專利名稱：一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，以檢測顆粒過濾器中是否因累計(jì)過量污染物而成為潛在氣相污染物的釋放源。
背景技術(shù)：
目前，在無塵室、無塵操作臺(tái)、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級(jí)等應(yīng)用場合中都會(huì)用到顆粒過濾器，以濾除空氣中的顆粒污染物(一般是 幾到幾百微米的顆粒物質(zhì)或細(xì)菌)。在實(shí)際應(yīng)用過程中發(fā)現(xiàn)，對(duì)于一些生產(chǎn)電子產(chǎn)品的無塵室而言，在使用一段時(shí)間后，在生產(chǎn)線的電子產(chǎn)品會(huì)出現(xiàn)輕微腐蝕的現(xiàn)象，影響了產(chǎn)品的質(zhì)量，給生產(chǎn)企業(yè)造成了困擾。針對(duì)上述問題，申請(qǐng)人做了大量的研究，發(fā)現(xiàn)這是因?yàn)樵陔娮赢a(chǎn)品的生產(chǎn)過程中會(huì)使用到一些化學(xué)品，這些化學(xué)品會(huì)產(chǎn)生微量的腐蝕性氣體(如氯氣、氯化氫等)，這些腐蝕性氣體會(huì)慢慢附著到顆粒過濾器上，并于日后釋放而出，從而造成整個(gè)無塵室具有一定含量的腐蝕性氣體，造成了電子產(chǎn)品出現(xiàn)輕微腐蝕的現(xiàn)象。然而，目前針對(duì)顆粒過濾器的檢測只限于其中顆粒污染物的含量，從來沒有人涉及到顆粒過濾器中的氣相污染物的檢測。因此，開發(fā)一種檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，以確定其中是否含有腐蝕性氣體，顯然具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，以檢測顆粒過濾器中是否因累計(jì)過量污染物而成為潛在氣相污染物的釋放源。為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，包括一潔凈空間、潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器、顆粒過濾器和風(fēng)機(jī)；潔凈空間的底部設(shè)有一出氣空間，潔凈空間和出氣空間的側(cè)面設(shè)有一循環(huán)空間；潔凈空間、出氣空間和循環(huán)空間之間均設(shè)有氣體通道，在循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有第二風(fēng)機(jī)，使?jié)崈艨臻g、出氣空間和循環(huán)空間構(gòu)成一空氣循環(huán)系統(tǒng)；所述出氣空間內(nèi)設(shè)有氣體采樣器，該氣體采樣器與氣體檢測器連通。上文中，所述氣體采樣器用來收集采樣潔凈空間內(nèi)的氣體，其采樣后，需經(jīng)氣體檢測器(如色譜檢測器)分析，來檢測潔凈空間內(nèi)的氣體的釋氣特性。所述氣體檢測器可以設(shè)于裝置的外部，并可以采用現(xiàn)有設(shè)備。上述技術(shù)方案中，所述潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器，氣相過濾器的頂部設(shè)有所述顆粒過濾器。上述技術(shù)方案中，所述第二風(fēng)機(jī)設(shè)于出氣空間的側(cè)面，且位于循環(huán)空間內(nèi)。上述技術(shù)方案中，所述氣體檢測器為色譜檢測器。[0015]上述技術(shù)方案中，所述潔凈空間和循環(huán)空間之間的壁上設(shè)有至少I個(gè)通孔，構(gòu)成所述氣體通道。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)I、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種專用于顆粒過濾器中的氣相污染物的檢測裝置，可以檢測確定其中是否含有腐蝕性氣體，這對(duì)于一些生產(chǎn)電子產(chǎn)品的無塵室而言，尤其具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。2、本發(fā)明的檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于制備，適于推廣應(yīng)用。

圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一的氣流示意圖?！て渲?、潔凈空間；2、氣相過濾器；3、顆粒過濾器；4、風(fēng)機(jī)；5、出氣空間；6、循環(huán)空間；7、第二風(fēng)機(jī)；8、氣體采樣器；9、通孔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例一參見圖f 2所示，一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，包括一潔凈空間I、潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器2、顆粒過濾器3和風(fēng)機(jī)4 ;所述潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器，氣相過濾器的頂部設(shè)有所述顆粒過濾器；潔凈空間的底部設(shè)有一出氣空間5，潔凈空間和出氣空間的側(cè)面設(shè)有一循環(huán)空間6 ;潔凈空間、出氣空間和循環(huán)空間之間均設(shè)有氣體通道，在循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有第二風(fēng)機(jī)7，使?jié)崈艨臻g、出氣空間和循環(huán)空間構(gòu)成一空氣循環(huán)系統(tǒng)；所述出氣空間內(nèi)設(shè)有氣體米樣器8,該氣體米樣器與外設(shè)的氣體檢測器連通。(氣體檢測器未畫出)所述第二風(fēng)機(jī)設(shè)于出氣空間的側(cè)面，且位于循環(huán)空間內(nèi)。所述氣體檢測器為色譜檢測器。所述潔凈空間和循環(huán)空間之間的壁上設(shè)有多個(gè)通孔9，構(gòu)成所述氣體通道。本實(shí)用新型的檢測方法如下(以氯氣為例)(I)采用超純水擦拭裝置內(nèi)所有空間；(2)將風(fēng)機(jī)4和第二風(fēng)機(jī)7全開，使?jié)崈艨臻g內(nèi)形成潔凈的環(huán)境，直到符合潔凈空間的要求；(3)利用氣體采樣器8收集出氣空間5內(nèi)的空氣，并用氣體檢測器進(jìn)行檢測，同時(shí)繼續(xù)全開風(fēng)機(jī)4和第二風(fēng)機(jī)7，保證其內(nèi)的氯氣的檢出量為零；(4)把待測的已經(jīng)使用過的顆粒過濾器放入所述潔凈空間I內(nèi)；(5)降低風(fēng)機(jī)4的風(fēng)量，使風(fēng)機(jī)4的風(fēng)量與第二風(fēng)機(jī)7的風(fēng)量的比例控制在約
I 10的狀態(tài)；持續(xù)至少I小時(shí)；(6)再次利用氣體采樣器8收集出氣空間5內(nèi)的空氣，并用氣體檢測器進(jìn)行檢測；若檢測到有氯氣，則說明待測的顆粒過濾器存在釋放氯氣污染物的風(fēng)險(xiǎn)，顯然已經(jīng)被污染，故即使其顆粒過濾性能良好，亦不能 使用；反之，則說明待測的顆粒過濾器未被污染，仍然可以使用。
權(quán)利要求1.一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，其特征在于包括一潔凈空間(I)、潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器(2)、顆粒過濾器(3)和風(fēng)機(jī)(4)； 潔凈空間的底部設(shè)有一出氣空間(5)，潔凈空間和出氣空間的側(cè)面設(shè)有一循環(huán)空間(6);潔凈空間、出氣空間和循環(huán)空間之間均設(shè)有氣體通道，在循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有第二風(fēng)機(jī)(7)，使?jié)崈艨臻g、出氣空間和循環(huán)空間構(gòu)成一空氣循環(huán)系統(tǒng)； 所述出氣空間內(nèi)設(shè)有氣體采樣器(8)，該氣體采樣器與氣體檢測器連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，其特征在于所述潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器，氣相過濾器的頂部設(shè)有所述顆粒過濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，其特征在于所述第二風(fēng)機(jī)設(shè)于出氣空間的側(cè)面，且位于循環(huán)空間內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，其特征在于所述氣體檢測器為色譜檢測器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，其特征在于所述潔凈空間和循環(huán)空間之間的壁上設(shè)有至少I個(gè)通孔(9)，構(gòu)成所述氣體通道。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于檢測顆粒過濾器中氣相污染物的裝置，包括一潔凈空間、潔凈空間的頂部設(shè)有氣相過濾器、顆粒過濾器和風(fēng)機(jī)；潔凈空間的底部設(shè)有一出氣空間，潔凈空間和出氣空間的側(cè)面設(shè)有一循環(huán)空間；潔凈空間、出氣空間和循環(huán)空間之間均設(shè)有氣體通道，在循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有第二風(fēng)機(jī)，使?jié)崈艨臻g、出氣空間和循環(huán)空間構(gòu)成一空氣循環(huán)系統(tǒng)；所述出氣空間內(nèi)設(shè)有氣體采樣器，該氣體采樣器與氣體檢測器連通。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種專用于顆粒過濾器中的氣相污染物的檢測裝置，可以檢測確定其中是否含有腐蝕性氣體，這對(duì)于一些生產(chǎn)電子產(chǎn)品的無塵室而言，尤其具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
文檔編號(hào)G01N30/00GK202794120SQ201220451939
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月6日
發(fā)明者楊政諭 申請(qǐng)人:亞翔系統(tǒng)集成科技(蘇州)股份有限公司