光罩清洗劑及清洗方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光罩清洗劑及清洗方法，所述清洗劑按重量百分比包括以下成分：對(duì)氯間二甲苯酚0.5~1.5wt%；脂肪醇聚氧乙烯醚3~5wt%；乙二醇8~10wt%；及余量是水。所述清洗方法包括：將光罩置于堿液中浸泡，并用無(wú)塵布擦拭去除光罩兩面明顯的油污，再取出光罩用水沖洗；將經(jīng)堿液清洗步驟處理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由上述光罩清洗劑浸泡過(guò)的海綿擦洗光罩的膜面第一預(yù)定遍數(shù)；用水沖洗光罩膜面并同時(shí)繼續(xù)用海綿擦拭光罩膜面第二預(yù)定遍數(shù)，并在停止用海綿擦拭后仍繼續(xù)用水沖洗第三預(yù)定遍數(shù)；干燥處理。本發(fā)明光罩清洗劑配置成本非常低廉，臟污清除效果顯著，清洗方法簡(jiǎn)單易操作，不需購(gòu)置昂貴的超聲波設(shè)備。
【專利說(shuō)明】
光罩清洗劑及清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及光罩清洗技術(shù)，尤其是指一種光罩清洗劑及清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，對(duì)光罩(又稱掩膜版，英文名為MASK或PHOTOMASK)產(chǎn)品的潔 凈度要求也越來(lái)越高，尤其是LED、TFT行業(yè)，精度發(fā)展到了納米級(jí)別，任何細(xì)微的灰塵和臟 污附著在產(chǎn)品圖形上都會(huì)造成產(chǎn)品的不良甚至報(bào)廢。為此，光罩在出貨打包前必須進(jìn)行清 洗干凈，并貼上光學(xué)膜，使光罩圖形與外部環(huán)境隔絕避免受污染，提高下游產(chǎn)品的良率。
[0003] 目前，光罩行業(yè)現(xiàn)行的清洗方法主要有液體浸泡擦洗法和超聲波清洗法。其中，液 體浸泡擦洗法是將光罩泡在酸堿液中并用無(wú)塵布等工具擦拭沖洗，此法清潔效果有限，主 要用在對(duì)潔凈度要求不高的LCD、TP等中低端行業(yè)產(chǎn)品；而超聲波清洗法主要是針對(duì)TFT等 高端行業(yè)產(chǎn)品，將光罩放入裝有酸、堿、水等各種液體的超聲波槽體中，在高頻振動(dòng)作用下 將光罩上的各種臟污去除，此法清洗效果好，但是清洗設(shè)備昂貴，投入成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種光罩清洗劑，其成本低，且對(duì)光罩的清 洗效果好。
[0005] 本發(fā)明進(jìn)一步要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種光罩清洗方法，其成本低，且對(duì)光 罩的清洗效果好。
[0006] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種光罩清洗劑，其按重量百分 比包括以下成分： 對(duì)氯間二甲苯酚〇. 5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。
[0007] 進(jìn)一步地，所述水為去離子水。
[0008] 另一方面，本發(fā)明還提供一種光罩清洗方法，其包括以下步驟： 堿液清洗步驟，將光罩置于堿液中浸泡，并用無(wú)塵布擦拭去除光罩兩面明顯的油污，然 后取出光罩用水沖洗，去除殘留堿液； 清洗劑擦洗步驟，將經(jīng)過(guò)堿液清洗步驟處理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由如 上所述的光罩清洗劑浸泡過(guò)的海綿擦洗光罩的膜面第一預(yù)定遍數(shù)； 沖洗步驟，在用海綿擦洗光罩的膜面第一預(yù)定遍數(shù)后，用水沖洗光罩膜面并同時(shí)繼續(xù) 用海綿擦拭光罩膜面第二預(yù)定遍數(shù)，并在停止用海綿擦拭后仍繼續(xù)用水沖洗第三預(yù)定遍 數(shù)；以及 干燥步驟，將用水沖洗后的光罩進(jìn)行干燥處理。
[0009] 進(jìn)一步地，用于沖洗的水為去離子水。
[0010] 進(jìn)一步地，清洗劑擦洗步驟中，所述第一預(yù)定遍數(shù)為2~5遍。
[0011] 進(jìn)一步地，沖洗步驟中，所述第二預(yù)定遍數(shù)為2~5遍。
[0012] 進(jìn)一步地，沖洗步驟中，所述第三預(yù)定遍數(shù)為2~5遍。
[0013] 進(jìn)一步地，所述干燥處理是風(fēng)干，將光罩置于風(fēng)干箱中風(fēng)干。
[0014] 進(jìn)一步地，在清洗劑擦洗步驟和沖洗步驟中，光罩均置于洗版架上，所述洗版架具 有用于放置光罩的傾斜面以及用于將光罩定位于洗版架上的定位結(jié)構(gòu)。
[0015] 采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明至少具有如下有益效果:本發(fā)明光罩清洗劑配置成 本非常低廉，臟污清除效果顯著，Urn以上的臟點(diǎn)均可輕松清洗掉，使原有酸堿液體浸泡擦 洗法無(wú)法洗凈TFT等高端產(chǎn)品的狀況得到徹底改變;而且，本發(fā)明光罩清洗方法簡(jiǎn)單易操 作，不需另外購(gòu)置昂貴的超聲波設(shè)備，為企業(yè)節(jié)約了大量成本。本發(fā)明光罩清洗劑及清洗方 法可廣泛應(yīng)用于IXD、LED和TFT等液晶顯示面板的相關(guān)光罩加工行業(yè)中。
【附圖說(shuō)明】
[0016] 圖1是本發(fā)明光罩清洗方法的流程示意圖。
[0017] 圖2是本發(fā)明光罩清洗方法中堿液清洗過(guò)程的示意圖。
[0018] 圖3是本發(fā)明光罩清洗方法中清洗劑擦洗過(guò)程的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019] 下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本申請(qǐng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，以下的示意 性實(shí)施例及說(shuō)明僅用來(lái)解釋本發(fā)明，并不作為對(duì)本發(fā)明的限定，而且，在不沖突的情況下， 本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互結(jié)合。
[0020] 本發(fā)明實(shí)施例首先提供一種光罩清洗劑，其配方按重量百分比包括以下成分： 對(duì)氯間二甲苯酚〇. 5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。
[0021] 以上成分中，對(duì)氯間二甲苯酚易溶于醇、醚、聚二醇等有機(jī)溶劑和強(qiáng)堿水溶液?；?學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，通常貯存條件下不會(huì)失活。是一種廣譜的防霉抗菌劑，對(duì)多數(shù)革蘭氏陽(yáng)性、陰 性菌，真菌，霉菌都有殺滅功效，它可作為防霉抗菌劑廣泛應(yīng)用于消毒、抗菌等方面，在本發(fā) 明中，對(duì)氯間二甲苯酚可以有效清除光罩表面的細(xì)菌，防止霉變。
[0022]脂肪醇聚氧乙烯醚(ΑΕ0)，又稱聚氧乙烯脂肪醇醚，是一種非離子表面活性劑，起 乳化，發(fā)泡、去污作用，是諸如洗手液、洗衣液、沐浴露、洗衣粉、洗潔精、金屬清洗劑等洗滌 用品的主要活性成分。應(yīng)用在本發(fā)明中，其可以有效地對(duì)光罩表面的臟污起到乳化、發(fā)泡的 效果，從而有利于通過(guò)擦洗去除臟污。
[0023]乙二醇是一種無(wú)色無(wú)臭、有甜味液體，乙二醇能與水、丙酮互溶，但在醚類中溶解 度較小，常被用作溶劑。在本發(fā)明中，乙二醇與水互溶并共同作為溶劑能很好地溶解對(duì)氯間 二甲苯酚和脂肪醇聚氧乙烯醚。優(yōu)選地，本發(fā)明中采用的水為去離子水。
[0024]在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明還提供了以下幾個(gè)配方供參考。
[0025] 由于對(duì)氯間二甲苯酚、乙二醇均具有一定的毒性，因此，在能起到有效作用的用量 范圍內(nèi)，其用量應(yīng)當(dāng)盡可能低。
[0026] 本發(fā)明由以上配方配制而成的清洗劑通過(guò)各成分的有效配合，可以很好地溶解、 去除光罩上細(xì)微的臟污。
[0027] 另一方面，本發(fā)明還基于上述清洗劑提供了一種光罩清洗方法，如圖1所示，其包 括以下步驟： 堿液清洗步驟，如圖2所示，先將光罩2置于堿液槽1中的堿液中浸泡，并用無(wú)塵布擦拭 去除光罩2兩面明顯的油污，然后取出光罩2用水沖洗，優(yōu)選采用去離子水沖洗； 清洗劑擦洗步驟，如圖3所示，將經(jīng)堿液清洗步驟處理后的光罩2置于洗版架3上固定 好，采用由前述的清洗劑浸泡過(guò)的海綿擦洗光罩2的膜面第一預(yù)定遍數(shù)，一般以擦洗2~5遍 為宜； 沖洗步驟，用水沖洗光罩2膜面并同時(shí)保持用海綿擦拭第二預(yù)定遍數(shù)，一般地，持續(xù)沖 洗2~5遍為宜，停止海綿擦拭后仍繼續(xù)用水沖洗第三預(yù)定遍數(shù)，一般地，繼續(xù)沖洗2~5遍，本 步驟中，優(yōu)選采用去離子水沖洗，通過(guò)采用所述沖洗步驟，從而能更好地將光罩2膜面上殘 留的細(xì)小臟污和清洗劑沖洗干凈； 干燥步驟，之后將光罩2進(jìn)行干燥處理。優(yōu)選地，所述干燥處理是風(fēng)干，具體地，將光罩2 置于風(fēng)干箱中風(fēng)干。
[0028] 清洗劑擦洗步驟和沖洗步驟均是將光罩2置于洗版架3上完成的，如圖3所示，所述 洗版架3具有一個(gè)傾斜面用于放置光罩2,并且還具有定位結(jié)構(gòu)將光罩2定位于洗版架3上。
[0029] 通過(guò)采用本發(fā)明光罩清洗劑以及清洗方法，可以將傳統(tǒng)酸堿液清洗法無(wú)法去除的 細(xì)小臟污徹底清洗掉，符合TFT產(chǎn)品的貼光學(xué)膜要求。而且，清洗劑及清洗工藝成本均相當(dāng) 低廉，適合廣泛應(yīng)用于IXD、LED和TFT等液晶顯示面板的相關(guān)光罩加工行業(yè)。
[0030] 盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以 理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換 和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同范圍限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種光罩清洗劑，其特征在于，其按重量百分比包括以下成分： 對(duì)氯間二甲苯酚0.5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。2. 如權(quán)利要求1所述的光罩清洗劑，其特征在于，所述水為去離子水。3. -種光罩清洗方法，其特征在于，包括以下步驟： 堿液清洗步驟，將光罩置于堿液中浸泡，并用無(wú)塵布擦拭去除光罩兩面明顯的油污，然 后取出光罩用水沖洗，去除殘留堿液； 清洗劑擦洗步驟，將經(jīng)過(guò)堿液清洗步驟處理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由如 權(quán)利要求1或2所述的光罩清洗劑浸泡過(guò)的海綿擦洗光罩的膜面第一預(yù)定遍數(shù)； 沖洗步驟，在用海綿擦洗光罩的膜面第一預(yù)定遍數(shù)后，用水沖洗光罩膜面并同時(shí)繼續(xù) 用海綿擦拭光罩膜面第二預(yù)定遍數(shù)，并在停止用海綿擦拭后仍繼續(xù)用水沖洗第三預(yù)定遍 數(shù)；以及 干燥步驟，將用水沖洗后的光罩進(jìn)行干燥處理。4. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，用于沖洗的水為去離子水。5. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，清洗劑擦洗步驟中，所述第一預(yù)定 遍數(shù)為2~5遍。6. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，沖洗步驟中，所述第二預(yù)定遍數(shù)為2 ~5遍。7. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，沖洗步驟中，所述第三預(yù)定遍數(shù)為2 ~5遍。8. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，所述干燥處理是風(fēng)干，將光罩置于 風(fēng)干箱中風(fēng)干。9. 如權(quán)利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，在清洗劑擦洗步驟和沖洗步驟中， 光罩均置于洗版架上，所述洗版架具有用于放置光罩的傾斜面以及用于將光罩定位于洗版 架上的定位結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C11D1/72GK105838507SQ201610324070
【公開(kāi)日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年5月16日
【發(fā)明人】杜武兵, 林偉, 呂振群
【申請(qǐng)人】深圳市路維光電股份有限公司