本發(fā)明涉及外延片生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，外延生長是十分重要的一個環(huán)節(jié)，外延片的晶體質(zhì)量是影響器件性能的關(guān)鍵因素之一。而外延片作為半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵材料，其表面質(zhì)量的好壞直接關(guān)系到后續(xù)器件的性能與穩(wěn)定性。因此，對外延片表面進行清洗是至關(guān)重要的。

2、如公開號為?cn113245275b的一種外延片清洗裝置，包括清洗池、滑架、清洗機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和烘干機構(gòu)，清洗池設(shè)有隔板將清洗池分隔成初洗區(qū)和精洗區(qū)，清洗兩側(cè)頂部設(shè)有絲桿，絲桿上設(shè)有可在清洗池上滑動的滑架，滑架兩端設(shè)有放置在絲桿上的滑塊，滑塊底面加工有螺紋，滑架上方設(shè)有清洗機構(gòu)，滑架下方設(shè)有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，精洗區(qū)遠離初洗區(qū)一端設(shè)有烘干機構(gòu)。上述方案通過在清洗池上設(shè)置絲桿，并在絲桿上放置滑架，利用轉(zhuǎn)動的絲桿帶動滑架移動，同時通過安裝在清洗池上的清洗裝置對滑架上放置的外延片進行清洗，同時配合旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動外延片在滑架上轉(zhuǎn)動，從而減少清潔死角，保證清洗質(zhì)量，同時配合烘干裝置可及時地將殘留在外延片上的水漬清除，以防止再次污染。

3、上述專利只能大范圍噴淋，而無法針對每個外延片進行噴淋清洗，仍會出現(xiàn)噴淋死角，導(dǎo)致清潔效果不佳，同時，外延片與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)之間會發(fā)生打滑，導(dǎo)致外延片在滑架上的轉(zhuǎn)動效果不佳；并且，傳統(tǒng)的外延片清洗操作中，通常先將外延片放入放置架中，再將放置架放入裝有清洗液的池中進行超聲波清洗和浸泡清洗，而由于缺乏對外延片進行有效限位，外延片會在液體浮力作用下發(fā)生漂浮，不利于清洗過程中外延片的穩(wěn)定放置。

4、因此，發(fā)明外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法來解決上述問題很有必要。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：外延片表面預(yù)處理裝置，包括主體，所述主體的頂部依次開設(shè)有一級清洗池、二級清洗池和三級清洗池，還包括：放置架，其能夠收納放置多個外延片并通過機械臂將外延片依次放入一級清洗池、二級清洗池和三級清洗池內(nèi)進行清洗；壓緊組件，其轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述放置架的頂部兩側(cè)，所述壓緊組件能夠?qū)⑼庋悠拗圃谒龇胖眉艿膬?nèi)部；噴淋組件，其固定設(shè)置于所述放置架的頂部兩側(cè)，所述噴淋組件與同側(cè)的所述壓緊組件相互配合，能夠?qū)ν庋悠膫?cè)面進行全面噴淋；驅(qū)動組件，其設(shè)置于所述主體的內(nèi)部，且貫穿至所述三級清洗池的內(nèi)部，所述驅(qū)動組件能夠驅(qū)動外延片在放置架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動；循環(huán)池，其開設(shè)于主體的內(nèi)部，且位于所述三級清洗池的下方，所述循環(huán)池用于容納從三級清洗池內(nèi)排出的液體；泵液組件，其設(shè)置于所述循環(huán)池的內(nèi)部，且與兩組所述噴淋組件相連通，能夠?qū)山M所述噴淋組件進行供液。

3、優(yōu)選的，所述放置架包括：架體；放置槽，其均勻開設(shè)于所述架體的中部，所述放置槽能夠?qū)ν庋悠M行收納；通槽，其貫穿開設(shè)于所述架體兩側(cè)；支撐輥，其轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述架體的中部，所述支撐輥能夠?qū)Ψ湃爰荏w內(nèi)的外延片底部進行支撐。

4、優(yōu)選的，所述放置架還包括：底框，其固定設(shè)置于所述架體的底端外側(cè)；銜接部，其對稱固定設(shè)置于所述底框頂部的兩端，所述銜接部與機械臂相配合，能夠?qū)Ψ胖眉苓M行移動。

5、優(yōu)選的，所述壓緊組件包括：轉(zhuǎn)動架，其中部轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述架體的頂端，且可繞其與架體的連接處進行轉(zhuǎn)動；壓板，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動架的頂端，所述壓板能夠?qū)Ψ胖眉軆?nèi)的外延片進行壓緊；柔性部，其固定設(shè)置于所述壓板的頂端；安裝桿，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動架的底端；浮漂，其固定設(shè)置于所述安裝桿上，所述浮漂受到液體提供的浮力后將帶動轉(zhuǎn)動架進行轉(zhuǎn)動。

6、優(yōu)選的，所述噴淋組件包括：導(dǎo)液盒，其固定設(shè)置于所述架體的頂端；液體通道，其開設(shè)于所述架體的內(nèi)部，且一端貫穿至所述架體的底端，另一端貫穿至所述架體的頂端；第一導(dǎo)液管，其連通設(shè)置于所述導(dǎo)液盒和液體通道之間；出液孔，且貫穿開設(shè)于所述導(dǎo)液盒的側(cè)面；集液腔，其開設(shè)于所述壓板的內(nèi)部，且所述集液腔與所述出液孔之間連通設(shè)置有第二導(dǎo)液管；噴淋孔，其數(shù)量設(shè)置有多組，其貫穿開設(shè)于所述壓板的一側(cè)，每組所述噴淋孔分別對應(yīng)一個外延片的兩側(cè)面；轉(zhuǎn)桿，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動架的中部，且所述轉(zhuǎn)桿貫穿所述導(dǎo)液盒；阻水板，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)桿的中部，且轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述導(dǎo)液盒的內(nèi)部，所述阻水板在轉(zhuǎn)動過程中始終與所述導(dǎo)液盒的內(nèi)壁保持密封；彈性件，其固定設(shè)置于所述阻水板的頂部和所述導(dǎo)液盒的內(nèi)側(cè)壁之間。

7、優(yōu)選的，所述噴淋孔包括第一斜孔和第二斜孔，所述第一斜孔和第二斜孔的噴淋方向相靠近。

8、優(yōu)選的，所述驅(qū)動組件包括：動力室，其開設(shè)于所述主體的后側(cè)；驅(qū)動電機，其固定設(shè)置于所述動力室的內(nèi)部，且其輸出端固定設(shè)置有驅(qū)動軸；傳動軸，其轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述三級清洗池的內(nèi)部，且一端通過錐齒輪組與所述驅(qū)動軸傳動連接，傳動軸能夠驅(qū)動外延片在所述放置架內(nèi)轉(zhuǎn)動；箱蓋，其可拆卸安裝于所述動力室的后側(cè)。

9、優(yōu)選的，所述泵液組件包括：水泵，其固定設(shè)置于所述循環(huán)池的內(nèi)部，且其抽水端延伸至所述循環(huán)池的池底；泵液管，其與所述水泵的出水端相連通；插接槽，其均勻開設(shè)于所述三級清洗池的池底，所述插接槽能夠?qū)Ψ湃肴壡逑闯貎?nèi)的架體底端進行限位；對接頭，其固定設(shè)置于所述三級清洗池的底部，且數(shù)量和位置均與插接槽相對應(yīng)，所述架體放入三級清洗池后，所述對接頭的頂端與所述液體通道的底端相連通；歧管，其一端與所述對接頭相連通，另一端與所述泵液管相連通。

10、優(yōu)選的，還包括干燥組件，所述干燥組件包括：導(dǎo)氣管，其數(shù)量設(shè)置有兩個，且對稱滑動設(shè)置于所述三級清洗池的內(nèi)壁兩側(cè)，兩個所述導(dǎo)氣管的一端均貫穿至所述動力室的內(nèi)部；氣體噴頭，其連通設(shè)置于所述導(dǎo)氣管上；橫桿，其固定設(shè)置于兩個所述導(dǎo)氣管之間，且位于所述動力室的內(nèi)部；復(fù)位彈簧，其一端與所述橫桿固定連接，且另一端與所述箱蓋相抵接；凸輪，其固定設(shè)置于所述驅(qū)動軸上；凸塊，其固定設(shè)置于所述橫桿的一側(cè)，且所述凸輪轉(zhuǎn)動時，能夠間歇性地通過凸塊迫使所述橫桿運動。

11、還提供了外延片表面預(yù)處理方法，包括以下步驟：

12、步驟一、一級清洗，通過機械臂將裝有外延片的放置架浸泡入一級清洗池內(nèi)進行超聲波清洗，去除外延片表面附著的污染物；

13、步驟二、二級清洗，將經(jīng)過一級清洗后的外延片浸泡入裝有丙酮的二級清洗池內(nèi)進行清洗，去除外延片表面的光刻膠、有機物殘留；

14、步驟三、三級清洗，將經(jīng)過二級清洗后的外延片放入裝有去離子水的三級清洗池內(nèi)進行浸泡與噴淋，徹底去除外延片表面殘留的化學物質(zhì)；

15、步驟四、干燥，通過干燥組件向外延片進行吹氣，去除外延片表面殘留的水分。

16、本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點：

17、1、本發(fā)明通過轉(zhuǎn)動架、壓板以及浮漂的配合使用，浮漂在液體浮力的作用下向上運動，使得轉(zhuǎn)動架帶動壓板向下運動并壓在外延片的圓周上，有效避免了外延片在浸泡過程中因浮力而發(fā)生漂浮的問題，保證外延片始終穩(wěn)定的位于放置架內(nèi)。

18、2、本發(fā)明通過壓緊組件、噴淋組件和泵液組件的配合使用，噴淋過程中，多組噴淋孔均處于靠近對應(yīng)外延片圓周的位置處，去離子水通過第一斜孔和第二斜孔以傾斜的方式向?qū)?yīng)的外延片兩側(cè)進行噴淋，增加了對外延片的噴淋覆蓋面，提高對外延片的噴淋清洗效果。

19、3、本發(fā)明通過設(shè)置驅(qū)動組件，使得外延片在浸泡、噴淋以及干燥過程中始終處于轉(zhuǎn)動的狀態(tài)，以此保證外延片的側(cè)面各處均得到清洗和干燥，防止出現(xiàn)清洗和干燥死角，提高對外延片的清洗和干燥效果。

20、4、本發(fā)明通過設(shè)置壓緊組件，使得外延片能夠始終與傳動軸緊密抵接，以此避免外延片與傳動軸之間發(fā)生打滑，保證外延片和傳動軸之間的傳動效率。