專利名稱：一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種微電子封裝超聲引線鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，屬于電子封裝質(zhì)量檢測工程領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
超聲引線鍵合是IC芯片互連中最重要的技術(shù)之一，提供芯片與基板間引腳的互連。它是指在常溫環(huán)境下，通過壓電換能器產(chǎn)生的超聲振動和鍵合工具壓力的作用，將引線(金絲或鋁絲)鍵合(Bonding)到芯片底端焊盤上，從而將芯片與基板的電路連接在一起的技術(shù)。鍵合點質(zhì)量的好壞將直接影響IC芯片的性能，一個微小的鍵合點故障將可能導(dǎo)致整個IC芯片失效。而評價鍵合點質(zhì)量的最關(guān)鍵指標(biāo)是鍵合點與基板的連接強度，由于鍵合點尺寸非常小(幾十微米左右)，通常是在顯微鏡下通過手動方式來檢測鍵合點的連接強度，檢測過程中人手的力度以及位置很難把握或者控制，其檢測精度低、人為誤差大，目前是一 個急需解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置。此裝置在鍵合強度檢測過程中鍵合點定位以及拉力測試過程完全采用機械和電動部件，避免了手動操作過程帶來的人為誤差。本實用新型要解決的問題是現(xiàn)有檢測模式檢測精度低、人為誤差大的不足。為實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，包括顯微鏡、測力計、掛鉤、托架機構(gòu)、拉動電機、支架體和鍵合引線，支架體上部安裝有顯微鏡，支架體中部安裝有測力計，支架體下部安裝有拉動電機，掛鉤安裝在測力計上，托架機構(gòu)安裝在拉動電機上，托架機構(gòu)上裝有鍵合引線；測力計為一種精密峰值記錄測力儀，最小刻度O. lmN。本實用新型的優(yōu)點是鍵合點與拉鉤之間的定位通過機械裝置來完成，彌補了手動定位的困難；本實用新型通過拉動電機往下勻速運動拉伸鍵合引線，產(chǎn)生平穩(wěn)的拉力，直至鍵合引線被拉斷，最終從測力計上讀取抗拉強度值，簡單方便，且精度和可靠性高，應(yīng)具有廣闊的市場空間。

圖I是本實用新型一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置的示意圖；圖2是本實用新型的A部放大示意圖；圖中1、顯微鏡 2、測力計 3、掛鉤 4、托架機構(gòu) 5、拉動電機 6、支架體7、鍵合引線。
具體實施方式
[0011]
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步的說明。如圖所示，一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，包括顯微鏡I、測力計2、掛鉤3、托架機構(gòu)4、拉動電機5、支架體6和鍵合引線7，支架體6上部安裝有顯微鏡1，支架體6中部安裝有測力計2，支架體6下部安裝有拉動電機5，掛鉤3安裝在測力計2上，托架機構(gòu)4安裝在拉動電機5上，托架機構(gòu)4上裝有鍵合引線7 ;測力計2為一種精密峰值記錄測力儀，最小刻度O. lmN。 本裝置的工作原理首先將鍵合引線7固定在托架機構(gòu)4上，掛鉤3掛在鍵合引線7上，通過拉動電機5往下運動拉伸鍵合引線7 (電機轉(zhuǎn)速勻速)，直至鍵合引線7被拉斷，最終從測力計2上讀取抗拉強度值，檢測的精度相當(dāng)高。
權(quán)利要求1.一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，包括顯微鏡(I)、測力計(2)、掛鉤(3)、托架機構(gòu)(4)、拉動電機(5)、支架體(6)和鍵合引線(7)，其特征是支架體(6)上部安裝有顯微鏡(1)，支架體(6)中部安裝有測力計(2 )，支架體(6 )下部安裝有拉動電機(5 )，掛鉤(3 )安裝在測力計(2 )上，托架機構(gòu)(4)安裝在拉動電機(5 )上，托架機構(gòu)(4)上裝有鍵合弓I線(7 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，其特征是所述測力計(2)為一種精密峰值記錄測力儀，最小刻度O.lmN。
專利摘要一種鍵合點抗拉強度精密檢測裝置，屬于電子封裝質(zhì)量檢測工程領(lǐng)域，包括顯微鏡、測力計、掛鉤、托架機構(gòu)、拉動電機、支架體和鍵合引線，支架體上部安裝有顯微鏡，支架體中部安裝有測力計，支架體下部安裝有拉動電機，掛鉤安裝在測力計上，托架機構(gòu)安裝在拉動電機上，托架機構(gòu)上裝有鍵合引線；測力計為一種精密峰值記錄測力儀，最小刻度0.1mN。鍵合點與拉鉤之間的定位通過機械裝置來完成，彌補了手動定位的困難；通過拉動電機往下勻速運動拉伸鍵合引線，產(chǎn)生平穩(wěn)的拉力，直至鍵合引線被拉斷，最終從測力計上讀取抗拉強度值，簡單方便，且精度和可靠性高。
文檔編號G01N3/08GK202748271SQ201220450549
公開日2013年2月20日 申請日期2012年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月6日
發(fā)明者馮武衛(wèi), 李鵬鵬, 張玉蓮 申請人:浙江海洋學(xué)院