樹脂模制裝置和樹脂模制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種有效地應(yīng)用于樹脂模制裝置和樹脂模制方法的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]例如在半導(dǎo)體裝置的樹脂模制工序中，主要采用從供給口向模腔中注入填充樹脂而密封工件的傳遞成形和向模腔內(nèi)供給樹脂而密封工件的壓縮成形。根據(jù)對象的工件、成形的包裝的形態(tài)以及使用的樹脂等相應(yīng)地適當(dāng)選擇該傳遞成形和壓縮成形。例如，在傳遞成形中大多采用使顆粒樹脂固態(tài)化而成的片狀樹脂、液態(tài)樹脂，在壓縮成形中大多采用液態(tài)樹脂、顆粒樹脂。作為采用液態(tài)樹脂的裝置，在日本特開2012 — 101517號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中記載有一種具備樹脂供給裝置的傳遞成形裝置，該樹脂供給裝置包括用于滴下液態(tài)樹脂的滴下機(jī)構(gòu)以及用于使滴下機(jī)構(gòu)移動的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和進(jìn)退運(yùn)動機(jī)構(gòu)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利f獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2012 - 101517號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_6] 發(fā)明要解決的問題
[0007]這樣，樹脂模制裝置(模制成形品的制造裝置)以如下方式被提供:為了針對傳遞成形、壓縮成形分別作為傳遞成形裝置、壓縮成形裝置提高生產(chǎn)率，各部結(jié)構(gòu)最佳化。
[0008]另外，在半導(dǎo)體制造工廠中，為了根據(jù)產(chǎn)品規(guī)格等選擇性地使用傳遞成形裝置和壓縮成形裝置，大多兩種裝置都具備。在這種情況下，在工廠內(nèi)需要設(shè)置多種裝置，因此，設(shè)置面積增大，這些各種裝置的維持管理費(fèi)增加，并且由于是選擇性地使用，因此，運(yùn)行率下降，收回成本要花費(fèi)很長時(shí)間，也被認(rèn)為會對制造成本產(chǎn)生不良影響。
[0009]此外，作為成形品，也存在如下這樣的產(chǎn)品:通過在使用傳遞成形裝置進(jìn)行了傳遞成形之后使用壓縮成形裝置進(jìn)行壓縮成形來制造、或者通過使用壓縮成形裝置進(jìn)行了壓縮成形之后使用傳遞成形裝置進(jìn)行傳遞成形來制造。在為了得到這樣的成形品而設(shè)置使用每種成形方法的樹脂模制裝置的情況下，要在設(shè)置部位取得場地、或者進(jìn)行設(shè)備投資，因此，成形品的制造成本會升尚。
[0010]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在一個(gè)樹脂模制裝置中進(jìn)行傳遞成形和壓縮成形的技術(shù)。根據(jù)本說明書的記述和附圖可明確本發(fā)明的所述以及其他的目的和新特征。
[0011]用于解決問題的方案
[0012]簡單地說明在本申請中公開的發(fā)明中的、代表性的方式的概要，內(nèi)容如下。
[0013]本發(fā)明的一技術(shù)方案的樹脂模制裝置具備:沖壓部，其具有用于對工件進(jìn)行樹脂模制成形的模制模具；樹脂供給部，其構(gòu)成為能夠保持模制成形所采用的樹脂并將該樹脂供給到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述沖壓部和所述樹脂供給部，其中，該模制模具具備構(gòu)成為能夠保持向模腔供給的樹脂的供給口和用于將該供給口內(nèi)的樹脂加壓輸送到所述模腔的柱塞，所述沖壓部構(gòu)成為能夠在所述模制模具中驅(qū)動該柱塞，所述控制部構(gòu)成為能夠選擇性地執(zhí)行進(jìn)行傳遞成形的成形處理和進(jìn)行壓縮成形的成形處理，而且構(gòu)成為根據(jù)外部輸入結(jié)果選擇執(zhí)行設(shè)定好的所述成形處理，在所述傳遞成形處理中，執(zhí)行將傳遞成形用的樹脂供給到所述供給口，利用所述柱塞將所述傳遞成形用的樹脂加壓輸送到所述模腔的處理，在所述壓縮成形處理中，執(zhí)行將壓縮成形用的樹脂供給到模腔的處理，所述樹脂供給部構(gòu)成為能夠與所述選擇出的成形處理相應(yīng)地向所述模制模具選擇性地供給所述傳遞成形用的樹脂和所述壓縮成形用的樹脂。在此，所述沖壓部具備所述模制模具，該模制模具具有模腔塊和包圍該模腔塊的夾持件，所述模腔塊相對于所述夾持件相對地移動而所述模腔的容積發(fā)生變化，所述樹脂供給部具備在所述沖壓部的內(nèi)部和外部之間移動而保持樹脂的樹脂保持部，在傳遞成形處理中，使保持著傳遞成形用樹脂的所述樹脂保持部移動到供給口位置，利用所述樹脂保持部向所述供給口內(nèi)供給傳遞成形用樹脂，在壓縮成形處理中，使保持著壓縮成形用樹脂的所述樹脂保持部移動到模腔位置或工件位置，利用所述樹脂保持部向所述模腔內(nèi)或者被搬入到所述模制模具中的工件上供給壓縮成形用樹月旨。還優(yōu)選的是，所述控制部構(gòu)成為將設(shè)定好的一個(gè)所述成形處理連續(xù)地執(zhí)行設(shè)定次數(shù)。
[0014]由此，即便是自動機(jī)，也能夠利用簡單的結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳遞成形和壓縮成形這兩者。因而，能夠提升樹脂模制裝置的附加價(jià)值。
[0015]所述一技術(shù)方案的樹脂模制裝置優(yōu)選的是，在所述夾持件上形成有將所述模腔和所述供給口連通的澆道口，所述沖壓部具備用于打開或關(guān)閉所述澆道口的開閉機(jī)構(gòu)，所述開閉機(jī)構(gòu)在傳遞成形處理時(shí)成為“打開”狀態(tài)，在壓縮成形處理時(shí)成為“關(guān)閉”狀態(tài)。
[0016]由此，在傳遞成形時(shí)能夠利用柱塞的作用保持成形壓力(樹脂壓力)，在壓縮成形時(shí)能夠利用模腔塊的作用保持成形壓力。
[0017]所述一技術(shù)方案的樹脂模制裝置優(yōu)選的是，在所述模制模具上形成有自一個(gè)所述供給口連通的第I和第2所述模腔，在所述第I模腔中進(jìn)行傳遞成形，在所述第2模腔中進(jìn)行壓縮成形。
[0018]由此，能夠在一個(gè)樹脂模制裝置內(nèi)同時(shí)進(jìn)行傳遞成形和壓縮成形。
[0019]所述一技術(shù)方案的樹脂模制裝置優(yōu)選的是，在壓縮成形處理中，在所述模腔塊處于成形位置的狀態(tài)下利用所述柱塞調(diào)整樹脂壓力。
[0020]由此，在壓縮成形中除了模腔塊的作用之外還能夠利用柱塞的作用調(diào)整(加壓或減壓)成形壓力。
[0021]所述實(shí)施方式的樹脂模制裝置優(yōu)選的是，使所述樹脂保持部直線地通過模腔位置和供給口位置。
[0022]由此，能夠使樹脂供給部最短程度地移動地向模腔(工件)或供給口供給樹脂。
[0023]所述實(shí)施方式的樹脂模制裝置優(yōu)選的是，對相同的工件在進(jìn)行了傳遞成形處理之后進(jìn)行壓縮成形處理，對相同的工件在進(jìn)行了壓縮成形處理之后進(jìn)行傳遞成形處理，或者對相同的工件將傳遞成形處理和壓縮成形處理中的至少任一種處理進(jìn)行多次，在工件上層置樹脂。
[0024]由此，不使用傳遞成形裝置和壓縮成形裝置，僅通過使用一個(gè)樹脂模制裝置就能夠?qū)ο嗤墓ぜM(jìn)行從傳遞成形和壓縮成形中選擇的各種樹脂模制成形。
[0025]發(fā)明的效果
[0026]簡單地說明利用在本申請中公開的發(fā)明中的、代表性的方式得到的效果，能夠在一個(gè)樹脂模制裝置中自由地實(shí)施傳遞成形和壓縮成形。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的樹脂模制裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖2是用于說明本發(fā)明的第I實(shí)施方式的樹脂供給部的動作的圖，表示供給傳遞成形用樹脂的情況。
[0029]圖3是用于說明本發(fā)明的第I實(shí)施方式的樹脂供給部的動作的圖，表示供給壓縮成形用樹脂的情況。
[0030]圖4是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0031]圖5是接著圖4的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0032]圖6是接著圖5的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0033]圖7是接著圖6的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0034]圖8是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0035]圖9是接著圖8的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0036]圖10是接著圖9的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0037]圖11是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0038]圖12是接著圖11的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0039]圖13是接著圖12的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0040]圖14是接著圖13的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0041]圖15是接著圖14的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0042]圖16是接著圖15的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0043]圖17是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0044]圖18是接著圖17的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0045]圖19是接著圖18的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0046]圖20是本發(fā)明的第4實(shí)施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0047]圖21是接著圖20的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0048]圖22是接著圖21的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0049]圖23是接著圖22的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
[0050]圖24是接著圖23的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0051]在以下的本發(fā)明的實(shí)施方式中，在必要的情況下分為多個(gè)部分等進(jìn)行說明，但在原則上這些部分并不是互無關(guān)系，而是一者處于另一者的一部分或全部的變形例、詳細(xì)說明等的關(guān)系。因此，在所有的圖中，對具有相同功能的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略其重復(fù)的說明。
[0052]此外，對于構(gòu)成要素的數(shù)量(包括個(gè)數(shù)、數(shù)值、量、范圍等)而言，除了特別明示的情況、在原理上明確地限定為特定數(shù)量的情況等之外，并不限定于該特定的數(shù)量，既可以在特定的數(shù)量以上，也可以在特定的數(shù)量以下。此外，在提及構(gòu)成要素等的形狀時(shí)，除了特別明示的情況和在原理上明確地認(rèn)為不是這樣的情況等之外，還包含實(shí)質(zhì)上與其形狀等近似或類似的形狀等。此外，對于利用同樣的結(jié)構(gòu)得到的同樣的效果而言，存在省略其重復(fù)的說明的情況。
[0053](第I實(shí)施方式)
[0054]首先，參照圖1說明本實(shí)施方式的樹脂模制裝置100。圖1是樹脂模制裝置100的概略結(jié)構(gòu)圖。另外，以下說明作為批量生產(chǎn)用自動機(jī)的樹脂模制裝置100。
[0055]如圖1所示，樹脂模制裝置100具備:沖壓部110、110 ;樹脂供給部120 ;用于控制沖壓部110、樹脂供給部120等的控制部130 ;工件供給部140 ;成形前的厚度測量部150A ;預(yù)熱部160 ;成形后的厚度測量部150B ;打澆口(degate)部180 ;以及工件收納部190。這些部分作為例如可重組的單元通過單元重組而構(gòu)成能夠改變單元的配置、數(shù)量的樹脂模制裝置100。
[0056]該樹脂模制裝置100能夠自由地進(jìn)行傳遞成形和壓縮成形，能夠利用控制部130控制這些處理(工序)?？刂撇?30構(gòu)成為能夠選擇性地執(zhí)行進(jìn)行傳遞成形的成形處理和進(jìn)行壓縮成形的成形處理，而且，構(gòu)成為能夠根據(jù)外部輸入結(jié)果選擇執(zhí)行設(shè)定好的成形處理。在這種情況下，控制部130能夠?qū)⒃O(shè)定好的一個(gè)成形處理連續(xù)地執(zhí)行設(shè)定次數(shù)。例如，將傳遞成形的工件的個(gè)數(shù)準(zhǔn)備為一千個(gè)，其內(nèi)容被設(shè)定好時(shí)，控制部130將傳遞成形執(zhí)行一千次。這樣，控制部130能夠?qū)⑦x擇好的成形處理執(zhí)行與準(zhǔn)備好的工件的個(gè)數(shù)相同的次數(shù)。
[0057]此外，樹脂模制裝置100作為工件輸送部具備:在各單元之間連結(jié)的輸送路徑200 ;以及在輸送路徑200上移動的裝載機(jī)210和卸載機(jī)220。裝載機(jī)210在工件供給部140和沖壓部I1之間移動，輸送工件W。此外，卸載機(jī)220在沖壓部110和工件收納部190之間移動，輸送工件W。另外，工件W作為矩形條狀的基板(包含搭載在基板上的芯片零件等)進(jìn)行說明，但工件W也可以是不具有晶圓(半導(dǎo)體晶圓等)、引線框、中介層的功能的載體。
[0058]此外，在樹脂模制裝置100的前表面設(shè)有輸入部230，其構(gòu)成為能夠由作業(yè)人員進(jìn)行所需的動作設(shè)定等用的輸入。該作業(yè)人員的輸入對于控制部130成為外部輸入結(jié)果。例如，在輸入部230中，構(gòu)成為能夠選擇與進(jìn)行傳遞成形的模式(成形處理)、進(jìn)行壓縮成形的模式這樣的各種動作相當(dāng)?shù)?