專利名稱：雙進雙出真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于泵技術(shù)領(lǐng)域，涉及種雙進雙出真空泵。
背景技術(shù)：
1、由于爪式泵轉(zhuǎn)子在泵腔中相互反方向運轉(zhuǎn)，產(chǎn)生了容積的變化進行抽真空。每 運轉(zhuǎn)一周進一次氣，排一次氣。在進氣終了時，抽氣容積最大，工作能力很強，而初期容積 小，難有作為。故，抽速小于360。都進氣的水環(huán)泵，爪泵略顯抽速不足。2、英國愛德華生產(chǎn)一種羅茨爪，轉(zhuǎn)子與爪泵轉(zhuǎn)子相結(jié)合的爪泵，低壓下羅茨爪比 較有效，較高壓下爪泵有效的特點，其結(jié)果性能優(yōu)良。這種泵第一次以最低的運行成本和維 修費用真正實現(xiàn)了干式的預抽泵和前級泵。(摘自真空工程技術(shù)，由徐成海主編第103頁)3、愛德華泵前面為羅茨爪型，獲得較大抽速直到最終排氣，產(chǎn)生較大壓差與氣阻 力。故，大氣壓下不能直接運用。①要么首先封閉羅茨爪，在真空中運行無阻力，直到爪泵工 作到一定真空時，再連通羅茨爪產(chǎn)生效果。②低速運轉(zhuǎn)工作效率低，羅茨爪若要同時運行， 必然有一低速的過程，而這兩種過程直接影響了生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明雙進雙出真空泵針對以上問題，提供一種能克服上述缺陷的雙進雙出真空泵。解決本發(fā)明存在問題的技術(shù)方案是該雙進雙出真空泵包括第一級泵腔進氣，由第 二級直接排除，壓差小，氣體流動過程中阻力小而不過載。同時第三級泵腔也在進氣，由第 四級泵腔排出。第一級泵腔由轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸 7、隔板8、殼體9、主軸10組成。轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主 軸7、隔板8、主軸10位于殼體9內(nèi)，進氣腔3位于轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2和殼體9之間，轉(zhuǎn)子1固定 在主軸10上，轉(zhuǎn)子2固定在主軸7上，轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2相反方向運轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔 3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6位于隔板8上，排氣腔6位于轉(zhuǎn)子1和轉(zhuǎn)子2之間，隔板槽 5位于主軸10 —側(cè)轉(zhuǎn)子2下方，隔板槽4位于主軸7 —側(cè)轉(zhuǎn)子1下方，隔板槽4通過隔板8 上的氣道與隔板槽5相連接，氣體由隔板槽4通過氣道進入隔板槽5，在隔板下方進入下一 級進氣腔內(nèi)。第二級泵腔、第三級泵腔、第四級泵腔組成、結(jié)構(gòu)和連接與第一級泵腔相同，第 二級泵腔的進氣是通過第一級泵腔的隔板槽5下方進入。第三級泵腔與第一級泵腔同時進 氣，由第四級泵腔排出，第三級泵腔與第四級泵腔的組成、結(jié)構(gòu)和連接與第一級泵腔和第二 級泵腔的組成、結(jié)構(gòu)和連接相同。按照以上連接可以形成四進四出連接，或形成偶數(shù)級的多 重連接。有益效果本發(fā)明雙進雙出真空泵克服了爪式泵抽速不足的缺陷，同時避免了羅 茨爪泵低速運行的無功工作，真正實現(xiàn)了從低壓、較高壓到高壓的全程工作，真空度極限真 空可小于lPa，同時增強排液能力。其總體效果超過了爪式泵國家制定的標準。
圖1為本發(fā)明雙進雙出真空泵第一級泵腔結(jié)構(gòu)示意圖。由轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔 3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、殼體9、主軸10組成。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明雙進雙出真空泵做進一步說明。本發(fā)明雙進雙出真空泵包括第一級泵腔進氣，由第二級泵腔直接排除，壓差小，氣 體流動過程中阻力小而不過載。同時第三級泵腔也在進氣，由第四級泵腔排出。第一級泵 腔由轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、殼體9、主軸10 組成。轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、主軸10位于 殼體9內(nèi)，進氣腔3位于轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2和殼體9之間，轉(zhuǎn)子1固定在主軸10上，轉(zhuǎn)子2固定 在主軸7上，轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2相反方向運轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排 氣腔6位于隔板8上，排氣腔6位于轉(zhuǎn)子1和轉(zhuǎn)子2之間，隔板槽5位于主軸10 —側(cè)轉(zhuǎn)子2 下方，隔板槽4位于主軸7 —側(cè)轉(zhuǎn)子1下方，隔板槽4通過隔板8上的氣道與隔板槽5相連 接，氣體由隔板槽4通過氣道進入隔板槽5。第二級泵腔、第三級泵腔、第四級泵腔組成、結(jié) 構(gòu)和連接與第一級泵腔相同，第二級泵腔的進氣是通過第一級泵腔的隔板槽5下方進入。 第三級泵腔與第一級泵腔同時進氣，由第四級泵腔排出，第三級泵腔與第四級泵腔的組成、 結(jié)構(gòu)和連接與第一級泵腔和第二級泵腔的組成、結(jié)構(gòu)和連接相同。
權(quán)利要求雙進雙出真空泵，其特征在于包括第一級泵腔進氣，由第二級泵腔直接排除；同時第三級泵腔也在進氣，由第四級泵腔排出；第一級泵腔由轉(zhuǎn)子(1)、轉(zhuǎn)子(2)、進氣腔(3)、隔板槽(4)、隔板槽(5)、排氣腔(6)、主軸(7)、隔板(8)、殼體(9)、主軸(10)組成；轉(zhuǎn)子(1)、轉(zhuǎn)子(2)、進氣腔(3)、隔板槽(4)、隔板槽(5)、排氣腔(6)、主軸(7)、隔板(8)、主軸(10)位于殼體(9)內(nèi)，進氣腔(3)位于轉(zhuǎn)子(1)、轉(zhuǎn)子(2)和殼體(9)之間，隔板槽(4)、隔板槽(5)轉(zhuǎn)子(1)固定在主軸(10)上，轉(zhuǎn)子(2)固定在主軸(7)上，轉(zhuǎn)子(1)、轉(zhuǎn)子(2)、進氣腔(3)、隔板槽(4)、隔板槽(5)、排氣腔(6)位于隔板(8)上，排氣腔(6)位于轉(zhuǎn)子(1)和轉(zhuǎn)子(2)之間，隔板槽(5)位于主軸(10)一側(cè)轉(zhuǎn)子(2)下方，隔板槽(4)位于主軸(7)一側(cè)轉(zhuǎn)子(1)下方，隔板槽(4)通過隔板(8)上的氣道與隔板槽(5)相連接；第二級泵腔、第三級泵腔、第四級泵腔組成、結(jié)構(gòu)和連接與第一級泵腔相同，第二級泵腔的進氣是通過第一級泵腔的隔板槽(5)下方進入；轉(zhuǎn)子(1)、轉(zhuǎn)子(2)相反方向運轉(zhuǎn)；第三級泵腔與第一級泵腔同時進氣，由第四級泵腔排出，第三級泵腔與第四級泵腔的組成、結(jié)構(gòu)和連接與第一級泵腔和第二級泵腔的組成、結(jié)構(gòu)和連接相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙進雙出真空泵，其特征在于可以形成四進四出連接，或形 成偶數(shù)級的多重連接。
專利摘要本實用新型屬于泵技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種雙進雙出真空泵。該雙進雙出真空泵包括第一級泵腔進氣，由第二級直接排除，壓差小，氣體流動過程中阻力小而不過載。同時第三級泵腔也在進氣，由第四級泵腔排出。第一級泵腔由轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、殼體9、主軸10組成。本實用新型雙進雙出真空泵克服了爪式泵抽速不足的缺陷，同時避免了羅茨爪泵低速運行的無功工作，真正實現(xiàn)了從低壓、較高壓到高壓的全程工作，真空度極限真空可小于1Pa，同時增強排液能力。其總體效果超過了爪式泵國家制定的標準。
文檔編號F04C25/02GK201671815SQ20102019632
公開日2010年12月15日 申請日期2010年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者吳杰, 張中正, 易先杰, 王松 申請人:淄博特士德真空設(shè)備科技有限公司