位進(jìn)行a/d轉(zhuǎn)換并作為數(shù)字信號(hào)發(fā)送到控制單元16。

切換開關(guān)14具有將直流電流源12和檢查探針13之間的連接導(dǎo)通(on)、斷開(off)而開始或停止對(duì)檢查探針13的通電的功能、以及切換在將這些直流電流源12和檢查探針13設(shè)為連接狀態(tài)時(shí)的對(duì)兩根檢查探針13的電流的流動(dòng)方向的功能的兩個(gè)功能。但是，在本發(fā)明中，也可以分別設(shè)置這兩個(gè)功能。

控制單元16由cpu、存儲(chǔ)器等構(gòu)成，控制直流電流源12及切換開關(guān)14，并且根據(jù)電位檢測(cè)單元15的檢測(cè)電位進(jìn)行電路基板1的合格與否判定，設(shè)有：設(shè)定各種條件等的條件設(shè)定單元23、判定電路基板1的合格與否的檢查判定單元24、控制測(cè)量的反復(fù)的反復(fù)控制單元25、控制測(cè)量時(shí)的電流方向的電流方向控制單元26、進(jìn)行與各單元之間的數(shù)據(jù)的通信的通信單元27。

條件設(shè)定單元23能夠設(shè)定由直流電流源12發(fā)生的恒流值、檢查判定單元24中用于確定測(cè)量值是否在容許范圍的閾值、測(cè)量次數(shù)的上限等。這些恒流值、閾值、測(cè)量次數(shù)的上限等根據(jù)作為檢查對(duì)象的電路基板的特性而被設(shè)定為合適的值。

檢查判定單元24取入從電位檢測(cè)單元15傳送來(lái)的數(shù)據(jù)(電位)，從與對(duì)于直流電流源12設(shè)定的恒流值之間的關(guān)系計(jì)算電阻值，將該電阻值與閾值(導(dǎo)通狀態(tài)為良好的情況下的最大容許電阻值)比較，從哪個(gè)為較小的比較結(jié)果來(lái)判定電路基板1的合格與否。

反復(fù)控制單元25進(jìn)行控制，使得在沒(méi)有被檢查判定單元24判定為合格的情況下，在規(guī)定條件之下，將測(cè)量反復(fù)進(jìn)行規(guī)定次數(shù)。

電流方向控制單元26通過(guò)反復(fù)控制單元25的控制來(lái)控制測(cè)量被反復(fù)進(jìn)行的情況下的電流的方向。

有關(guān)以上的控制單元16中的控制的細(xì)節(jié)，在以下的基板檢查方法的說(shuō)明中說(shuō)明。

[基板檢查方法]

根據(jù)圖1的流程圖說(shuō)明基板檢查方法。

在進(jìn)行電路基板1的導(dǎo)通檢查的情況下，使檢查探針13接觸到導(dǎo)體圖案2的兩端部，首先，成為將導(dǎo)體圖案2中流動(dòng)的電流的方向設(shè)定為任意一個(gè)的狀態(tài)(s1：電流方向初始設(shè)定)。

接著，將測(cè)量次數(shù)i設(shè)定為1(s2)，通過(guò)將切換開關(guān)14設(shè)為導(dǎo)通，開始對(duì)檢查探針13間的通電(s3)。若在檢查探針13間的導(dǎo)體圖案2中流過(guò)規(guī)定的電流，則該期間的電位被電位檢測(cè)單元15檢測(cè)(s4)，在電位檢測(cè)后，電流被斷開(s5)。然后，從該電位和對(duì)于直流電流源12預(yù)先設(shè)定的電流值運(yùn)算電阻值(s6)?；蛘?，在該s6中，也可以另外準(zhǔn)備電流檢測(cè)部件，使用在通電中實(shí)測(cè)的電流值計(jì)算電阻值。

在檢查探針13間的導(dǎo)體圖案2中流過(guò)電流并檢測(cè)電位，從該電位計(jì)算電阻值，將該電阻值在下一步驟s7中與閾值r0比較為止的過(guò)程作為一次的測(cè)量，將該期間算出的電阻值作為測(cè)量值ri(i＝1～n)。

判斷該測(cè)量值ri(i＝1～n)是否在預(yù)先設(shè)定的閾值r0以下(s7)，在判斷為ri≤r0的情況下，即在判斷為測(cè)量值ri在容許范圍內(nèi)的情況下，將該電路基板1判定為“合格”(s8)。

在s7中沒(méi)有被判斷為測(cè)量值ri在閾值r0以下(ri≤r0)的情況下，判斷該測(cè)量是否為第n次的測(cè)量(s9)，在被判斷是第n次的情況下，將該電路基板判定為“不合格”(s10)。該n次的值預(yù)先由條件設(shè)定單元23設(shè)定。所謂測(cè)量次數(shù)為第n次，是指在至其為止的期間測(cè)量值ri一次都沒(méi)有為閾值r0以下，在即使達(dá)到上限的n次而測(cè)量值ri仍然未達(dá)到閾值r0的情況下，將該電路基板1判定為不合格。

在s9中被判斷為測(cè)量次數(shù)不是第n次的情況下，判斷該測(cè)量是否為第1次的測(cè)量(s11)，在被判斷是第1次的情況下，通過(guò)電流方向控制單元26使切換開關(guān)14動(dòng)作來(lái)進(jìn)行電流方向切換的處理(s12)。在s11中沒(méi)有被判斷是第1次的測(cè)量的情況下，進(jìn)至下一步驟s13。

在s11中沒(méi)有被判斷是第1次的測(cè)量的情況下，判斷是否為第2次的測(cè)量(s13)。在被判斷是第2次的測(cè)量的情況下，比較第1次的測(cè)量值(電阻值)r1和第2次的測(cè)量值(電阻值)r2，判斷第1次的測(cè)量值r1是否比第2次的測(cè)量值r2小(s14)。在s13中沒(méi)有被判斷是第2次的測(cè)量的情況下，進(jìn)至下一步驟(s15)。

在s14中判斷為第1次的測(cè)量值r1比第2次的測(cè)量值r2小的情況下，通過(guò)電流方向控制單元26使切換開關(guān)14動(dòng)作來(lái)進(jìn)行電流方向切換處理(s16)。在s14中沒(méi)有被判斷為第1次的測(cè)量值r1比第2次的測(cè)量值r2小的情況下，不切換電流方向，而進(jìn)至下一步驟(s15)。即，在第1次的測(cè)量值較小的情況下(與第1次的測(cè)量值的閾值r0之差的值小于與第2次的測(cè)量值的閾值r0之差的值的情況)選擇測(cè)量第1次時(shí)的電流方向，在第2次的測(cè)量值比第1次小的情況下(與第2次的測(cè)量值的閾值r0之差的值小于與第1次的測(cè)量值的閾值r0之差的值的情況)選擇測(cè)量第2次時(shí)的電流方向，設(shè)為實(shí)施第3次以后的檢查的情況下的條件(電流方向)。

在s15中，通過(guò)反復(fù)控制單元25，將測(cè)量次數(shù)i計(jì)數(shù)增加，再次從s3起反復(fù)測(cè)量。在該期間，檢查探針13被維持接觸到檢查對(duì)象的導(dǎo)體圖案2的狀態(tài)，僅被切換開關(guān)14控制。

在這一連串的處理中，通過(guò)在s7中被判斷為測(cè)量值ri在閾值r0以下，在s8中為合格判定時(shí)，以及即使反復(fù)測(cè)量，也因測(cè)量值ri不在閾值r0以下而在s9中測(cè)量次數(shù)無(wú)論是否達(dá)到上限的n次，在s10中都為不合格判定時(shí)，檢查結(jié)束。在檢查因合格判定而結(jié)束的情況下，例如在第1次的測(cè)量為合格判定的情況下以一次的測(cè)量來(lái)結(jié)束檢查，不等待測(cè)量次數(shù)i為n次而在為合格判定的時(shí)候檢查結(jié)束。

此外，對(duì)于測(cè)量時(shí)的電流方向，在從最初起進(jìn)行了2次的測(cè)量的時(shí)候，判斷第1次的測(cè)量值r1是否比第2次的測(cè)量值r2小(s14)，在被判斷為第1次的測(cè)量值r1比第2次的測(cè)量值r2小的情況下，切換應(yīng)采用該第1次的測(cè)量時(shí)的電流方向的電流方向(s16)，在沒(méi)有被判斷為第1次的測(cè)量值r1較小的情況下，不改變電流方向，換句話說(shuō)，維持第2次的測(cè)量時(shí)的電流方向，進(jìn)行以后的測(cè)量。即，以2次的測(cè)量值之中的偏離容許范圍的差的值較小一方的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)的電流方向進(jìn)行第3次以后的測(cè)量。若對(duì)每次測(cè)量一面交替地切換電流的方向一面測(cè)量，則盡管測(cè)量值不斷緩慢地收斂至規(guī)定值，但較大的測(cè)量值和較小的測(cè)量值被交替地測(cè)量。因此，至測(cè)量值為閾值以下為止需要時(shí)間，但通過(guò)設(shè)為本實(shí)施方式的檢查方法，測(cè)量值在較早的時(shí)候就為基準(zhǔn)值r0以下。

圖3a和圖3b是將測(cè)量次數(shù)n設(shè)定為10次，將測(cè)量的反復(fù)造成的測(cè)量值的變化作為曲線的圖。圖3a表示第1次的測(cè)量值比第2次的測(cè)量值大的情況，圖3b表示第2次的測(cè)量值比第1次的測(cè)量值大的情況。此外，在兩圖中，虛線都表示對(duì)每次測(cè)量一面交替地改變電流的方向一面測(cè)量的情況。與本實(shí)施方式同樣，實(shí)線表示在最初的測(cè)量和第2次的測(cè)量中切換電流方向，但在第3次以后，用測(cè)量出第1次的測(cè)量值和第2次的測(cè)量值之中的較小的測(cè)量值、即偏離容許范圍的差的值較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流方向進(jìn)行測(cè)量的情況。各圖的上段表示一面交替地切換電流方向一面檢查的情況下的電流方向的變化，下段表示本實(shí)施方式的檢查方法的電流方向的變化。

在本實(shí)施方式的檢查方法中，由于在圖3a所示的例子中第2次的測(cè)量值比第1次的測(cè)量值小，所以在與第2次的測(cè)量時(shí)相同的電流方向(-方向)進(jìn)行第3次以后的測(cè)量。在圖3b所示的例子中，由于第1次的測(cè)量值比第2次的測(cè)量值小，所以在與第1次測(cè)量時(shí)相同的電流方向(+方向)進(jìn)行第3次以后的測(cè)量。

如這些圖3a和圖3b所示，與對(duì)每個(gè)測(cè)量一面交替地切換電流方向一面測(cè)量的情況(以虛線所示的情況)相比，可知比較最初2次為止的測(cè)量值，采用測(cè)量出偏離測(cè)量值的容許范圍的差的值較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流方向，以后以該電流方向流動(dòng)電流進(jìn)行檢查的一方(以實(shí)線表示的情況)，在更早的時(shí)候(圖3a和圖3b的情況下，第5次的測(cè)量)低于閾值r0。

順便說(shuō)明一下，圖4表示完全不改變電流方向，而從最初在相同的方向(圖4所示的例子中+方向)中流過(guò)電流而反復(fù)測(cè)量相同的導(dǎo)體圖案的情況下的測(cè)量值的變化。即使在該情況下，測(cè)量次數(shù)越增加，測(cè)量值越小，但至閾值r0以下為止需要時(shí)間。

這樣，在電路基板的導(dǎo)通檢查中，通過(guò)反復(fù)測(cè)量，能夠降低檢查探針13的接觸狀態(tài)等的影響，準(zhǔn)確地測(cè)量導(dǎo)體圖案2的電阻值，在該情況下，切換電流方向來(lái)測(cè)量最初的2次，通過(guò)在測(cè)量出第1次的測(cè)量值和第2次的測(cè)量值之中的與容許范圍(閾值)之差較小的測(cè)量值時(shí)的電流方向?qū)Φ?次以后進(jìn)行測(cè)量，能夠在較早的時(shí)候達(dá)到閾值r0以下，能夠縮短檢查時(shí)間。

再有，在前述實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的基板檢查方法及基板檢查裝置，適用于使檢查探針接觸導(dǎo)體圖案的兩端部，檢查導(dǎo)體圖案的斷線等的導(dǎo)通檢查，但在使檢查探針接觸個(gè)別的導(dǎo)體圖案，檢查導(dǎo)體圖案間的絕緣狀態(tài)的絕緣檢查中也可以適用本發(fā)明。

圖5及圖6表示將本發(fā)明適用于絕緣檢查的第2實(shí)施方式，圖5是用于絕緣檢查的基板檢查方法的流程圖，圖6是基板檢查裝置的系統(tǒng)框圖。

在該第2實(shí)施方式的基板檢查裝置11′中，取代第1實(shí)施方式的基板檢查裝置11的直流電流源12而設(shè)有直流電壓源12，取代電位檢測(cè)單元15而設(shè)有電位和電流檢測(cè)單元15′。而且，其結(jié)構(gòu)是通過(guò)電位和電流檢測(cè)單元15′，檢測(cè)在分別接觸到兩個(gè)導(dǎo)體圖案2的檢查探針13間從直流電壓源12′施加了電壓時(shí)的檢查探針13間的電位及電流。其他結(jié)構(gòu)，除了對(duì)應(yīng)于這些直流電壓源12′、電位和電流檢測(cè)單元15′所變更的部分(在后述的絕緣檢查方法中說(shuō)明)以外，與第1實(shí)施方式的基板檢查裝置11是同樣的，對(duì)共同部分附加同一標(biāo)號(hào)并省略說(shuō)明。

在使用該基板檢查裝置11′進(jìn)行電路基板1的絕緣檢查的情況下，首先，通過(guò)切換開關(guān)14設(shè)定在導(dǎo)體圖案2間施加的電壓(以及通過(guò)施加電壓流動(dòng)的電流的方向)(s1′)。接著，將測(cè)量次數(shù)i設(shè)定為1(s2)，通過(guò)將切換開關(guān)14導(dǎo)通，在檢查探針13間施加電壓(電流)(s3′)。若在檢查探針13接觸的兩導(dǎo)體圖案2間被施加規(guī)定的電壓，則該圖案間的電位及電流(從高電位側(cè)流到低電位側(cè)的電流)被電位和電流檢測(cè)單元15′檢測(cè)(s4′)，在該電位和電流的檢測(cè)后，停止電壓的施加(s5′)。然后，根據(jù)該電位及電流來(lái)運(yùn)算電阻值(測(cè)量值ri)(s6)。

在該絕緣檢查的情況下，基板是正常的情況下可得到規(guī)定的容許范圍內(nèi)的測(cè)量值(電阻值)。若將該容許范圍的下限的閾值設(shè)為ra，將上限的閾值設(shè)為rb，則基板是正常的情況下ra≤ri≤rb。因此，預(yù)先設(shè)定該上限的閾值ra和下限的閾值rb，判斷測(cè)量值ri是否進(jìn)入該容許范圍(s7′)，在被判斷為進(jìn)入該容許范圍(ra≤ri≤rb)的情況下作為合格判定(s8)。

以后，從s9至s15為止的各步驟，與前述的第1實(shí)施方式的情況是同樣的，在s15中將測(cè)量次數(shù)i計(jì)數(shù)增加，再次反復(fù)從s3′起的步驟。

在該絕緣檢查中，使檢查探針13分別接觸到兩個(gè)導(dǎo)體圖案2，通過(guò)跨越這些導(dǎo)體圖案2來(lái)施加電壓，檢查導(dǎo)體圖案2間的絕緣狀態(tài)。此外，由于從直流電壓源12′施加電壓，所以在s12及s16的電流方向切換的步驟中，設(shè)為通過(guò)切換電壓的施加方向來(lái)切換流動(dòng)的電流的方向。即，在該絕緣檢查中，施加電壓，測(cè)量從高電位側(cè)流到低電位側(cè)的電流，利用通過(guò)改變?cè)撾妷旱氖┘臃较颍鲃?dòng)的電流的方向改變來(lái)進(jìn)行檢查。

在該絕緣檢查中，也在測(cè)量值進(jìn)入上限的閾值ra和下限的閾值rb的范圍(ra≤ri≤rb)的情況下判定為合格，在沒(méi)有被判定為進(jìn)入該容許范圍的情況下，在第1次的測(cè)量和第2次的測(cè)量中改變電壓的方向來(lái)測(cè)量，以在測(cè)量出兩者之中較小的測(cè)量值、即偏離容許范圍的差的值較小一方的測(cè)量值時(shí)流動(dòng)的電流的方向進(jìn)行以后的測(cè)量。

若將依賴于并行的導(dǎo)體圖案間設(shè)置的材料的電阻率設(shè)為ρ，將導(dǎo)體圖案間(空間)的長(zhǎng)度設(shè)為l，將導(dǎo)體圖案間的導(dǎo)體圖案的側(cè)壁面積設(shè)為a，則并行的導(dǎo)體圖案間的絕緣電阻值rx以rx＝ρ·l/a表示。

前述的上限的閾值ra和下限的閾值rb也可以考慮l、a、ρ的偏差來(lái)確定?；蛘?，在累積絕緣檢查中的測(cè)量值中，也可以從統(tǒng)計(jì)分析來(lái)確定。

圖7a和圖7b是表示絕緣檢查中的測(cè)量值的推移的曲線圖，是將以第2實(shí)施方式的絕緣檢查方法檢查了電路基板的情況、和對(duì)每次測(cè)量一面交替地切換電流方向一面對(duì)路基板進(jìn)行絕緣檢查的情況比較，示出了測(cè)量次數(shù)和測(cè)量值之間的關(guān)系的曲線圖。圖7a和圖7b都是第2次的測(cè)量值為比第1次的測(cè)量值小的值，但因接觸電阻等的影響，卻示出比閾值(ra，rb)高的電阻值。而且，在圖7a中，通過(guò)以測(cè)量值小的第2次的電流方向、即測(cè)量出偏離容許范圍的差的值比第1次的測(cè)量值小的第2次的測(cè)量值時(shí)的電流方向進(jìn)行反復(fù)測(cè)量，測(cè)量值收斂在上限的閾值rb和下限的閾值ra的范圍內(nèi)，即為容許范圍內(nèi)，絕緣狀態(tài)被判斷為良好。在一面交替地切換電流方向一面測(cè)量的情況下，如虛線所示，至達(dá)到容許范圍內(nèi)為止需要時(shí)間。

另一方面，在圖7b中，表示導(dǎo)體圖案間發(fā)生短路而有絕緣不良的基板進(jìn)行絕緣檢查的例子。該圖7b的情況下，在測(cè)量初期的階段接觸電阻等的障礙被消除后，立即為短路電阻值(比下限的閾值ra低的電阻值)，被判定作為絕緣不良。

該絕緣檢查的情況下，也與導(dǎo)通檢查的情況同樣，通過(guò)采用測(cè)量出第1次的測(cè)量值和第2次的測(cè)量值之中的、較小的測(cè)量值時(shí)、即測(cè)量出偏離容許范圍的差的值較小一方的測(cè)量值時(shí)的電流方向進(jìn)行第3次以后的測(cè)量，能夠在較早的階段進(jìn)行合格與否的判定。

前述的第1實(shí)施方式中的導(dǎo)通檢查的情況下的測(cè)量值的容許范圍，使用一個(gè)閾值來(lái)判斷，所謂測(cè)量值在容許范圍內(nèi)，是指測(cè)量值為閾值以下。另一方面，第2實(shí)施方式的絕緣檢查情況下的范圍是上限的閾值和下限的閾值之間的范圍，所謂測(cè)量值在容許范圍內(nèi)，是指測(cè)量值在上限的閾值和下限的閾值之間的范圍內(nèi)。

再有，在導(dǎo)通檢查的情況下，也可以設(shè)定上限的閾值和下限的閾值，在測(cè)量值進(jìn)入了上限的閾值和下限的閾值之間的情況下判斷為合格品。

再有，無(wú)論哪個(gè)實(shí)施方式，都根據(jù)檢查探針13間的電位和電流計(jì)算電阻值，通過(guò)該電阻值判定電路基板的合格與否，但例如在第1實(shí)施方式中也可根據(jù)在檢查探針13間檢測(cè)出的電位本身的值來(lái)判定合格與否，在本發(fā)明中，包含這些電位和電阻值等作為電特性值。

標(biāo)號(hào)說(shuō)明

1...電路基板、2...導(dǎo)體圖案、11，11′...基板檢查裝置、12...直流電流源、12′...直流電壓源、13...檢查探針、14...切換開關(guān)(切換部件)、15...電位檢測(cè)單元、15′...電位和電流檢測(cè)單元、16...控制單元、17...顯示單元、23...條件設(shè)定單元、24...檢查判定單元、25...反復(fù)控制單元、26...電流方向控制單元、27...通信單元。